2019-10-15Achat d'un équipement de gravure plasma cryogénique (Universite d'Orléans)
Le contrat porte sur les prestations suivantes: achat d'un équipement de gravure plasma cryogénique. Le marché (appel d'offres ouvert) a pour objet l'achat d'un équipement de gravure plasma cryogénique (cryo-gravure plasma) pour la gravure des plaquettes de type microélectronique.
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2013-07-05Equipement de gravure RIE ICP compatible avec substrats diamètre 200 mm et substrats format A4 (CEA/Grenoble)
Le CEA souhaite s’équiper d’un équipement de gravure RIE ICP compatible avec substrats diamètre 200 mm et substrats format A4 (21 x 29.7 cm). Cet équipement devra permettre la gravure sèche de couches inorganiques de quelques microns d’épaisseur contenant du lithium et servant d’électrolyte pour batterie. L’équipement sera compatible avec une installation en salle blanche et anhydre. Des références quantitatives sont demandées sur des équipements similaires en termes de matériaux gravés et performances …
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