Fournisseur: EBARA Corporation

Un marché public archivé

Marchés publics récents dans lesquels le fournisseur EBARA Corporation est mentionné

2024-04-17   Fourniture d’un équipement de polissage mécano-chimique avec modules de nettoyage et séchage intégrés (CEA Grenoble)
Le CEA-Leti souhaite faire l’acquisition d’un équipement de polissage mécano-chimique avec modules de nettoyage et séchage intégrés. L’équipement vise des applications FEOL et MEOL sans contamination métallique croisée. L’équipement doit être capable d'effectuer un traitement parallèle de lots de plaquettes présentant différents niveaux de contamination. Les matériaux concernés par ce type de polissage sont le silicium, l’oxyde de silicium, le nitrure, le tungstène et d’autres matériaux métalliques. Cet … Voir la passation de marché »