Fourniture d’un équipement de polissage mécano-chimique de type «CMP» (Chemical mechanical polishing)

CEA/Grenoble

Le CEA/Grenoble souhaite acquérir un équipement avancé de polissage mécano-chimique (CMP) type 300 mm Back-End of Line pour la fabrication des semi-conducteurs. L’équipement devra être équipé des dispositifs multi-points de fin attaque spécifiques pour l’aplanissement des métaux et des diélectriques permettant un contrôle très fin de l’enlèvement uniforme de matière.
Cet équipement sera installé dans les salles blanches du CEA/LETI et sera utilisé 7 jours/7.

Date limite
Le délai de réception des offres était de 2019-08-05. L'appel d'offres a été publié le 2019-07-05.

Fournisseurs
Les fournisseurs suivants sont mentionnés dans les décisions d'attribution ou dans d'autres documents relatifs aux marchés publics :
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Historique des marchés publics
Date Document
2019-07-05 Avis de marché
2019-08-13 Avis d'attribution de marché
2020-01-14 Avis d'attribution de marché
Avis de marché (2019-07-05)
Objet
Champ d'application du marché
Titre: Machines et appareils microélectroniques et microsystèmes
Numéro de référence: AOO-190407-CMF
Brève description:
“Le CEA/Grenoble souhaite acquérir un équipement avancé de polissage mécano-chimique (CMP) type 300 mm Back-End of Line pour la fabrication des...”    Afficher plus
Métadonnées de l'avis
Langue originale: français 🗣️
Type de document: Avis de marché
Nature du marché: Fournitures
Réglementation: Union européenne, avec participation des pays de l'AMP
Vocabulaire commun pour les marchés publics (CPV)
Code: Machines et appareils microélectroniques et microsystèmes 📦
Lieu d'exécution
Région NUTS: Isère 🏙️

Procédure
Type de procédure: Procédure ouverte
Type de soumission: Soumission pour tous les lots
Critères d'attribution
Offre la plus économique

Pouvoir adjudicateur
Identité
Pays: France 🇫🇷
Type de pouvoir adjudicateur: Organisme de droit public
Nom du pouvoir adjudicateur: CEA/Grenoble
Adresse postale: 17 rue des Martyrs
Code postal: 38054
Commune postale: Grenoble Cedex 9
Contact
Adresse Internet: http://www.cea.fr 🌏
Courrier électronique: claire.moreau-flachat@cea.fr 📧
Téléphone: +33 438789943 📞
Fax: +33 438785060 📠
URL des documents: https://www.marches-publics.gouv.fr 🌏
URL pour la participation: https://www.marches-publics.gouv.fr 🌏

Référence
Dates
Date d'envoi: 2019-07-05 📅
Date limite de soumission: 2019-08-05 📅
Date de publication: 2019-07-10 📅
Identifiants
Numéro d'avis: 2019/S 131-321252
Numéro JO-S: 131
Informations complémentaires

“Les entreprises nouvellement créées sont autorisées à présenter leur candidature. Si elles ne sont pas en mesure de produire certains des documents demandés...”    Afficher plus
Source: OJS 2019/S 131-321252 (2019-07-05)
Avis d'attribution de marché (2019-08-13)
Objet
Champ d'application du marché
Brève description:
“Le CEA/Grenoble souhaite acquérir un équipement avancé de polissage mécano-chimique (CMP) type 300 mm Back-End of Line pour la fabrication des...”    Afficher plus
Métadonnées de l'avis
Type de document: Avis d'attribution de marché

Procédure
Type de soumission: Sans objet

Référence
Dates
Date d'envoi: 2019-08-13 📅
Date de publication: 2019-08-14 📅
Identifiants
Numéro d'avis: 2019/S 156-385076
Se réfère à l'avis: 2019/S 131-321252
Numéro JO-S: 156
Source: OJS 2019/S 156-385076 (2019-08-13)
Avis d'attribution de marché (2020-01-14)
Objet
Champ d'application du marché
Valeur totale du marché: 1 EUR 💰

Référence
Dates
Date d'envoi: 2020-01-14 📅
Date de publication: 2020-01-15 📅
Identifiants
Numéro d'avis: 2020/S 010-019296
Numéro JO-S: 10
Informations complémentaires

“— la procédure concurrentielle avec négociation PN-190505-CMF fait suite à l'appel d'offres ouvert référencé AOO-190407-CMF déclaré infructueux,”
Source: OJS 2020/S 010-019296 (2020-01-14)