Fourniture d’un équipement de polissage mécano-chimique avec modules de nettoyage et séchage intégrés
CEA Grenoble
Le CEA-Leti souhaite faire l’acquisition d’un équipement de polissage mécano-chimique avec modules de nettoyage et séchage intégrés. L’équipement vise des applications FEOL et MEOL sans contamination métallique croisée. L’équipement doit être capable d'effectuer un traitement parallèle de lots de plaquettes présentant différents niveaux de contamination. Les matériaux concernés par ce type de polissage sont le silicium, l’oxyde de silicium, le nitrure, le tungstène et d’autres matériaux métalliques. Cet équipement sera installé dans la salle blanche du CEA. Il est destiné à traiter des plaques 200mm. Il doit pouvoir intégrer un module de métrologie. Le présent marché comporte les options obligatoires suivantes : - Option 1 : Formation maintenance niveau 1, page 36 du cahier des charges, - Option 2 : Formation maintenance avancée, page 36 du cahier des charges. Le présent marché comporte les options facultatives suivantes : - Option 3 : Fourniture d’échangeurs de chaleur et système de refroidissement, page 16 du cahier des charges, - Option 4 : Fourniture d’un transformateur électrique, page 23 du cahier des charges, - Option 5 : Le prix du transport, assurance comprise, selon les conditions DAP CEA Grenoble (Convention Incoterms ICC 2020).
Date limiteLe délai de réception des offres était de 2024-05-20. L'appel d'offres a été publié le 2024-04-17.
FournisseursLes fournisseurs suivants sont mentionnés dans les décisions d'attribution ou dans d'autres documents relatifs aux marchés publics :
Qui ? Qu'est-ce que c'est ?- • Machines et appareils microélectroniques et microsystèmes › Machines et appareils microélectroniques
- • Rhône-Alpes › Isère
Historique des marchés publics
| Date | Document |
|---|---|
| 2024-04-17 | Avis de marché |
| 2024-11-25 | Avis d'attribution de marché |
Avis de marché (2024-04-17)
Objet
Champ d'application du marché
Titre: Fourniture d’un équipement de polissage mécano-chimique avec modules de nettoyage et séchage intégrés
Numéro de référence: PN-B24-02040-CG
Brève description:
“Le CEA-Leti souhaite faire l’acquisition d’un équipement de polissage mécano-chimique avec modules de nettoyage et séchage intégrés. L’équipement vise des...”
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Type de contrat: Fournitures
Produits/services: Machines et appareils microélectroniques 📦
Description
Identifiant interne: PN-B24-02040-CG
Description du marché:
“Le CEA-Leti souhaite faire l’acquisition d’un équipement de polissage mécano-chimique avec modules de nettoyage et séchage intégrés. L’équipement vise des...”
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Informations complémentaires:
“Les entreprises nouvellement créées sont autorisées à présenter leur candidature. Si elles ne sont pas en mesure de produire certains des documents demandés...”
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Type de contrat: Fournitures
Produits/services: Machines et appareils microélectroniques 📦
Adresse postale: 17 rue des Martyrs
Code postal: 38054
Ville: Grenoble Cedex 9
Pays: France 🇫🇷
Lieu d'exécution: Isère 🏙️
Durée de l'accord
Date de début: 2024-08-31 📅
Date de fin: 2025-09-29 📅
Informations sur les variantes
Les variantes sont acceptées ✅
Informations sur les limites du nombre de candidats à inviter
Nombre minimum envisagé: 3
Critères d'attribution
Prix ✅
Titre
Numéro d'identification du lot: LOT-0001
Procédure
Type de procédure
Procédure négociée avec mise en concurrence préalable ✅
Base juridique: Directive 2014/24/UE
Informations administratives
Délai de réception des offres ou des demandes de participation: 2024-05-20 16:00:00 📅
Langues dans lesquelles les offres ou les demandes de participation peuvent être présentées: anglais 🗣️
Délai minimum pendant lequel le soumissionnaire doit maintenir l'offre: 4
Conditions de passation du marché
Langues dans lesquelles les offres ou les demandes de participation peuvent être présentées: anglais 🗣️
Facturation électronique: Autorisée
Les commandes électroniques seront utilisées ✅
Le paiement électronique sera utilisé ✅
Informations juridiques, économiques, financières et techniques
Situation économique et financière
Liste et brève description des critères de sélection:
“Déclaration concernant le chiffre d'affaires global du candidat et, le cas échéant, le chiffre d'affaires du domaine d'activité faisant l'objet du marché...”
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Conditions de participation
Liste et brève description des conditions:
“le formulaire DC1 (Lettre de candidature et habilitation du mandataire par ses cotraitants) ou une lettre de candidature signée par une personne habilitée à...”
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Capacité technique et professionnelle
Liste et brève description des critères de sélection:
“-Une liste des principales livraisons effectuées ou des principaux services fournis au cours des trois dernières années, indiquant le montant, la date et le...”
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Conditions de participation
Motif d'exclusion: nati-ground
Description des motifs d'exclusion:
“Les cas d’exclusion de la procédure sont prévus aux articles L. 21411 à L. 21415 et aux articles L. 21417 à L. 214110 du code de la commande publique.”
Pouvoir adjudicateur
Nom et adresse
Nom: CEA Grenoble
Numéro d'enregistrement national: 775 685 019 00298
Département: Isère
Adresse postale: 17 rue des Martyrs
Code postal: 38054
Commune postale: Grenoble
Région: Isère 🏙️
Pays: France 🇫🇷
Point de contact: Mme Clara GOGORIAN
Courrier électronique: clara.gogorian@cea.fr 📧
Téléphone: 0660395146 📞
Adresse du profil d'acheteur: https://www.marches-publics.gouv.fr 🌏
Type de pouvoir adjudicateur
Organisme de droit public
Activité principale
Enseignement
Communication
URL des documents: https://www.marchespublics.gouv.fr 🌏
URL de participation: https://www.marchespublics.gouv.fr 🌏
Les critères seront appliqués pour sélectionner les candidats à inviter pour la seconde étape de la procédure ✅
Soumission par voie électronique: Requise
Informations complémentaires
Informations complémentaires
“Présentation des candidatures : Le candidat fournira à l’appui de sa candidature : - le formulaire DC1 (Lettre de candidature et désignation du mandataire...”
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Organisme responsable des procédures de médiation
Nom: Greffe tribunal administratif de grenoble
Numéro d'enregistrement national: 173800053
Adresse postale: 2 Place de Verdun, Boîte Postale 1135
Code postal: 38022
Commune postale: Grenoble Cedex
Région: Isère 🏙️
Pays: France 🇫🇷
Courrier électronique: greffe.tagrenoble@juradm.fr 📧
Téléphone: 04 76 42 90 00 📞
URL: https://grenoble.tribunaladministratif.fr/ 🌏
Organe de révision
Nom: Greffe tribunal administratif de grenoble
Numéro d'enregistrement national: 173800053
Adresse postale: 2 Place de Verdun, Boîte Postale 1135
Code postal: 38022
Commune postale: Grenoble Cedex
Région: Isère 🏙️
Pays: France 🇫🇷
Courrier électronique: greffe.tagrenoble@juradm.fr 📧
Téléphone: 04 76 42 90 00 📞
URL: https://grenoble.tribunaladministratif.fr/ 🌏
Service auprès duquel des informations sur la procédure de recours peuvent être obtenues
Nom: Greffe tribunal administratif de grenoble
Numéro d'enregistrement national: 173800053
Adresse postale: 2 Place de Verdun, Boîte Postale 1135
Code postal: 38022
Commune postale: Grenoble Cedex
Région: Isère 🏙️
Pays: France 🇫🇷
Courrier électronique: greffe.tagrenoble@juradm.fr 📧
Téléphone: 04 76 42 90 00 📞
URL: https://grenoble.tribunaladministratif.fr/ 🌏
Procédure d'examen
Informations précises sur le(s) délai(s) des procédures d'examen:
“Le référé précontractuel peut être introduit depuis le début de la procédure de passation jusqu’à la signature du marché. Le référé contractuel peut être...”
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Informations sur les flux de travail électroniques
La facturation électronique sera acceptée
Les commandes électroniques seront utilisées
Le paiement électronique sera utilisé
Source: OJS 2024/S 077-230472 (2024-04-17)
Objet
Champ d'application du marché
Titre: Fourniture d’un équipement de polissage mécano-chimique avec modules de nettoyage et séchage intégrés
Numéro de référence: PN-B24-02040-CG
Brève description:
“Le CEA-Leti souhaite faire l’acquisition d’un équipement de polissage mécano-chimique avec modules de nettoyage et séchage intégrés. L’équipement vise des...”
Type de contrat: Fournitures
Produits/services: Machines et appareils microélectroniques 📦
Description
Identifiant interne: PN-B24-02040-CG
Description du marché:
“Le CEA-Leti souhaite faire l’acquisition d’un équipement de polissage mécano-chimique avec modules de nettoyage et séchage intégrés. L’équipement vise des...”
Informations complémentaires:
“Les entreprises nouvellement créées sont autorisées à présenter leur candidature. Si elles ne sont pas en mesure de produire certains des documents demandés...”
Type de contrat: Fournitures
Produits/services: Machines et appareils microélectroniques 📦
Adresse postale: 17 rue des Martyrs
Code postal: 38054
Ville: Grenoble Cedex 9
Pays: France 🇫🇷
Lieu d'exécution: Isère 🏙️
Durée de l'accord
Date de début: 2024-08-31 📅
Date de fin: 2025-09-29 📅
Informations sur les variantes
Les variantes sont acceptées ✅
Informations sur les limites du nombre de candidats à inviter
Nombre minimum envisagé: 3
Critères d'attribution
Prix ✅
Titre
Numéro d'identification du lot: LOT-0001
Procédure
Type de procédure
Procédure négociée avec mise en concurrence préalable ✅
Base juridique: Directive 2014/24/UE
Informations administratives
Délai de réception des offres ou des demandes de participation: 2024-05-20 16:00:00 📅
Langues dans lesquelles les offres ou les demandes de participation peuvent être présentées: anglais 🗣️
Délai minimum pendant lequel le soumissionnaire doit maintenir l'offre: 4
Conditions de passation du marché
Langues dans lesquelles les offres ou les demandes de participation peuvent être présentées: anglais 🗣️
Facturation électronique: Autorisée
Les commandes électroniques seront utilisées ✅
Le paiement électronique sera utilisé ✅
Informations juridiques, économiques, financières et techniques
Situation économique et financière
Liste et brève description des critères de sélection:
“Déclaration concernant le chiffre d'affaires global du candidat et, le cas échéant, le chiffre d'affaires du domaine d'activité faisant l'objet du marché...”
Conditions de participation
Liste et brève description des conditions:
“le formulaire DC1 (Lettre de candidature et habilitation du mandataire par ses cotraitants) ou une lettre de candidature signée par une personne habilitée à...”
Capacité technique et professionnelle
Liste et brève description des critères de sélection:
“-Une liste des principales livraisons effectuées ou des principaux services fournis au cours des trois dernières années, indiquant le montant, la date et le...”
Conditions de participation
Motif d'exclusion: nati-ground
Description des motifs d'exclusion:
“Les cas d’exclusion de la procédure sont prévus aux articles L. 21411 à L. 21415 et aux articles L. 21417 à L. 214110 du code de la commande publique.”
Pouvoir adjudicateur
Nom et adresse
Nom: CEA Grenoble
Numéro d'enregistrement national: 775 685 019 00298
Département: Isère
Adresse postale: 17 rue des Martyrs
Code postal: 38054
Commune postale: Grenoble
Région: Isère 🏙️
Pays: France 🇫🇷
Point de contact: Mme Clara GOGORIAN
Courrier électronique: clara.gogorian@cea.fr 📧
Téléphone: 0660395146 📞
Adresse du profil d'acheteur: https://www.marches-publics.gouv.fr 🌏
Type de pouvoir adjudicateur
Organisme de droit public
Activité principale
Enseignement
Communication
URL des documents: https://www.marchespublics.gouv.fr 🌏
URL de participation: https://www.marchespublics.gouv.fr 🌏
Les critères seront appliqués pour sélectionner les candidats à inviter pour la seconde étape de la procédure ✅
Soumission par voie électronique: Requise
Informations complémentaires
Informations complémentaires
“Présentation des candidatures : Le candidat fournira à l’appui de sa candidature : - le formulaire DC1 (Lettre de candidature et désignation du mandataire...”
Organisme responsable des procédures de médiation
Nom: Greffe tribunal administratif de grenoble
Numéro d'enregistrement national: 173800053
Adresse postale: 2 Place de Verdun, Boîte Postale 1135
Code postal: 38022
Commune postale: Grenoble Cedex
Région: Isère 🏙️
Pays: France 🇫🇷
Courrier électronique: greffe.tagrenoble@juradm.fr 📧
Téléphone: 04 76 42 90 00 📞
URL: https://grenoble.tribunaladministratif.fr/ 🌏
Organe de révision
Nom: Greffe tribunal administratif de grenoble
Numéro d'enregistrement national: 173800053
Adresse postale: 2 Place de Verdun, Boîte Postale 1135
Code postal: 38022
Commune postale: Grenoble Cedex
Région: Isère 🏙️
Pays: France 🇫🇷
Courrier électronique: greffe.tagrenoble@juradm.fr 📧
Téléphone: 04 76 42 90 00 📞
URL: https://grenoble.tribunaladministratif.fr/ 🌏
Service auprès duquel des informations sur la procédure de recours peuvent être obtenues
Nom: Greffe tribunal administratif de grenoble
Numéro d'enregistrement national: 173800053
Adresse postale: 2 Place de Verdun, Boîte Postale 1135
Code postal: 38022
Commune postale: Grenoble Cedex
Région: Isère 🏙️
Pays: France 🇫🇷
Courrier électronique: greffe.tagrenoble@juradm.fr 📧
Téléphone: 04 76 42 90 00 📞
URL: https://grenoble.tribunaladministratif.fr/ 🌏
Procédure d'examen
Informations précises sur le(s) délai(s) des procédures d'examen:
“Le référé précontractuel peut être introduit depuis le début de la procédure de passation jusqu’à la signature du marché. Le référé contractuel peut être...”
Informations sur les flux de travail électroniques
La facturation électronique sera acceptée
Les commandes électroniques seront utilisées
Le paiement électronique sera utilisé
Source: OJS 2024/S 077-230472 (2024-04-17)
Avis d'attribution de marché (2024-11-25)
Objet
Champ d'application du marché
Brève description:
“Le CEA-Leti souhaite faire l’acquisition d’un équipement de polissage mécano-chimique avec modules de nettoyage et séchage intégrés. L’équipement vise des...”
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Valeur estimée hors TVA: 1 EUR 💰
Valeur totale du marché (hors TVA): 1 EUR 💰
Valeur totale du marché (hors TVA) (offre la plus élevée): 1 💰
Valeur totale du marché (hors TVA) (offre la plus basse): 1 💰
Description
Valeur estimée hors TVA: 1 EUR 💰
Description du marché:
“Le CEA-Leti souhaite faire l’acquisition d’un équipement de polissage mécano-chimique avec modules de nettoyage et séchage intégrés. L’équipement vise des...”
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Ville: Grenoble
Durée de l'accord
Date de début: 2024-11-25 📅
Date de fin: 2025-09-22 📅
Informations sur les options
Options ✅
Description des options:
“Le présent marché comporte les options suivantes : - Option 1 : Formation maintenance niveau 1, page 36 du cahier des charges, - Option 2 : Formation...”
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Critères d'attribution
Prix (pondération): 5
Justification de l’absence d’indication de la pondération des critères d’attribution:
“Les critères d'attributions sont les suivants : - Prix de l'Equipement : 50 % - Performance des process : 35 % - Qualité matérielle et configuration...”
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Procédure
Type de pondération: Pondération (points, valeur exacte)
Attribution du marché
Un contrat/lot est attribué ✅
Numéro d'identification du lot: LOT-0001
Numéro de contrat: B24-02040-CG
Date de conclusion du contrat: 2024-11-25 📅
Informations sur les appels d'offres
Nombre d'offres reçues: 1
Information sur la valeur du contrat/lot (hors TVA)
Offre la plus élevée: 1 💰
Offre la plus basse: 1 💰
Valeur totale du contrat/lot: 1 EUR 💰
Identifiant de l’offre: B24-02040-CG_
Identifiant du lot ou groupe de lots: LOT-0001
Informations sur les appels d'offres
Nom de la partie soumissionnaire: Ebara corporation
Nom et adresse du contractant
Nom: EBARA Corporation
Numéro d'enregistrement national: 0108-01-001748
Adresse postale: 11-1 Haneda , Asahi-cho, Ota-ku
Code postal: 144-8510
Commune postale: Tokyo
Pays: Japon 🇯🇵
Pouvoir adjudicateur
Communication
Identifiant de l’avis antérieur: 230472-2024
Source: OJS 2024/S 230-721135 (2024-11-25)
Objet
Champ d'application du marché
Brève description:
“Le CEA-Leti souhaite faire l’acquisition d’un équipement de polissage mécano-chimique avec modules de nettoyage et séchage intégrés. L’équipement vise des...”
Valeur estimée hors TVA: 1 EUR 💰
Valeur totale du marché (hors TVA): 1 EUR 💰
Valeur totale du marché (hors TVA) (offre la plus élevée): 1 💰
Valeur totale du marché (hors TVA) (offre la plus basse): 1 💰
Description
Valeur estimée hors TVA: 1 EUR 💰
Description du marché:
“Le CEA-Leti souhaite faire l’acquisition d’un équipement de polissage mécano-chimique avec modules de nettoyage et séchage intégrés. L’équipement vise des...”
Ville: Grenoble
Durée de l'accord
Date de début: 2024-11-25 📅
Date de fin: 2025-09-22 📅
Informations sur les options
Options ✅
Description des options:
“Le présent marché comporte les options suivantes : - Option 1 : Formation maintenance niveau 1, page 36 du cahier des charges, - Option 2 : Formation...”
Critères d'attribution
Prix (pondération): 5
Justification de l’absence d’indication de la pondération des critères d’attribution:
“Les critères d'attributions sont les suivants : - Prix de l'Equipement : 50 % - Performance des process : 35 % - Qualité matérielle et configuration...”
Procédure
Type de pondération: Pondération (points, valeur exacte)
Attribution du marché
Un contrat/lot est attribué ✅
Numéro d'identification du lot: LOT-0001
Numéro de contrat: B24-02040-CG
Date de conclusion du contrat: 2024-11-25 📅
Informations sur les appels d'offres
Nombre d'offres reçues: 1
Information sur la valeur du contrat/lot (hors TVA)
Offre la plus élevée: 1 💰
Offre la plus basse: 1 💰
Valeur totale du contrat/lot: 1 EUR 💰
Identifiant de l’offre: B24-02040-CG_
Identifiant du lot ou groupe de lots: LOT-0001
Informations sur les appels d'offres
Nom de la partie soumissionnaire: Ebara corporation
Nom et adresse du contractant
Nom: EBARA Corporation
Numéro d'enregistrement national: 0108-01-001748
Adresse postale: 11-1 Haneda , Asahi-cho, Ota-ku
Code postal: 144-8510
Commune postale: Tokyo
Pays: Japon 🇯🇵
Pouvoir adjudicateur
Communication
Identifiant de l’avis antérieur: 230472-2024
Source: OJS 2024/S 230-721135 (2024-11-25)
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