Acquisition d'un équipement de gravure plasma pour matériaux isolants et piézoélectriques

CNRS-Délégation Centre-Est

Acquisition d'un équipement de gravure plasma pour matériaux isolants et piézoélectriques pour les besoins de FEMTO-ST

Date limite

Deadline 2026-12-11

Qui ?

• CNRS-Délégation Centre-Est

Qu'est-ce que c'est ?

• Matériel de gravure sèche › Matériel d'estampage

Où ?

• Franche-Comté › Doubs
• Lorraine › Meurthe-et-Moselle
• Luxembourg › Luxembourg

Historique des marchés publics

Date	Document
2026-10-13	Avis de marché

Avis de marché (2026-10-13)
Objet
Champ d'application du marché
Titre: Acquisition d'un équipement de gravure plasma pour matériaux isolants et piézoélectriques
Numéro de référence: 26.06.035
Brève description:

Acquisition d'un équipement de gravure plasma pour matériaux isolants et piézoélectriques pour les besoins de FEMTO-ST

Type de contrat: Fournitures
Produits/services: Matériel d'estampage 📦
Description
Identifiant interne: 26.06.035
Informations complémentaires:

Dans le cadre de la présente consultation, FEMTO-ST fournira aux soumissionnaires des échantillons destinés à permettre la réalisation des essais nécessaires à l’appréciation des caractéristiques techniques de l’équipement proposé. Les essais porteront notamment sur : • la gravure d’un wafer de quartz coupe AT 36°, sur une profondeur de 100 µm, avec réalisation de motifs microniques à l’aide d’un masque de gravure en Nickel électrolytique ; • la gravure d’un wafer de niobate de lithium Black Y-128°, sur une profondeur de 600 nm, avec réalisation de motifs microniques. Deux wafers de chaque type seront fournis aux soumissionnaires. À l’issue des essais, les soumissionnaires devront restituer au Bénéficiaire les échantillons ayant fait l’objet des essais, accompagnés d’un rapport d’expériences présentant les résultats obtenus et permettant d’apprécier les caractéristiques techniques de l’équipement proposé au regard des spécifications techniques du présent marché. Les soumissionnaires sont tenus de prendre toutes les dispositions nécessaires afin que les échantillons gravés soient effectivement réceptionnés par le Bénéficiaire au plus tard à la date et à l’heure correspondant à la date limite de remise des offres (DLRO) fixée dans les documents de la consultation. La remise des échantillons constitue une condition de recevabilité de l’offre. En conséquence, toute offre pour laquelle les échantillons n’auront pas été réceptionnés par le Bénéficiaire dans le délai précité, ou pour laquelle les essais demandés n’auront pas été réalisés conformément aux exigences du présent document, sera considérée comme irrégulière et pourra être écartée dans les conditions prévues par la réglementation applicable aux marchés publics. Le rapport d’expériences devra être joint à l’offre et présenter, a minima, les conditions de réalisation des essais, les paramètres utilisés, les résultats obtenus ainsi que tout élément permettant au Bénéficiaire de vérifier la conformité des performances annoncées avec les spécifications techniques demandées. Le soumissionnaire demeure responsable de l’acheminement des échantillons jusqu’à leur réception effective par le Bénéficiaire dans le délai imparti. Il lui appartient notamment d’anticiper les délais d’acheminement et de livraison afin de garantir leur réception avant la DLRO. Voir RC

Informations complémentaires

Dans le cadre de la présente consultation, FEMTO-ST fournira aux soumissionnaires des échantillons destinés à permettre la réalisation des essais nécessaires à l’appréciation des caractéristiques techniques de l’équipement proposé.
Les essais porteront notamment sur :
• la gravure d’un wafer de quartz coupe AT 36°, sur une profondeur de 100 µm, avec réalisation de motifs microniques à l’aide d’un masque de gravure en Nickel électrolytique ;
• la gravure d’un wafer de niobate de lithium Black Y-128°, sur une profondeur de 600 nm, avec réalisation de motifs microniques.
Deux wafers de chaque type seront fournis aux soumissionnaires. À l’issue des essais, les soumissionnaires devront restituer au Bénéficiaire les échantillons ayant fait l’objet des essais, accompagnés d’un rapport d’expériences présentant les résultats obtenus et permettant d’apprécier les caractéristiques techniques de l’équipement proposé au regard des spécifications techniques du présent marché.
Les soumissionnaires sont tenus de prendre toutes les dispositions nécessaires afin que les échantillons gravés soient effectivement réceptionnés par le Bénéficiaire au plus tard à la date et à l’heure correspondant à la date limite de remise des offres (DLRO) fixée dans les documents de la consultation. La remise des échantillons constitue une condition de recevabilité de l’offre. En conséquence, toute offre pour laquelle les échantillons n’auront pas été réceptionnés par le Bénéficiaire dans le délai précité, ou pour laquelle les essais demandés n’auront pas été réalisés conformément aux exigences du présent document, sera considérée comme irrégulière et pourra être écartée dans les conditions prévues par la réglementation applicable aux marchés publics. Le rapport d’expériences devra être joint à l’offre et présenter, a minima, les conditions de réalisation des essais, les paramètres utilisés, les résultats obtenus ainsi que tout élément permettant au Bénéficiaire de vérifier la conformité des performances annoncées avec les spécifications techniques demandées. Le soumissionnaire demeure responsable de l’acheminement des échantillons jusqu’à leur réception effective par le Bénéficiaire dans le délai imparti. Il lui appartient notamment d’anticiper les délais d’acheminement et de livraison afin de garantir leur réception avant la DLRO. Voir RC

Adresse postale: Institut FEMTO-ST – UMR CNRS 6174 Maison des Microtechniques 18, rue Alain Savary, 25000 Besançon
Code postal: 25000
Ville: Besançon
Pays: France 🇫🇷
Lieu d'exécution: Doubs 🏙️
Informations sur les options
Options ✅
Description des options: Présence de PSE facultatives et obligatoires. Voir RC
Critères d'attribution
Critère de qualité (nom): Critère n°1 : Valeur Technique selon cadre Sous-critère n°1 relatif aux performances de l’équipements (31%) Sous-critère n°2 relatif aux spécificités techniques de l’équipements (20%)
Critère de qualité (pondération): 51
Prix ✅
Prix (pondération): 25
Critère de qualité (nom): Critère n°2 : Service/équipementier selon cadre Sous-critère n°1 relatif à la maintenance et au support technique (9%) Sous-critère n°2 relatif à l’expérience du fabricant et qualité du rapport (5%)
Critère de qualité (pondération): 14
Critère de qualité (nom): Critère n°3 : Performance environnementale Apprécié sur la base des réponses du soumissionnaire détaillé au sein du cadre de réponse.
Critère de qualité (pondération): 10
Titre
Numéro d'identification du lot: LOT-0001
Description
Lieu d'exécution: Meurthe-et-Moselle 🏙️
Adresse postale: Institut FEMTO-ST – UMR CNRS 6174 - Maison des Microtechniques 18, rue Alain Savary, 25000 Besançon
18, rue Alain Savary, 25000 Besançon

Procédure
Type de procédure
Procédure ouverte ✅
Base juridique: Directive 2014/24/UE
Informations administratives
Délai de réception des offres ou des demandes de participation: 2026-12-11 12:00:00 📅
Langues dans lesquelles les offres ou les demandes de participation peuvent être présentées: français 🗣️
Délai minimum pendant lequel le soumissionnaire doit maintenir l'offre: 3 mois
Conditions de passation du marché
Facturation électronique: Requise
Critères d'attribution
Type de pondération: Pondération (pourcentage, valeur exacte)

Pouvoir adjudicateur
Nom et adresse
Nom: CNRS-Délégation Centre-Est
Numéro d'enregistrement national: 180089013
Adresse postale: 17, rue Notre Dame des Pauvres
BP10075
Code postal: 54519
Commune postale: Vandoeuvre-lès-Nancy
Région: Meurthe-et-Moselle 🏙️
Pays: France 🇫🇷
Courrier électronique: dr06.liste.achats@cnrs.fr 📧
Téléphone: +33 83856077 📞
Fax: +33 83324592 📠
URL: http://www.dr6.cnrs.fr/centre-est/ 🌏
Adresse du profil d'acheteur: https://www.marches-publics.gouv.fr/entreprise 🌏
Type de pouvoir adjudicateur
Organisme de droit public
Activité principale
Enseignement
Communication
URL des documents: https://www.marches-publics.gouv.fr/entreprise 🌏
URL de participation: https://www.marches-publics.gouv.fr/entreprise 🌏
Soumission par voie électronique: Requise

Informations complémentaires
Informations complémentaires

Organe de révision
Nom: Tribunal Administratif de Nancy
Numéro d'enregistrement national: 175 400 050 00019
Adresse postale: 5, Place Carrière - C.O. n°20038
Code postal: 54036
Commune postale: Nancy
Région: Meurthe-et-Moselle 🏙️
Pays: France 🇫🇷
Courrier électronique: greffe.ta-nancy@juradm.fr 📧
Téléphone: +33 383174343 📞
Fax: +33 383174350 📠
URL: http://nancy.tribunal-administratif.fr/ 🌏
Procédure d'examen
Informations précises sur le(s) délai(s) des procédures d'examen:

Précisions concernant les recours susceptibles d’être introduits à l’encontre de la procédure ou du marché, ainsi que sur les délais d’introduction de ces recours : • Référé précontractuel prévu aux articles L. 5511à L. 55112 du code de justice administrative (CJA), pouvant être introduit depuis le début de la procédure de passation jusqu’à la signature du marché ; • Référé contractuel prévu aux articles L. 55113 à L. 55123 du CJA, pouvant être exercé dans les délais prévus à l'article R. 5517 du CJA ; • Recours de pleine juridiction contestant la validité du marché dans un délai de 2 mois à compter de l'accomplissement des mesures de publicité appropriées au sens de la décision Département de TarnetGaronne (CE, Ass., 4 avril 2014, n°358994). Ce recours en contestation de validité peut être assorti d'une demande tendant, sur le fondement de l'article L. 5211 du code de justice administrative, à la suspension de l'exécution du contrat.

Informations sur les flux de travail électroniques
La facturation électronique sera acceptée
Source: OJS 2026/S 199-710327 (2026-10-13)

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