2022-08-05Fourniture d’équipements de traitement thermique (CEA/Grenoble)
Le CEA LETI souhaite acquérir les trois équipements suivants :
Lot 1 : Equipement traitement thermique pour des procédés LPCVD (Low-Pressure Chemical Vapor Deposition), en mode batch pour des applications microélectroniques aux nœuds technologiques 10nm et au-delà, sur des plaques de silicium 300mm.
Lot 2 : Equipement de traitements thermiques rapides (RTP) pour l'ingénierie de grille de transistors aux nœuds technologiques 10nm et au-delà.
Lot 3 : Equipement de traitement thermique pour réaliser des …
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2019-03-12Fourniture d’une chambre de dépôt par pulvérisation PVD multi-cibles pour une plate-forme Endura 300 mm (CEA/Grenoble)
Le CEA/Grenoble souhaite acquérir une chambre de dépôt par pulvérisation PVD multi-cibles à installer et connecter à une plate-forme de dépôt de type Endura 300.
Cette chambre de co-pulvérisation multi-cibles doit avoir les caractéristiques suivantes:
— au moins 5 cibles,
— chaque cible sera connectée avec un générateur RF ou DC pulsé,
— le système doit permettre la pulvérisation cathodique d'une seule cible ainsi que la pulvérisation simultanée de plusieurs cibles à la fois (jusqu'à 3 cibles simultanées …
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