Équipement de dépôt par faisceau d'ions (Cluster 200 mm IBAD & ICPCVD)

CEA/Grenoble

Le CEA-LETI souhaite faire l’acquisition d’un équipement avec des réacteurs de dépôts/gravures de technique IBAD (Ion Beam Assisted Deposition) et ICPCVD (Inductively Coupled Plasma Chemical Vapour Deposition), il sera capable de traiter des plaques de silicium ou de verre de diamètres 200 mm.
L’équipement sera installé dans la salle blanche micro-électronique du CEA-LETI et sera utilisé 24 h/24.
Le réacteur IBAD devra permettre d’effectuer des dépôts/gravure à des températures entre 10 ºC et jusqu'à 300 C. Le réacteur ICPVCD devra permettre d’effectuer des dépôts/gravure à température ambiante et jusqu'à 450 C.
Le logiciel automatisé doit assurer un fonctionnement facile et des performances stables.
L’empreinte en salle blanche doit être la plus faible possible.

Date limite

Le délai de réception des offres était de 2019-10-07. L'appel d'offres a été publié le 2019-09-03.

Fournisseurs

Les fournisseurs suivants sont mentionnés dans les décisions d'attribution ou dans d'autres documents relatifs aux marchés publics :

• Puces Technologies Semiconducteurs

Qui ?

• CEA/Grenoble

Qu'est-ce que c'est ?

• Machines et appareils microélectroniques et microsystèmes › Machines et appareils microélectroniques

Où ?

• Rhône-Alpes › Isère

Historique des marchés publics

Date	Document
2019-09-03	Avis de marché
2019-10-24	Avis d'attribution de marché
2019-11-25	Avis d'attribution de marché

Avis de marché (2019-09-03)
Objet
Champ d'application du marché
Titre: Machines et appareils microélectroniques
Brève description:

Le CEA-LETI souhaite faire l’acquisition d’un équipement avec des réacteurs de dépôts/gravures de technique IBAD (Ion Beam Assisted Deposition) et ICPCVD (Inductively Coupled Plasma Chemical Vapour Deposition), il sera capable de traiter des plaques de silicium ou de verre de diamètres 200 mm. L’équipement sera installé dans la salle blanche micro-électronique du CEA-LETI et sera utilisé 24 h/24. Le réacteur IBAD devra permettre d’effectuer des dépôts/gravure à des températures entre 10 ºC et jusqu'à 300 Le logiciel automatisé doit assurer un fonctionnement facile et des performances stables. L’empreinte en salle blanche doit être la plus faible possible.

Métadonnées de l'avis
Langue originale: français 🗣️
Type de document: Avis de marché
Nature du marché: Fournitures
Réglementation: Union européenne, avec participation des pays de l'AMP
Vocabulaire commun pour les marchés publics (CPV)
Code: Machines et appareils microélectroniques 📦
Lieu d'exécution
Région NUTS: Isère 🏙️

Procédure
Type de procédure: Procédure ouverte
Type de soumission: Soumission pour tous les lots
Critères d'attribution
Offre la plus économique

Pouvoir adjudicateur
Identité
Pays: France 🇫🇷
Type de pouvoir adjudicateur: Organisme de droit public
Nom du pouvoir adjudicateur: CEA/Grenoble
Adresse postale: 17 rue des Martyrs
Code postal: 38054
Commune postale: Grenoble Cedex 9
Contact
Adresse Internet: http://www.cea.fr 🌏
Courrier électronique: charlotte.fritsch@cea.fr 📧
Téléphone: +33 438783158 📞
Fax: +33 438785060 📠
URL des documents: https://www.marches-publics.gouv.fr 🌏
URL pour la participation: https://www.marches-publics.gouv.fr 🌏

Référence
Dates
Date d'envoi: 2019-09-03 📅
Date limite de soumission: 2019-10-07 📅
Date de publication: 2019-09-06 📅
Identifiants
Numéro d'avis: 2019/S 172-419122
Numéro JO-S: 172
Informations complémentaires

Les entreprises nouvellement créées sont autorisées à présenter leur candidature. Si elles ne sont pas en mesure de produire certains des documents demandés dans le présent avis de marché, elles peuvent justifier de leurs capacités financières et professionnelles par d’autres moyens que ceux indiqués dans le présent avis et notamment par la présentation de titres ou de l’expérience professionnelle du ou de leurs responsables. Le présent avis et/ou les documents de la consultation doivent être retirés sur https://www.marches-publics.gouv.fr Modalités d’obtention du dossier de consultation: Pour obtenir le dossier de consultation des entreprises, le candidat devra le télécharger via la plate-forme de dématérialisation des procédures de passation des marchés du CEA accessible sur l’URL suivante: https://www.marches-publics.gouv.fr Modalités de transmission des candidatures et des offres: Les modalités de dépôt des candidatures et des offres sont précisées dans le règlement de consultation. Après examen de la conformité administrative du dossier de candidature, le CEA procédera à l'analyse et à la sélection des candidatures conformément aux critères de jugement des candidatures suivants: — capacité professionnelle: aptitude technique, organisation en matière d’assurance qualité, références sur des prestations similaires/des fournitures similaires, — capacité financière.

Objet
Champ d'application du marché
Brève description:

L’équipement sera installé dans la salle blanche micro-électronique du CEA-LETI et sera utilisé 24 h/24.

Le réacteur IBAD devra permettre d’effectuer des dépôts/gravure à des températures entre 10 ºC et jusqu'à 300

Le logiciel automatisé doit assurer un fonctionnement facile et des performances stables.

L’empreinte en salle blanche doit être la plus faible possible.

Valeur estimée hors TVA: 1 EUR 💰
Durée de l'accord: 8 mois
Lieu d'exécution
Site principal ou lieu d'exécution: CEA Grenoble — conditions d'accès réglementées.

Informations juridiques, économiques, financières et techniques
Conditions de participation
Habilitation à exercer l'activité professionnelle:

Le candidat fournira à l’appui de sa candidature:

— le formulaire DC1 (lettre de candidature et habilitation du mandataire par ses cotraitants) ou équivalent,

— le formulaire DC2 (déclaration du candidat individuel ou du membre du groupement) ou équivalent.

Ces formulaires sont disponibles sur le site internet suivant:

http://www.economie.gouv.fr/daj/formulaires-declaration-du-candidat

— la copie du ou des jugements prononcés s’il est en redressement judiciaire ou dans une procédure étrangère équivalente,

— lorsqu'il appartient à un groupe, une attestation certifiant de son autonomie commerciale et de sa situation de concurrence vis à vis des autres entreprises du groupe.

Les opérateurs économiques ont l’obligation de déposer leurs candidatures et offres par voie électronique sur PLACE, sauf dans les cas prévus par l’article R. 2132-12 du CCP.

Le candidat peut présenter sa candidature sous la forme d’un Document unique de marché européen (DUME), en lieu et place des documents mentionnés à l’article R. 2143-3 du code de la commande publique, téléchargeable à l’adresse suivante: https://ec.europa.eu/tools/espd/filter?lang=fr

Procédure
Base juridique: 32014L0024
Heure limite de réception des offres: 12:00
Langues dans lesquelles les offres ou les demandes de participation peuvent être présentées: anglais 🗣️
français 🗣️
Période de validité de l'offre: 4 mois
Date d'ouverture des offres: 2019-10-07 📅
Heure d'ouverture des offres: 12:00

Pouvoir adjudicateur
Contact
Point de contact: Mme Charlotte Fritsch
Adresse Internet: www.cea.fr 🌏
Adresse du profil d'acheteur: https://www.marches-publics.gouv.fr 🌏
URL des documents: https://www.marches-publics.gouv.fr 🌏

Référence
Informations complémentaires

Le présent avis et/ou les documents de la consultation doivent être retirés sur https://www.marches-publics.gouv.fr

Modalités d’obtention du dossier de consultation:

Pour obtenir le dossier de consultation des entreprises, le candidat devra le télécharger via la plate-forme de dématérialisation des procédures de passation des marchés du CEA accessible sur l’URL suivante: https://www.marches-publics.gouv.fr

Modalités de transmission des candidatures et des offres:

Les modalités de dépôt des candidatures et des offres sont précisées dans le règlement de consultation.

Après examen de la conformité administrative du dossier de candidature, le CEA procédera à l'analyse et à la sélection des candidatures conformément aux critères de jugement des candidatures suivants:

— capacité professionnelle: aptitude technique, organisation en matière d’assurance qualité, références sur des prestations similaires/des fournitures similaires,

— capacité financière.

Informations complémentaires
Organe de révision
Nom: Tribunal administratif de Grenoble
Adresse postale: 2 place de Verdun
Commune postale: Grenoble
Code postal: 38000
Pays: France 🇫🇷
Téléphone: +33 476429000 📞
Courrier électronique: greffe.ta-grenoble@juradm.fr 📧
Fax: +33 476422269 📠
Adresse Internet: http://grenoble.tribunal-administratif.fr/ 🌏
Informations sur les délais d'introduction des recours:

Le référé précontractuel peut être introduit depuis le début de la procédure de passation jusqu'à la signature du marché. Le référé contractuel peut être introduit dans les conditions des articles L. 551-13 et suivants du code de justice administrative. Le recours en contestation de la validité du marché par un tiers peut être intenté dans un délai de 2 mois à compter des mesures de publicité appropriées.

Service auprès duquel des informations sur la procédure de recours peuvent être obtenues
Nom: Greffe du tribunal administratif de Grenoble
Source: OJS 2019/S 172-419122 (2019-09-03)

Avis d'attribution de marché (2019-10-24)
Objet
Champ d'application du marché
Numéro de référence: AOO-190550-CF
Brève description:

Le CEA-Leti souhaite faire l’acquisition d’un équipement avec des réacteurs de dépôts/gravures de technique IBAD (Ion Beam Assisted Deposition) et ICPCVD (Inductively Coupled Plasma Chemical Vapour Deposition), il sera capable de traiter des plaques de silicium ou de verre de diamètres 200 mm. L’équipement sera installé dans la salle blanche micro-électronique du CEA-LETI et sera utilisé 24h/24. Le réacteur IBAD devra permettre d’effectuer des dépôts/gravure à des températures entre 10 Le logiciel automatisé doit assurer un fonctionnement facile et des performances stables. L’empreinte en salle blanche doit être la plus faible possible.

Métadonnées de l'avis
Type de document: Avis d'attribution de marché

Procédure
Type de soumission: Sans objet

Référence
Dates
Date d'envoi: 2019-10-24 📅
Date de publication: 2019-10-29 📅
Identifiants
Numéro d'avis: 2019/S 209-509930
Se réfère à l'avis: 2019/S 172-419122
Numéro JO-S: 209
Informations complémentaires

Les entreprises nouvellement créées sont autorisées à présenter leur candidature. Si elles ne sont pas en mesure de produire certains des documents demandés dans le présent avis de marché, elles peuvent justifier de leurs capacités financières et professionnelles par d’autres moyens que ceux indiqués dans le présent avis et notamment par la présentation de titres ou de l’expérience professionnelle du ou de leurs responsables. Le présent avis et/ou les documents de la consultation doivent être retirés sur https://www.marches-publics.gouv.fr Modalités d’obtention du Dossier de consultation: pour obtenir le dossier de consultation des entreprises, le candidat devra le télécharger via la plateforme de dématérialisation des procédures de passation des marchés du CEA accessible sur l’URL suivante: https://www.marches-publics.gouv.fr Modalités de transmission des candidatures et des offres: les modalités de dépôt des candidatures et des offres sont précisées dans le règlement de consultation. Après examen de la conformité administrative du dossier de candidature, le CEA procédera à l'analyse et à la sélection des candidatures conformément aux critères de jugement des candidatures suivants: — capacité professionnelle: aptitude technique, organisation en matière d’assurance qualité, références sur des prestations similaires/des fournitures similaires, — capacité financière.

Objet
Champ d'application du marché
Brève description:

L’équipement sera installé dans la salle blanche micro-électronique du CEA-LETI et sera utilisé 24h/24.

Le réacteur IBAD devra permettre d’effectuer des dépôts/gravure à des températures entre 10

Procédure
Critères d'attribution
Critère de qualité (nom): Qualité technique de l'offre
Critère de qualité (pondération): 45
Critère de qualité (nom): Délais
Critère de qualité (pondération): 5
Prix (pondération): 50

Référence
Informations complémentaires

Modalités d’obtention du Dossier de consultation: pour obtenir le dossier de consultation des entreprises, le candidat devra le télécharger via la plateforme de dématérialisation des procédures de passation des marchés du CEA accessible sur l’URL suivante: https://www.marches-publics.gouv.fr

Modalités de transmission des candidatures et des offres: les modalités de dépôt des candidatures et des offres sont précisées dans le règlement de consultation.

Informations complémentaires
Organe de révision
Informations sur les délais d'introduction des recours:

Le référé précontractuel peut être introduit depuis le début de la procédure de passation jusqu’à la signature du marché. Le référé contractuel peut être introduit dans les conditions des articles L. 551-13 et suivants du code de justice administrative. Le recours en contestation de la validité du marché par un tiers peut être intenté dans un délai de 2 mois à compter des mesures de publicité appropriées.

Source: OJS 2019/S 209-509930 (2019-10-24)

Avis d'attribution de marché (2019-11-25)
Objet
Champ d'application du marché
Numéro de référence: PN-190671-CF
Valeur totale du marché: 1 EUR 💰

Procédure
Type de procédure: Procédure concurrentielle avec négociation

Pouvoir adjudicateur
Identité
Nom du pouvoir adjudicateur: CEA Grenoble

Référence
Dates
Date d'envoi: 2019-11-25 📅
Date de publication: 2019-11-28 📅
Identifiants
Numéro d'avis: 2019/S 230-563829
Numéro JO-S: 230
Informations complémentaires

— la procédure avec négociation PN-190671-CF fait suite à l'appel d'offres ouvert référencé AOO-190550-CF déclaré infructueux, — il a été indiqué 1.00 à la rubrique «montant» uniquement parce que le champ est bloquant pour la publication de l'avis d'attribution et que le CEA ne peut pas indiquer le véritable prix de l'équipement sans violer le secret des affaires.

Objet
Champ d'application du marché

— la procédure avec négociation PN-190671-CF fait suite à l'appel d'offres ouvert référencé AOO-190550-CF déclaré infructueux,

— il a été indiqué 1.00 à la rubrique «montant» uniquement parce que le champ est bloquant pour la publication de l'avis d'attribution et que le CEA ne peut pas indiquer le véritable prix de l'équipement sans violer le secret des affaires.

Attribution du marché
Date de conclusion du contrat: 2019-11-22 📅
Nom: Puces Technologies Semiconducteurs
Numéro d'enregistrement national: 394917520
Commune postale: Villard-Bonnot
Pays: France 🇫🇷
Isère 🏙️
Valeur totale du marché: 1 EUR 💰
Informations sur les appels d'offres
Nombre d'offres reçues: 1

Informations complémentaires
Organe de révision
Informations sur les délais d'introduction des recours:

— le référé précontractuel peut être introduit depuis le début de la procédure de passation jusqu'à la signature du marché,

— le référé contractuel peut être introduit dans les conditions des articles L. 551-13 et suivants du code de justice administrative,

— le recours en contestation de la validité du marché par un tiers peut être intenté dans un délai de 2 mois à compter des mesures de publicité appropriées.

Source: OJS 2019/S 230-563829 (2019-11-25)

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