Le CEA/Grenoble souhaite acquérir une chambre de dépôt par pulvérisation PVD multi-cibles à installer et connecter à une plate-forme de dépôt de type Endura 300.
Cette chambre de co-pulvérisation multi-cibles doit avoir les caractéristiques suivantes:
— au moins 5 cibles,
— chaque cible sera connectée avec un générateur RF ou DC pulsé,
— le système doit permettre la pulvérisation cathodique d'une seule cible ainsi que la pulvérisation simultanée de plusieurs cibles à la fois (jusqu'à 3 cibles simultanées sont requises),
— les procédés réactifs (gaz O2 et N2) doivent être possibles,
— une régulation indépendante du débit et de la pression (c'est-à-dire au moyen d'un robinet-vanne) est obligatoire,
— la chambre doit accepter des substrats de 300 mm d'épaisseur variant de 500 μm à 1,5 mm.
Cet équipement sera installé dans les salles blanches 300 mm du CEA/LETI et sera utilisé 7 jours/7.
Date limite
Le délai de réception des offres était de 2019-04-11.
L'appel d'offres a été publié le 2019-03-12.
Fournisseurs
Les fournisseurs suivants sont mentionnés dans les décisions d'attribution ou dans d'autres documents relatifs aux marchés publics :
Avis de marché (2019-03-12) Objet Champ d'application du marché
Titre: Machines et appareils microélectroniques
Numéro de référence: AOO-190144-CMF
Brève description:
“Le CEA/Grenoble souhaite acquérir une chambre de dépôt par pulvérisation PVD multi-cibles à installer et connecter à une plate-forme de dépôt de type Endura 300.”
Brève description
Le CEA/Grenoble souhaite acquérir une chambre de dépôt par pulvérisation PVD multi-cibles à installer et connecter à une plate-forme de dépôt de type Endura 300.
Afficher plus Métadonnées de l'avis
Langue originale: français 🗣️
Type de document: Avis de marché
Nature du marché: Fournitures
Réglementation: Union européenne, avec participation des pays de l'AMP
Vocabulaire commun pour les marchés publics (CPV)
Code: Machines et appareils microélectroniques📦 Lieu d'exécution
Région NUTS: Isère🏙️
Procédure
Type de procédure: Procédure ouverte
Type de soumission: Soumission pour tous les lots
Critères d'attribution
Offre la plus économique
Référence Dates
Date d'envoi: 2019-03-12 📅
Date limite de soumission: 2019-04-11 📅
Date de publication: 2019-03-14 📅
Identifiants
Numéro d'avis: 2019/S 052-119065
Numéro JO-S: 52
Informations complémentaires
“Les entreprises nouvellement créées sont autorisées à présenter leur candidature. Si elles ne sont pas en mesure de produire certains des documents demandés...”
Les entreprises nouvellement créées sont autorisées à présenter leur candidature. Si elles ne sont pas en mesure de produire certains des documents demandés dans le présent avis de marché, elles peuvent justifier de leurs capacités financières et professionnelles par d’autres moyens que ceux indiqués dans le présent avis et notamment par la présentation de titres ou de l’expérience professionnelle du ou de leurs responsables.
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Source: OJS 2019/S 052-119065 (2019-03-12)
Avis d'attribution de marché (2019-04-15) Objet Métadonnées de l'avis
Type de document: Avis d'attribution de marché
Procédure
Type de soumission: Sans objet
Référence Dates
Date d'envoi: 2019-04-15 📅
Date de publication: 2019-04-18 📅
Identifiants
Numéro d'avis: 2019/S 077-183000
Se réfère à l'avis: 2019/S 052-119065
Numéro JO-S: 77
Source: OJS 2019/S 077-183000 (2019-04-15)
Avis d'attribution de marché (2019-10-09) Objet Champ d'application du marché
Numéro de référence: PN-190244-CMF
Valeur totale du marché: 1 EUR 💰
Référence Dates
Date d'envoi: 2019-10-09 📅
Date de publication: 2019-10-14 📅
Identifiants
Numéro d'avis: 2019/S 198-480760
Numéro JO-S: 198
Informations complémentaires
“— la procédure avec négociation PN-190244-CMF fait suite à l'appel d'offres ouvert référencé PN-190144-CMF déclaré infructueux,”
Source: OJS 2019/S 198-480760 (2019-10-09)