Passation de marchés: CEA/Grenoble (page 6)

2020-07-09   Équipement de polissage de bord de plaque pour des substrats semi-conducteurs (CEA/Grenoble)
Le CEA-Leti envisage l'acquisition d'un équipement de polissage de bord de plaque pour des substrats semi-conducteurs de 300 mm de diamètre. Cet équipement sera installé dans une salle blanche micro-électronique où il sera utilisé 24/24 h et 7/7 j. Voir la passation de marché »
2020-07-07   Fourniture système générateur d’ozone (CEA/Grenoble)
Dans le cadre de l’achat d’un équipement de dépôt pour plaques semi-conducteur 300 mm, celui-ci nécessitera, pour la réalisation de ses procédés, la fourniture du gaz ozone (03). Dans le cadre de cette procédure, le CEA-LETI recherche donc un générateur d’ozone, équipé d’un destructeur intégré, qui devra avoir la capacité de communiquer avec l’équipement de dépôt. Ce générateur sera positionné au sous-sol de la salle blanche micro-électronique 300 mm du CEA-LETI. Voir la passation de marché »
2020-07-06   Fourniture de plaques de mica usinées (CEA/Grenoble)
L’appel d’offres a pour objet de définir la fourniture, pour le compte du CEA, de plaques de vermiculite usinées. Voir la passation de marché »
2020-07-06   Équipement d’alignement et de collage polymère et métal (CEA/Grenoble)
Le Leti souhaite acquérir un outil de collage du silicium de 200 mm avec deux têtes de collage et une capacité d'alignement de +-2 μm. Une option permettant d'aligner et de coller une plaquette de silicium de 100 mm devra être fournie. Le collage et l'alignement pourront être réalisés à l'aide de deux outils distincts. L'outil doit être compatible avec les plaquettes entièrement transparentes comme les plaquettes de verre. Le système doit être compatible avec un environnement de salle blanche de classe … Voir la passation de marché »
2020-07-01   Fourniture de substrats silicium de 100, 200 et 300 mm de diamètre (CEA/Grenoble)
Le Département des Plate-formes technologiques (DPFT) du CEA/LETI souhaite s’approvisionner en plaques silicium de 100, 200 et 300 mm pour ses activités de développement des procédés dans le cadre des programmes de R&D en micro et nano-technologies. Le marché est divisé en dix-huit lots. Mise en place prévisionnelle du marché: janvier 2021. Durée du marché: trois ans. Le CEA se réserve la possibilité d’attribuer un, plusieurs, ou tous les lots à un ou plusieurs titulaire. Il n’y aura qu’un seul … Voir la passation de marché »
Fournisseurs mentionnés: MEMC Electronic Materials SpA Silicon Valley Microelectronics Inc
2020-07-01   Fourniture de Substrats SOI de 200 et 300 mm de diamètre (CEA/Grenoble)
Le Département des plateformes technologiques (DPFT) du CEA/LETI souhaite s’approvisionner en plaques SOI (Silicon On Insulator) de 200 et 300 mm pour ses activités de développement des procédés dans le cadre des programmes de R&D en micro et nano-technologies. Le marché est divisé en douze lots. Mise en place prévisionnelle du marché: janvier 2021. Durée du marché: trois ans. Le CEA se réserve la possibilité d’attribuer un, plusieurs, ou tous les lots à un ou plusieurs Titulaire. Il n’y aura qu’un seul … Voir la passation de marché »
Fournisseurs mentionnés: MEMC Electronic Materials SpA Soitec SA
2020-06-30   Fourniture d'un ensemble expérimental constitué d'un dispositif de chromatographie haute pression couplé à un... (CEA/Grenoble)
L’appel d’offre concerne l’acquisition d’un système d’analyse neuf ou d'occasion reconditionné à neuf de moins de deux ans, pour identifier et quantifier les lipides extraits d’échantillons biologiques. Ce système doit permettre l’analyse en routine et à haut débit de ces lipides. Pour atteindre cet objectif, l’ensemble des équipements doit comprendre: 1) un système de chromatographie haute pression pour séparer les différentes classes de lipides présentes dans l’échantillon; 2) un spectromètre de masse … Voir la passation de marché »
Fournisseurs mentionnés: Agilent technologies France
2020-06-29   Système de tests sous pointes (en anglais: prober) dédié RF (CEA/Grenoble)
Le CEA/LETI projette d’acheter en 2020 un système de tests sous pointes (en anglais: prober) dédié aux mesures électriques sur des composants micro-électroniques. Voir la passation de marché »
2020-06-08   Prestation de gestion administrative d'un projet européen (CEA/Grenoble)
Prestation de gestion administrative d'un projet européen. Voir la passation de marché »
2020-04-26   La fourniture de lots de cartes microfluidiques, réalisées à l'aide d'un moule d'injection versatile et de jeux d'empreintes (CEA/Grenoble)
— le département DTBS du CEA/LETI souhaite s'approvisionner en cartes microfuidiques, réalisés à l'aide d'un moule d’injection versatile et de jeux d'empreintes; — les cartes seront de différentes épaisseurs au format de carte de crédit; — le moule sera stocké chez le titulaire en charge de l’injection; — le marché est un accord-cadre conclu pour une durée de quatre ans. Voir la passation de marché »
2020-04-17   Simulateurs de réseaux AC PHIL (CEA/Grenoble)
Pour l’équipement de la nouvelle plate-forme Smart Grids de l’INES en construction au Bourget du Lac en Savoie (France), le CEA souhaite acquérir des simulateurs de réseaux électriques triphasés alternatifs à basse tension, bidirectionnels (réinjection possible), et pouvant fonctionner en source de tension ou en source de courant. Le CEA aura besoin d’un maximum de flexibilité et de modularité. Les simulateurs seront donc intégrés dans des baies mobiles de 42U dont la puissance sera comprise entre 130 et … Voir la passation de marché »
Fournisseurs mentionnés: Équipements scientifiques
2020-04-07   Location d’un système d’émulation de circuits intégrés numériques avec maintenance et support associé (CEA/Grenoble)
Pour ses projets en conception de circuits intégrés numériques, le CEA souhaite louer sur son site de Minatec Grenoble un système d’émulation de circuits numériques et de codéveloppement de logiciel sur puce, système appelé «émulateur», ou «HWE» (HardWare Emulator). Les prestations comprennent la location de l'équipement et des logiciels associés, ainsi que la garantie, la maintenance et le support technique associé. Voir la passation de marché »
Fournisseurs mentionnés: Mentor Graphics France
2020-04-01   Développement de scripts de traitement des corrections des effets de proximité en lithographie optique (CEA/Grenoble)
Développement de scripts de traitement des corrections des effets de proximité en lithographie optique. Voir la passation de marché »
2020-03-27   Extrudeuse bi-vis de laboratoire pour la préparation de composants de batteries en petites quantités (CEA/Grenoble)
Le présent cahier des charges a pour objet de définir la fourniture, pour le compte du CEA, d’une extrudeuse bi-vis à l’échelle laboratoire, qui sera utilisée pour la préparation de composants d’accumulateurs tels que des électrodes. Cet équipement sera dédié à des travaux de recherche et développement. En particulier l’extrudeuse bi-vis doit être adaptée à la préparation de mélanges fortement chargés en poudre inorganique et de taille micrométrique (plus de 60 % en volume dans le mélange final). Voir la passation de marché »
Fournisseurs mentionnés: Thermo electron (Karlsruhe) GMBH
2020-03-12   Upgrade de l’équipement Evatec CLN200 du CEA/LETI (CEA/Grenoble)
Le CEA/LETI souhaite réaliser un upgrade de l’équipement Evatec CLN200 du CEA/LETI qui permet la réalisation de dépôts pour des applications de micro- et nano-technologies. Voir la passation de marché »
2020-03-12   Ellipsomètre/reflecto-mètre spectroscopique automatique (CEA/Grenoble)
Le CEA Leti souhaite faire l’acquisition d’un équipement de mesure d’épaisseurs pour plaques silicium de diamètre 300 mm capable en option de traiter des plaques de 200 mm de diamètre. Cet équipement devra permettre des mesures spectroscopique en réflectivité et en ellipsométrie, afin de déterminer les propriétés optique ainsi que les épaisseurs de couches minces variées (oxydes et nitrures de silicium, matériaux high-k, SiGe, SOI, etc.) et d’empilements de couches. Il devra pouvoir mesurer des plaques … Voir la passation de marché »
Fournisseurs mentionnés: Onto Innovation INC DBA Nanometrics INC
2020-03-05   Fourniture de microphotomasques (CEA/Grenoble)
Marché de fourniture de microphotomasques pour la microélectronique et les nanotechnologies du CEA/LETI Grenoble. Les substrats de microphotomasques sont en plaques de quartz, verre ou sodalime avec couche de chrome anti-réflectif. Le marché est un accord-cadre à bons de commande conclu pour une durée de 24 mois, renouvelable deux fois par affermissement d'une tranche optionnelle d'un an supplémentaire. 13 lots seront attribués: — 3 lots en multi-attribution (lot nº 2, 9 et 11). Le CEA envisage de … Voir la passation de marché »
Fournisseurs mentionnés: Compugraphics International Limited Photronics Toppan Photomasks
2020-02-25   Prestation de gestion des stocks de la plate-forme modules, de conditionnement de colis et de petites manutentions (CEA/Grenoble)
Prestation de gestion des stocks de la plate-forme modules, de conditionnement de colis et de petites manutentions sur le site de l'INES au Bourget-du-Lac. Voir la passation de marché »
2020-02-24   Maintenance de matériels de marque KLA et fourniture des pièces détachées associées (CEA/Grenoble)
Le CEA/LETI dispose d’un parc d’équipements de marque KLA, dont il souhaite confier la maintenance avec obligation de résultats à une société extérieure spécialisée. Ces équipements concernent les différentes opérations mises en œuvre dans la fabrication des composants microélectronique; ils peuvent traiter des substrats de 200 et 300 mm. La durée du marché envisagé est de 3 ans, à compter de février 2021. Il peut être prolongé une fois au moyen d’affermissement d'une tranche optionnelle d'un an. Voir la passation de marché »
Fournisseurs mentionnés: KLA Tencor France
2020-02-12   Prestations de nettoyage des salles blanches du LETI (CEA/Grenoble)
Le CEA-LETI souhaite faire réaliser des prestations de nettoyage des salles blanches du LETI. 2 options sont prévues: — une phase de prise en charge (option nº 1), — une phase de réversibilité (option nº 2). Voir la passation de marché »
Fournisseurs mentionnés: Elior Services propreté et santé
2020-01-24   Fourniture de jeux de masques de type CQFD et M302 (CEA/Grenoble)
Le laboratoire LETI/DCOS/SCME/LMDK conçoit les photomasques pour l'ensemble des technologies utilisées dans les salles blanches du LETI. Il souhaite confier la fabrication des jeux de masques CQFD et M302 à une ou plusieurs entreprises. Voir la passation de marché »
2020-01-16   Prestations d'hygiène et de propreté du site du CEA Tech Nouvelle-Aquitaine Cœur Bersol de Bordeaux (CEA/Grenoble)
Mise en place d'un contrat de nettoyage sur le site CEA Tech de Bordeaux. — nettoyage de l’ensemble des surfaces du site estimation de 4 500 m en début de contrat, — nettoyage de la vitrerie. Voir la passation de marché »
Fournisseurs mentionnés: Société 2M Nettoyage
2020-01-15   Prestation de support informatique industrielle et connexion d'équipements au réseau (CEA/Grenoble)
Le laboratoire LSGA assure le développement, la mise en œuvre et le support des logiciels de supports aux activités opérationnelles des salles blanches de la Plateforme Silicium du LETI. L’automation a pour but de faire communiquer les équipements des salles blanches avec le système de production MES (Manufacturing Execution System)) basé sur la plateforme logicielle EYELIT. Dans ce but, elle s’appuie sur une infrastructure réseau spécifique (Bulles Réseau Informatique Salle Blanche). La connexion d’un … Voir la passation de marché »
Fournisseurs mentionnés: CS Systemes d'Information
2020-01-14   Équipement de dépose automatique haute précision de composants sur substrats de 200 et 300 mm (CEA/Grenoble)
Équipement de dépose automatique haute précision de composants sur substrats de 200 et 300 mm à chargement manuel. Voir la passation de marché »
2019-12-20   Microscope électronique à balayage pour plaquettes de 200 mm (CEA/Grenoble)
Microscope électronique à balayage avec un canon à électron de type FEG, pour l’observation de matériaux et/ou dispositifs semi-conducteurs ou non conducteurs élaborés dans son environnement, sur des substrats Silicium ou autre matériau de 200 mm de diamètre. Voir la passation de marché »
Fournisseurs mentionnés: Jeol Europe SAS
2019-12-18   Ellipsomètre spectroscopique avec capacités de cartographie et de mesures in-situ (CEA/Grenoble)
Le CEA/LETI envisage l'acquisition, pour sa plate-forme de nano-caractérisation, d'un équipement de métrologie intégrant, sur la base d'un ellipsomètre spectroscopique multi-angle, des capacités de cartographie et de mesures in-situ. Voir la passation de marché »
Fournisseurs mentionnés: Quantum Design SARL
2019-12-17   Fourniture d'une extrudeuse (CEA/Grenoble)
Le présent cahier des charges a pour objet de définir la fourniture, pour le compte du CEA, d’une extrudeuse bi-vis à l’échelle pré-pilote, qui sera utilisée pour la préparation de composants d’accumulateurs tels que des électrodes. Cet équipement sera dimensionné pour des besoins de recherche et développement. En particulier l’extrudeuse bi-vis doit être adaptée à la préparation de mélanges fortement chargés en poudres inorganiques et de taille micrométrique (plus de 60 % en volume dans le mélange final). Voir la passation de marché »
Fournisseurs mentionnés: Thermo electron (Karlsruhe) GMBH
2019-12-13   Fourniture d'une machine de calculs (CEA/Grenoble)
Le CEA envisage d'acquérir un équipement composé d’un serveur muni de cartes GPU. L’objectif est de le limiter au maximum l’administration système avec un outil fortement intégré pour renforcer nos aptitudes à concevoir et développer des modèles apprenants. Les développements usuellement utilisés seront de type «machine learning» et «deep learning». En particulier, l’objectif est de permettre le maquettage de modèles complexes, l’exploration rapide d’espaces de paramètres, et l’apprentissage accéléré de … Voir la passation de marché »
2019-11-22   Fourniture de substrats de silicium 200 mm dopés Arsenic N++ orientation 111 avec dépôt AIN (CEA/Grenoble)
Dans le cadre d'un laboratoire commun CEA-ALEDIA, le CEA LETI souhaite se fournir en substrats de silicium dopés Arsenic N++ orientation 111 avec dépôt AIN. Voir la passation de marché »
Fournisseurs mentionnés: Global Wafers
2019-11-08   Prestations d'exploitation et maintenance des infrastructures des salles propres (CEA/Grenoble)
Prestations d'exploitation et maintenance des infrastructures des salles propres du CEA/LETI accueillant des activités de R&D dans le domaine des micro et nano technologies et de la photonique. Voir la passation de marché »
Fournisseurs mentionnés: Engie énergie services — Engie Cofely —...
2019-10-22   Prestation de support automation (CEA/Grenoble)
Le LETI a besoin d’intégrer les données de ses équipements de salle blanche avec le logiciel MES Eyelit (Manufacturing Execution System). Dans ce cadre le laboratoire LSGA souhaite renforcer l’équipe de support automation pour maintenir les applications actuelles de communication (basée sur des transferts de fichiers) puis développer pour les équipements compatibles SECS/GEM une intégration avec le logiciel MES. Le développement est fait en java avec les logiciels développés par Systema (Eisuite) via le … Voir la passation de marché »
Fournisseurs mentionnés: CGI France
2019-10-22   Équipement de nettoyage (stripping) de lots de wafers 200 mm par solvant pulvérisé (CEA/Grenoble)
Le CEA/LETI envisage l’acquisition d’un équipement de stripping humide pour wafer 200 mm. L’équipement sera installé en salle blanche, pour être utilisé 24 h/24 h et 7 jours/7. Cet équipement de type «spray batch tool», entièrement automatisé, sera utilisé pour des procédés de stripping résine avec utilisation de chimie typée solvant. Il pourra prendre en charge en charge des séries de 25 wafers de 200 mm de silicium. Le CEA étudiera les propositions pour un équipement neuf, ou un équipement d'occasion, … Voir la passation de marché »
Fournisseurs mentionnés: Siconnex Customed Solutions GmbH
2019-10-22   Support aux utilisateurs du MES (Manufacturing execution system) (CEA/Grenoble)
Le LETI/DPFT/SMIL/LSGA assure le développement, la mise en œuvre et le support des logiciels de support aux activités opérationnelles des salles blanches de la plate-forme Silicium du LETI. Le LETI utilise quotidiennement un MES (Manufacturing execution system) basé sur la plate-forme logicielle Eyelit. Cet outil est utilisé par plus de 800 personnes. Il permet de gérer toute l’activité de traitement des lots en salle blanche, des procédés et des équipements. Le LETI souhaite externaliser l’activité de … Voir la passation de marché »
Fournisseurs mentionnés: CS Systemes d'Information
2019-10-18   Équipement de métrologie pour CMP (CEA/Grenoble)
Dans le cadre de ses activités de recherche-développement en micro et nanotechnologies, le CEA/LETI souhaite faire l’acquisition d’un équipement de métrologie pour le contrôle de process d’un équipement de polissage mécano-chimique de substrats 300 mm. Voir la passation de marché »
2019-10-18   Fourniture d’une station de test sous pointes 300 mm («prober» en anglais) (CEA/Grenoble)
Le CEA-LETI projette d'acquérir un système de tests sous pointes semi-automatique supportant les wafers jusqu'à 300 mm de diamètre, et compatible avec des mesures électriques, optiques et RF. Ce prober sera plus particulièrement dédié à des mesures de composants et circuits optoélectroniques émissifs (LED, laser, display). Voir la passation de marché »
Fournisseurs mentionnés: MB Électronique
2019-10-08   Machine de polissage mécano chimique (CMP) (CEA/Grenoble)
Dans le cadre de ses activités, le LETI souhaite acquérir une machine de polissage mécano chimique (CMP) à simple plateau capable de polir des matériaux semi-conducteurs pour des applications en optoélectronique, maintenus sur des supports pouvant accueillir des formats allant du rectangle 20 par 25 mm à du circulaire diamètre 200 mm soumis à une rotation indépendante du plateau et à une force réglable. Voir la passation de marché »
Fournisseurs mentionnés: Alpsitec
2019-10-07   Fourniture d'une imprimante 3D (CEA/Grenoble)
Il s'agit de la fourniture d’un équipement de fabrication additive métallique de type jet de liant communément appelé Binder Jetting (BJ) auquel viendront s’ajouter les équipements nécessaires (périphériques) à son exploitation: équipement d’aspiration et de recyclage des poudres, de nettoyage des pièces et instrumentation de l’équipement. Voir la passation de marché »
2019-10-04   Prestations de caractérisation et de préparation d'échantillons (CEA/Grenoble)
La Direction de la recherche technologique (DRT) du CEA souhaite confier à un prestataire des prestations de caractérisation morphologique et structurelle,y compris les phases de préparation d’échantillons associées. Les échantillons à caractériser sont des matériaux ou des dispositifs étudiés ou réalisés dans les laboratoires du CEA/Grenoble dans le domaine de la micro et nano technologie, des batteries, du photovoltaïque... Le prestataire doit avoir les connaissances nécessaires pour appréhender les … Voir la passation de marché »
Fournisseurs mentionnés: Serma Technologies
2019-09-20   Fourniture d'un scrubber post-CMP petits substrats (CEA/Grenoble)
Le LETI souhaite acquérir un système de poste de lavage automatique CMP pour les wafers de 4'' et 6''. Il doit traiter différents types de wafers (Silicium, ASGA, Saphir), différentes épaisseurs (0,5 — 1 mm), différentes formes (cranté, 1 ou 2 coupes plates). Voir la passation de marché »
Fournisseurs mentionnés: TELTEC SEMICONDUCTOR
2019-09-18   Fourniture d'un équipement de gravure chimique SiN 300mm (CEA/Grenoble)
Afin de répondre aux besoins technologiques liés à la réalisation de ses projets de recherche avancée, le Leti souhaite acquérir un équipement de gravure chimique pour les couches de nitrure. Totalement automatisé, l’équipement devra permettre le traitement simultané de 25 plaques 300 mm. Pour répondre à la multiplicité des projets menés dans la salle blanche du Leti où il sera installé, certaines spécificités seront requises telles que: la flexibilité de modification des paramètres d’utilisation de la … Voir la passation de marché »
Fournisseurs mentionnés: Siconnex Customized Solutions GmbH
2019-09-18   Équipement de stripping plasma 200 mm (CEA/Grenoble)
Le CEA-LETI souhaite acquérir un équipement de retrait de résines photo-sensibles par plasma. Cet équipement sera utilisé pour des applications en micro-électronique sur des plaques de 200 millimètres de diamètre. L’équipement sera installé dans les salles blanches du CEA-LETI à Grenoble. Voir la passation de marché »
Fournisseurs mentionnés: Trymax semiconductor BV
2019-09-13   Fourniture d'hydrogène gazeux conditionné en grand volume (CEA/Grenoble)
Fourniture d'hydrogène gazeux conditionné en grand volume. Voir la passation de marché »
2019-09-10   Équipement de dépôt en phase vapeur (CEA/Grenoble)
Dans le cadre de ses activité de recherche et développement en micro et nanotechnologies, le CEA-LETI souhaite faire l'acquisition d’un équipement automatisé de dépôt chimique en phase vapeur permettant de contrôler parfaitement le dépôt de molécules organiques sur des plaques de silicium de diamètre 200 mm et d'utiliser une grande variété de précurseurs tels que les organosilanes. Il sera installé dans la salle blanche du laboratoire chimie, capteurs et biomatériaux du CEA-LETI. Voir la passation de marché »
2019-09-06   Équipement de dépôt ALD Cluster 300 mm (CEA/Grenoble)
Dans le cadre de ses activités de recherche et développement en microélectronique, le CEA-LETI souhaite acquérir un équipement de dépôt type ALD/PEALD (AtomicLayer Deposition – Plasma Enhanced ALD). L'équipement doit être entièrement automatisé et compatible avec le traitement de plaques de silicium de 300 mm de diamètre. Il doit être compatible avec une salle blanche de qualité micro-électronique. Voir la passation de marché »
2019-09-03   Équipement de dépôt par faisceau d'ions (Cluster 200 mm IBAD & ICPCVD) (CEA/Grenoble)
Le CEA-LETI souhaite faire l’acquisition d’un équipement avec des réacteurs de dépôts/gravures de technique IBAD (Ion Beam Assisted Deposition) et ICPCVD (Inductively Coupled Plasma Chemical Vapour Deposition), il sera capable de traiter des plaques de silicium ou de verre de diamètres 200 mm. L’équipement sera installé dans la salle blanche micro-électronique du CEA-LETI et sera utilisé 24 h/24. Le réacteur IBAD devra permettre d’effectuer des dépôts/gravure à des températures entre 10 ºC et jusqu'à 300 … Voir la passation de marché »
Fournisseurs mentionnés: Puces Technologies Semiconducteurs
2019-08-29   Testeur paramétrique à température cryogénique (CEA/Grenoble)
Le CEA-Leti souhaite faire l'acquisition d'un testeur paramétrique pour des plaquettes de diamètre 300 mm dédié au test et à la caractérisation électrique de composants micro-électroniques jusqu'à des températures cryogéniques (<4.2K). Il devra permettre d’obtenir des données statistiques sur toute la plaque (déplacement automatique, mesure par une carte à pointes adressant jusqu'à 50 contacts). Le testeur sera installé dans un environnement de type laboratoire. Le projet d'investissement ne comprend pas … Voir la passation de marché »
Fournisseurs mentionnés: Bluefors OY
2019-08-28   Fourniture de tubes en quartz (CEA/Grenoble)
Pour ses fours de croissance, le LETI utilise des tubes et bouchons de quartz à faible taux de contamination. Il souhaite rationnaliser ses achats par la mise en place d’un marché pluriannuel. Voir la passation de marché »
Fournisseurs mentionnés: Quartz Alliance
2019-08-26   Solutions logiciels d'extraction de contours (CEA/Grenoble)
Dans le cadre de ses activités de recherche et développement en micro et nanotechnologies, le CEA-LETI souhaite faire l'acquisition de licences de logiciels de détection de contours et de métrologie sur des images de microscopie électronique. La détection de contours devra être précise et robuste aux différents artefacts d’imagerie SEM (bruit, charging, résolution). La métrologie associée doit permettre de diagnostiquer les caractéristiques dimensionnelles de différents patterns de micro-électronique … Voir la passation de marché »
Fournisseurs mentionnés: Aselta Nanographics SA
2019-07-22   Équipement batch spray de stripping 200 mm (CEA/Grenoble)
Le CEA / LETI envisage l’acquisition d’un équipement de stripping humide pour wafer 200 mm. L’équipement sera installé en salle blanche, pour être utilisé 24h/24h et 7jours/7. Cet équipement de type «spray batch tool» sera utilisé pour des procédés de stripping résine avec utilisation de chimie typée solvant. Il pourra prendre en charge en charge des séries de 25 wafers de 200 mm de silicium. Voir la passation de marché »
Fournisseurs mentionnés: Siconnex Customed Solutions GmbH
2019-07-19   Module de dépôt laser pulsé (CEA/Grenoble)
Le CEA-Leti souhaite faire l’acquisition d’un module de Dépôt par ablation laser pulsé (PLD) automatisé. L'équipement sera capable de traiter des plaques de silicium ou de verre de diamètres 200 mm et 300 mm. Le réacteur PLD devra permettre d’effectuer des dépôts à des températures jusqu’à 700 ºC. Voir la passation de marché »