Fourniture d’une chambre de dépôt par pulvérisation PVD multi-cibles pour une plate-forme Endura 300 mm
CEA/Grenoble
Le CEA/Grenoble souhaite acquérir une chambre de dépôt par pulvérisation PVD multi-cibles à installer et connecter à une plate-forme de dépôt de type Endura 300.
Cette chambre de co-pulvérisation multi-cibles doit avoir les caractéristiques suivantes:
— au moins 5 cibles,
— chaque cible sera connectée avec un générateur RF ou DC pulsé,
— le système doit permettre la pulvérisation cathodique d'une seule cible ainsi que la pulvérisation simultanée de plusieurs cibles à la fois (jusqu'à 3 cibles simultanées sont requises),
— les procédés réactifs (gaz O2 et N2) doivent être possibles,
— une régulation indépendante du débit et de la pression (c'est-à-dire au moyen d'un robinet-vanne) est obligatoire,
— la chambre doit accepter des substrats de 300 mm d'épaisseur variant de 500 μm à 1,5 mm.
Cet équipement sera installé dans les salles blanches 300 mm du CEA/LETI et sera utilisé 7 jours/7.
Le délai de réception des offres était de 2019-04-11. L'appel d'offres a été publié le 2019-03-12.
FournisseursLes fournisseurs suivants sont mentionnés dans les décisions d'attribution ou dans d'autres documents relatifs aux marchés publics :
Qui ? Qu'est-ce que c'est ?- • Machines et appareils microélectroniques et microsystèmes › Machines et appareils microélectroniques
- • Rhône-Alpes › Isère
Historique des marchés publics
| Date | Document |
|---|---|
| 2019-03-12 | Avis de marché |
| 2019-04-15 | Avis d'attribution de marché |
| 2019-10-09 | Avis d'attribution de marché |
Avis de marché (2019-03-12)
Objet
Champ d'application du marché
Titre: Machines et appareils microélectroniques
Numéro de référence: AOO-190144-CMF
Brève description:
Métadonnées de l'avis
Langue originale: français 🗣️
Type de document: Avis de marché
Nature du marché: Fournitures
Réglementation: Union européenne, avec participation des pays de l'AMP
Vocabulaire commun pour les marchés publics (CPV)
Code: Machines et appareils microélectroniques 📦
Lieu d'exécution
Région NUTS: Isère 🏙️
Procédure
Type de procédure: Procédure ouverte
Type de soumission: Soumission pour tous les lots
Critères d'attribution
Offre la plus économique
Pouvoir adjudicateur
Identité
Pays: France 🇫🇷
Type de pouvoir adjudicateur: Organisme de droit public
Nom du pouvoir adjudicateur: CEA/Grenoble
Adresse postale: 17 rue des Martyrs
Code postal: 38054
Commune postale: Grenoble Cedex 9
Contact
Adresse Internet: http://www.cea.fr 🌏
Courrier électronique: claire.moreau-flachat@cea.fr 📧
Téléphone: +33 438789943 📞
Fax: +33 438785060 📠
URL des documents: https://www.marches-publics.gouv.fr 🌏
URL pour la participation: https://www.marches-publics.gouv.fr 🌏
Référence
Dates
Date d'envoi: 2019-03-12 📅
Date limite de soumission: 2019-04-11 📅
Date de publication: 2019-03-14 📅
Identifiants
Numéro d'avis: 2019/S 052-119065
Numéro JO-S: 52
Informations complémentaires
Objet
Champ d'application du marché
Brève description:
Durée de l'accord: 12 mois
Lieu d'exécution
Site principal ou lieu d'exécution: CEA/Grenoble —conditions d'accès réglementées.
Informations juridiques, économiques, financières et techniques
Conditions de participation
Habilitation à exercer l'activité professionnelle:
Procédure
Base juridique: 32014L0024
Heure limite de réception des offres: 16:00
Langues dans lesquelles les offres ou les demandes de participation peuvent être présentées: anglais 🗣️
français 🗣️
Période de validité de l'offre: 6 mois
Date d'ouverture des offres: 2019-04-12 📅
Heure d'ouverture des offres: 14:00
Pouvoir adjudicateur
Contact
Point de contact: Mme Claire Moreau-Flachat
Adresse Internet: www.cea.fr 🌏
Adresse du profil d'acheteur: https://www.marches-publics.gouv.fr 🌏
URL des documents: https://www.marches-publics.gouv.fr 🌏
Référence
Informations complémentaires
Informations complémentaires
Organe de révision
Nom: Tribunal administratif de Grenoble
Adresse postale: 2 place de Verdun
Commune postale: Grenoble
Code postal: 38000
Pays: France 🇫🇷
Téléphone: +33 476429000 📞
Courrier électronique: ta-grenoble@juradm.fr 📧
Fax: +33 476422269 📠
Adresse Internet: http://grenoble.tribunal-administratif.fr/ 🌏
Service auprès duquel des informations sur la procédure de recours peuvent être obtenues
Identique à : Organe de révision
Source: OJS 2019/S 052-119065 (2019-03-12)
Objet
Champ d'application du marché
Titre: Machines et appareils microélectroniques
Numéro de référence: AOO-190144-CMF
Brève description:
Le CEA/Grenoble souhaite acquérir une chambre de dépôt par pulvérisation PVD multi-cibles à installer et connecter à une plate-forme de dépôt de type Endura 300.
Cette chambre de co-pulvérisation multi-cibles doit avoir les caractéristiques suivantes:
— au moins 5 cibles,
— chaque cible sera connectée avec un générateur RF ou DC pulsé,
— le système doit permettre la pulvérisation cathodique d'une seule cible ainsi que la pulvérisation simultanée de plusieurs cibles à la fois (jusqu'à 3 cibles simultanées sont requises),
— les procédés réactifs (gaz O2 et N2) doivent être possibles,
— une régulation indépendante du débit et de la pression (c'est-à-dire au moyen d'un robinet-vanne) est obligatoire,
— la chambre doit accepter des substrats de 300 mm d'épaisseur variant de 500 μm à 1,5 mm.
Cet équipement sera installé dans les salles blanches 300 mm du CEA/LETI et sera utilisé 7 jours/7.
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Langue originale: français 🗣️
Type de document: Avis de marché
Nature du marché: Fournitures
Réglementation: Union européenne, avec participation des pays de l'AMP
Vocabulaire commun pour les marchés publics (CPV)
Code: Machines et appareils microélectroniques 📦
Lieu d'exécution
Région NUTS: Isère 🏙️
Procédure
Type de procédure: Procédure ouverte
Type de soumission: Soumission pour tous les lots
Critères d'attribution
Offre la plus économique
Pouvoir adjudicateur
Identité
Pays: France 🇫🇷
Type de pouvoir adjudicateur: Organisme de droit public
Nom du pouvoir adjudicateur: CEA/Grenoble
Adresse postale: 17 rue des Martyrs
Code postal: 38054
Commune postale: Grenoble Cedex 9
Contact
Adresse Internet: http://www.cea.fr 🌏
Courrier électronique: claire.moreau-flachat@cea.fr 📧
Téléphone: +33 438789943 📞
Fax: +33 438785060 📠
URL des documents: https://www.marches-publics.gouv.fr 🌏
URL pour la participation: https://www.marches-publics.gouv.fr 🌏
Référence
Dates
Date d'envoi: 2019-03-12 📅
Date limite de soumission: 2019-04-11 📅
Date de publication: 2019-03-14 📅
Identifiants
Numéro d'avis: 2019/S 052-119065
Numéro JO-S: 52
Informations complémentaires
Les entreprises nouvellement créées sont autorisées à présenter leur candidature. Si elles ne sont pas en mesure de produire certains des documents demandés dans le présent avis de marché, elles peuvent justifier de leurs capacités financières et professionnelles par d’autres moyens que ceux indiqués dans le présent avis et notamment par la présentation de titres ou de l’expérience professionnelle du ou de leurs responsables.
Le présent avis et/ou les documents de la consultation doivent être retirés sur https://www.marches-publics.gouv.fr
Pour obtenir le dossier de consultation des entreprises, les candidats devront le télécharger via la plate-forme de dématérialisation des procédures de passation des marchés du CEA accessible sur l’internet suivante: https://www.marches-publics.gouv.fr
Pour télécharcher le dossier, les candidats devront préciser la référence suivante:AOO-190144-CMF.
Modalités de transmission des candidatures et des offres:
Les modalités de dépôt des candidatures et des offres sont précisées dans le règlement de consultation.
Critère de validation des candidatures:
Après examen de la conformité administrative du dossier de candidature, le CEA procédera à l'analyse et à la validation des candidatures conformément aux critères de jugement des candidatures suivants:
— capacité professionnelle: aptitude technique, organisation en matière d’assurance qualité, références sur des fournitures similaires,
— capacité financière.
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Objet
Champ d'application du marché
Brève description:
Le CEA/Grenoble souhaite acquérir une chambre de dépôt par pulvérisation PVD multi-cibles à installer et connecter à une plate-forme de dépôt de type Endura 300.
Cette chambre de co-pulvérisation multi-cibles doit avoir les caractéristiques suivantes:
— au moins 5 cibles,
— chaque cible sera connectée avec un générateur RF ou DC pulsé,
— le système doit permettre la pulvérisation cathodique d'une seule cible ainsi que la pulvérisation simultanée de plusieurs cibles à la fois (jusqu'à 3 cibles simultanées sont requises),
— les procédés réactifs (gaz O2 et N2) doivent être possibles,
— une régulation indépendante du débit et de la pression (c'est-à-dire au moyen d'un robinet-vanne) est obligatoire,
— la chambre doit accepter des substrats de 300 mm d'épaisseur variant de 500 μm à 1,5 mm.
Cet équipement sera installé dans les salles blanches 300 mm du CEA/LETI et sera utilisé 7 jours/7.
Lieu d'exécution
Site principal ou lieu d'exécution: CEA/Grenoble —conditions d'accès réglementées.
Informations juridiques, économiques, financières et techniques
Conditions de participation
Habilitation à exercer l'activité professionnelle:
Le candidat fournira à l’appui de sa candidature:
— le formulaire DC1 (lettre de candidature et habilitation du mandataire par ses cotraitants) ou équivalent,
— le formulaire DC2 (déclaration du candidat individuel ou du membre du groupement) ou équivalent.
Ces formulaires sont disponibles sur le site Internet suivant:http://www.economie.gouv.fr/daj/formulaires-declaration-du-candidat
— la copie du ou des jugements prononcés s’il est en redressement judiciaire ou dans une procédure étrangère équivalente,
— lorsqu’il appartient à un groupe, une attestation certifiant de son autonomie commerciale et de sa situation de concurrence vis-à- vis des autres entreprises du groupe.
Les opérateurs économiques ont l’obligation de déposer leurs candidatures et offres par voie électronique sur PLACE, sauf dans les cas prévus par l’article 41-II du décret «marchés publics».
Le candidat peut présenter sa candidature sous la forme d’un Document unique de marché européen (DUME), en lieu et place des documents mentionnés à l’article 48 du décret nº 2016-360 du 25.3.2016 relatif aux marchés publics, téléchargeable à l’adresse suivante: https://ec.europa.eu/tools/espd/filter?lang=fr
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Procédure
Base juridique: 32014L0024
Heure limite de réception des offres: 16:00
Langues dans lesquelles les offres ou les demandes de participation peuvent être présentées: anglais 🗣️
français 🗣️
Période de validité de l'offre: 6 mois
Date d'ouverture des offres: 2019-04-12 📅
Heure d'ouverture des offres: 14:00
Pouvoir adjudicateur
Contact
Point de contact: Mme Claire Moreau-Flachat
Adresse Internet: www.cea.fr 🌏
Adresse du profil d'acheteur: https://www.marches-publics.gouv.fr 🌏
URL des documents: https://www.marches-publics.gouv.fr 🌏
Référence
Informations complémentaires
Les entreprises nouvellement créées sont autorisées à présenter leur candidature. Si elles ne sont pas en mesure de produire certains des documents demandés dans le présent avis de marché, elles peuvent justifier de leurs capacités financières et professionnelles par d’autres moyens que ceux indiqués dans le présent avis et notamment par la présentation de titres ou de l’expérience professionnelle du ou de leurs responsables.
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Le présent avis et/ou les documents de la consultation doivent être retirés sur https://www.marches-publics.gouv.fr
Pour obtenir le dossier de consultation des entreprises, les candidats devront le télécharger via la plate-forme de dématérialisation des procédures de passation des marchés du CEA accessible sur l’internet suivante: https://www.marches-publics.gouv.fr
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Pour télécharcher le dossier, les candidats devront préciser la référence suivante:AOO-190144-CMF.
Modalités de transmission des candidatures et des offres:
Les modalités de dépôt des candidatures et des offres sont précisées dans le règlement de consultation.
Critère de validation des candidatures:
Après examen de la conformité administrative du dossier de candidature, le CEA procédera à l'analyse et à la validation des candidatures conformément aux critères de jugement des candidatures suivants:
— capacité professionnelle: aptitude technique, organisation en matière d’assurance qualité, références sur des fournitures similaires,
— capacité financière.
Informations complémentaires
Organe de révision
Nom: Tribunal administratif de Grenoble
Adresse postale: 2 place de Verdun
Commune postale: Grenoble
Code postal: 38000
Pays: France 🇫🇷
Téléphone: +33 476429000 📞
Courrier électronique: ta-grenoble@juradm.fr 📧
Fax: +33 476422269 📠
Adresse Internet: http://grenoble.tribunal-administratif.fr/ 🌏
Service auprès duquel des informations sur la procédure de recours peuvent être obtenues
Identique à : Organe de révision
Source: OJS 2019/S 052-119065 (2019-03-12)
Avis d'attribution de marché (2019-04-15)
Objet
Champ d'application du marché
Brève description:
Métadonnées de l'avis
Type de document: Avis d'attribution de marché
Procédure
Type de soumission: Sans objet
Référence
Dates
Date d'envoi: 2019-04-15 📅
Date de publication: 2019-04-18 📅
Identifiants
Numéro d'avis: 2019/S 077-183000
Se réfère à l'avis: 2019/S 052-119065
Numéro JO-S: 77
Informations complémentaires
Objet
Champ d'application du marché
Brève description:
Site principal ou lieu d'exécution:
Procédure
Critères d'attribution
Critère de qualité (nom): Qualité technique de l'offre
Critère de qualité (pondération): 45
Critère de qualité (nom): Délais
Critère de qualité (pondération): 5
Prix (pondération): 50
Référence
Informations complémentaires
Source: OJS 2019/S 077-183000 (2019-04-15)
Objet
Champ d'application du marché
Brève description:
Le CEA/Grenoble souhaite acquérir une chambre de dépôt par pulvérisation PVD multi-cibles à installer et connecter à une plate-forme de dépôt de type Endura 300.
Cette chambre de co-pulvérisation multi-cibles doit avoir les caractéristiques suivantes:
— au moins 5 cibles,
— chaque cible sera connectée avec un générateur RF ou DC pulsé,
— le système doit permettre la pulvérisation cathodique d'une seule cible ainsi que la pulvérisation simultanée de plusieurs cibles à la fois (jusqu'à 3 cibles simultanées sont requises),
— les procédés réactifs (gaz O2 et N2) doivent être possibles,
— une régulation indépendante du débit et de la pression (c'est-à-dire au moyen d'un robinet-vanne) est obligatoire,
— la chambre doit accepter des substrats de 300 mm d'épaisseur variant de 500 μm à 1,5 mm.
Cet équipement sera installé dans les salles blanche 300 mm du CEA/LETI et sera utilisé 7 jours/7.
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Type de document: Avis d'attribution de marché
Procédure
Type de soumission: Sans objet
Référence
Dates
Date d'envoi: 2019-04-15 📅
Date de publication: 2019-04-18 📅
Identifiants
Numéro d'avis: 2019/S 077-183000
Se réfère à l'avis: 2019/S 052-119065
Numéro JO-S: 77
Informations complémentaires
Les entreprises nouvellement créées sont autorisées à présenter leur candidature. Si elles ne sont pas en mesure de produire certains des documents demandés dans le présent avis de marché, elles peuvent justifier de leurs capacités financières et professionnelles par d’autres moyens que ceux indiqués dans le présent avis et notamment par la présentation de titres ou de l’expérience professionnelle du ou de leurs responsables.
Le présent avis et/ou les documents de la consultation doivent être retirés sur https://www.marches-publics.gouv.fr.
Pour obtenir le dossier de consultation des entreprises, les candidats devront le télécharger via la plateforme de dématérialisation des procédures de passation des marchés du CEA accessible sur l’URL suivante: https://www.marches-publics.gouv.fr
Pour télécharcher le dossier, les candidats devront préciser la référence suivante:AOO-190144-CMF.
Modalités de transmission des candidatures et des offres:
Les modalités de dépôt des candidatures et des offres sont précisées dans le règlement de consultation.
Critère de validation des candidatures:
Après examen de la conformité administrative du dossier de candidature, le CEA procédera à l'analyse et à la validation des candidatures conformément aux critères de jugement des candidatures suivants:
— capacité professionnelle: aptitude technique, organisation en matière d’assurance qualité, références sur des fournitures similaires,
— capacité financière.
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Objet
Champ d'application du marché
Brève description:
Cet équipement sera installé dans les salles blanche 300 mm du CEA/LETI et sera utilisé 7 jours/7.
Lieu d'exécution
Site principal ou lieu d'exécution:
CEA/Grenoble.
Conditions d'accès réglementées.
Procédure
Critères d'attribution
Critère de qualité (nom): Qualité technique de l'offre
Critère de qualité (pondération): 45
Critère de qualité (nom): Délais
Critère de qualité (pondération): 5
Prix (pondération): 50
Référence
Informations complémentaires
Le présent avis et/ou les documents de la consultation doivent être retirés sur https://www.marches-publics.gouv.fr.
Pour obtenir le dossier de consultation des entreprises, les candidats devront le télécharger via la plateforme de dématérialisation des procédures de passation des marchés du CEA accessible sur l’URL suivante: https://www.marches-publics.gouv.fr
Avis d'attribution de marché (2019-10-09)
Objet
Champ d'application du marché
Numéro de référence: PN-190244-CMF
Valeur totale du marché: 1 EUR 💰
Référence
Dates
Date d'envoi: 2019-10-09 📅
Date de publication: 2019-10-14 📅
Identifiants
Numéro d'avis: 2019/S 198-480760
Numéro JO-S: 198
Informations complémentaires
Objet
Champ d'application du marché
Attribution du marché
Date de conclusion du contrat: 2019-07-23 📅
Nom: Applied materials south east Asia
Commune postale: Singapour
Pays: Singapour 🇸🇬
00 🏙️
Valeur totale du marché: 1 EUR 💰
Informations sur les appels d'offres
Nombre d'offres reçues: 1
Source: OJS 2019/S 198-480760 (2019-10-09)
Objet
Champ d'application du marché
Numéro de référence: PN-190244-CMF
Valeur totale du marché: 1 EUR 💰
Référence
Dates
Date d'envoi: 2019-10-09 📅
Date de publication: 2019-10-14 📅
Identifiants
Numéro d'avis: 2019/S 198-480760
Numéro JO-S: 198
Informations complémentaires
— la procédure avec négociation PN-190244-CMF fait suite à l'appel d'offres ouvert référencé PN-190144-CMF déclaré infructueux,
— il a été indiqué 1.00 à la rubrique «montant» uniquement parce que le champ est bloquant pour la publication de l'avis d'attribution et que le CEA ne peut pas indiquer le véritable prix de l'équipement sans violer le secret des affaires.
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Objet
Champ d'application du marché
— la procédure avec négociation PN-190244-CMF fait suite à l'appel d'offres ouvert référencé PN-190144-CMF déclaré infructueux,
— il a été indiqué 1.00 à la rubrique «montant» uniquement parce que le champ est bloquant pour la publication de l'avis d'attribution et que le CEA ne peut pas indiquer le véritable prix de l'équipement sans violer le secret des affaires.
Attribution du marché
Date de conclusion du contrat: 2019-07-23 📅
Nom: Applied materials south east Asia
Commune postale: Singapour
Pays: Singapour 🇸🇬
00 🏙️
Valeur totale du marché: 1 EUR 💰
Informations sur les appels d'offres
Nombre d'offres reçues: 1
Source: OJS 2019/S 198-480760 (2019-10-09)
Nouveaux marchés dans des catégories connexes 🆕
- Machines, appareils, équipements et consommables électriques; éclairage (>20 nouveaux marchés)