Fourniture et installation d'un équipement de dépôt PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)
CNRS délégation régionale Hauts-de-France
Dans le cadre du CPER IMITECH et NANOFUTUR, l'IEMN (Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie) souhaite faire l'acquisition d'un équipement de dépôt PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition).
Date limiteLe délai de réception des offres était de 2023-10-16. L'appel d'offres a été publié le 2023-08-24.
FournisseursLes fournisseurs suivants sont mentionnés dans les décisions d'attribution ou dans d'autres documents relatifs aux marchés publics :
Qui ? Qu'est-ce que c'est ? Où ?
Historique des marchés publics
| Date | Document |
|---|---|
| 2023-08-24 | Avis de marché |
| 2023-08-29 | Informations complémentaires |
| 2023-08-30 | Informations complémentaires |
| 2023-12-19 | Avis d'attribution de marché |
Avis de marché (2023-08-24)
Objet
Champ d'application du marché
Titre: Système de dépôt
Numéro de référence: 202328041106
Brève description:
Langue originale: français 🗣️
Type de document: Avis de marché
Nature du marché: Fournitures
Réglementation: Union européenne
Vocabulaire commun pour les marchés publics (CPV)
Code: Système de dépôt 📦
Lieu d'exécution
Région NUTS: Nord 🏙️
Procédure
Type de procédure: Procédure ouverte
Type de soumission: Soumission pour tous les lots
Critères d'attribution
Offre la plus économique
Pouvoir adjudicateur
Identité
Pays: France 🇫🇷
Type de pouvoir adjudicateur: Organisme de droit public
Nom du pouvoir adjudicateur: CNRS Délégation Régionale Hauts-de-France
Adresse postale: 43 avenue le Corbusier BP 30123
Code postal: 59001
Commune postale: Lille Cedex
Contact
Adresse Internet: https://www.cnrs.fr 🌏
Courrier électronique: dr18.liste.poleachats@dr18.cnrs.fr 📧
Téléphone: +333 20125800 📞
Fax: +33 320630043 📠
URL des documents: https://www.marches-publics.gouv.fr 🌏
Référence
Dates
Date d'envoi: 2023-08-24 📅
Date limite de soumission: 2023-10-16 📅
Date de publication: 2023-08-29 📅
Identifiants
Numéro d'avis: 2023/S 165-519739
Numéro JO-S: 165
Objet
Champ d'application du marché
Valeur totale estimée: 1 120 000 EUR 💰
Brève description:
Valeur estimée hors TVA: 1 120 000 EUR 💰
Durée de l'accord: 14 mois
Description des options:
Lieu d'exécution
Site principal ou lieu d'exécution:
Procédure
Base juridique: 32014L0024
Heure limite de réception des offres: 14:00
Langues dans lesquelles les offres ou les demandes de participation peuvent être présentées: français 🗣️
Période de validité de l'offre: 2 mois
Date d'ouverture des offres: 2023-10-16 📅
Heure d'ouverture des offres: 14:30
Critères d'attribution
Critère de qualité (nom): Valeur technique - Nombre de recettes disponibles à mettre en disposition pour les matériaux demandés et ses propriétés.
Critère de qualité (pondération): 5
Critère de qualité (nom): Valeur technique - Uniformité sur substrat 2D Si 100mm des dépôts pour les matériaux SiO2, Si3N4, SiOxNy, Si-H, SiO2 par TEOS.
Valeur technique - Délais pour le développement des recettes demandées.
Valeur technique - Support procédés.
Valeur technique - Compacité du matériel.
Valeur technique - Modifications et évolutions possibles vers l’acceptabilité de substrats de 200 mm de diamètre, et vers un cluster multichambre et/ou cassette multiwafer.
Valeur technique - Système de fixation des échantillons sur l'électrode inférieure
Valeur technique - Logiciel de pilotage : clarté du synoptique, affichage de paramètres (température, pression, puissance, etc.) sur le synoptique, exportation du rapport reprenant l'historique de passage.
Valeur technique - Niveaux d'accès (a minima opérateur et administrateur) et personnalisation des droits sur le logiciel de pilotage.
Qualité du SAV - Délais de garantie de l'équipement (12 mois minimum).
Qualité du SAV - Délais garantis d'assistance par téléphone ou par courriel ainsi que les moyens mis en œuvre et délais garantis d’intervention sur site et les modalités de dépannage du système.
Délais - Délais de livraison sur le site de l'IEMN (12 mois maximum).
Délais - Délais pour la mise en service, tests et 1ère formation à compter de la livraison sur le site (1 mois maximum).
Valeur environnementale - Intégration de pompes de consommation réglables ou de basse consommation énergétique.
Critère de qualité (pondération): 2,5
Critère de qualité (nom): Valeur environnementale - Consommation énergétique d'un procédé de fabrication d'une couche mince de SiO2.
Prix (pondération): 30
Pouvoir adjudicateur
Identité
Numéro d'enregistrement national: 180 089 013 03894
Contact
Point de contact: Pôle Achats et Marchés Publics
Adresse du profil d'acheteur: https://www.marches-publics.gouv.fr 🌏
URL des documents: https://www.marches-publics.gouv.fr 🌏
Informations complémentaires
Organe de révision
Nom: Tribunal Administratif de Lille
Adresse postale: 5 rue Geoffroy Saint-Hilaire
Commune postale: Lille
Code postal: 59000
Pays: France 🇫🇷
Téléphone: +333 59542342 📞
Courrier électronique: greffe.ta-lille@juradm.fr 📧
Adresse Internet: http://lille.tribunal-administratif.fr 🌏
Informations sur les délais d'introduction des recours:
Source: OJS 2023/S 165-519739 (2023-08-24)
Objet
Champ d'application du marché
Titre: Système de dépôt
Numéro de référence: 202328041106
Brève description:
Dans le cadre du CPER IMITECH et NANOFUTUR, l'IEMN (Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie) souhaite faire l'acquisition d'un équipement de dépôt PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition).
Métadonnées de l'avis
Langue originale: français 🗣️
Type de document: Avis de marché
Nature du marché: Fournitures
Réglementation: Union européenne
Vocabulaire commun pour les marchés publics (CPV)
Code: Système de dépôt 📦
Lieu d'exécution
Région NUTS: Nord 🏙️
Procédure
Type de procédure: Procédure ouverte
Type de soumission: Soumission pour tous les lots
Critères d'attribution
Offre la plus économique
Pouvoir adjudicateur
Identité
Pays: France 🇫🇷
Type de pouvoir adjudicateur: Organisme de droit public
Nom du pouvoir adjudicateur: CNRS Délégation Régionale Hauts-de-France
Adresse postale: 43 avenue le Corbusier BP 30123
Code postal: 59001
Commune postale: Lille Cedex
Contact
Adresse Internet: https://www.cnrs.fr 🌏
Courrier électronique: dr18.liste.poleachats@dr18.cnrs.fr 📧
Téléphone: +333 20125800 📞
Fax: +33 320630043 📠
URL des documents: https://www.marches-publics.gouv.fr 🌏
Référence
Dates
Date d'envoi: 2023-08-24 📅
Date limite de soumission: 2023-10-16 📅
Date de publication: 2023-08-29 📅
Identifiants
Numéro d'avis: 2023/S 165-519739
Numéro JO-S: 165
Objet
Champ d'application du marché
Valeur totale estimée: 1 120 000 EUR 💰
Brève description:
L’équipement souhaité est destiné au dépôt de couches minces utilisant la technologie PECVD. L’équipement doit permettre le dépôt de matériaux en couches minces, présentant des indices optiques variables, tels que l’oxyde de silicium (SiO2), le nitrure de silicium (Si3N4) et divers oxy-nitrures (SiOxNy) ; le silicium hydrogéné (a-Si-H) ; et des oxydes élaborés à partir d’orthosilicate de tétraéthyle (TEOS). L’objectif est d’obtenir des couches de très bonne qualité avec une épaisseur et un indice de réfraction parfaitement maîtrisés. Les dépôts doivent être possibles sur des substrat rigides (Si, GaAs, GaN, quartz, etc.) comme sur des substrats souples polymère (e.g. Kapton). L’équipement doit aussi permettre de réaliser des dépôts à plus faible température (80 °C) et avec de très faibles contraintes mécaniques.
Afficher plus
Durée de l'accord: 14 mois
Description des options:
Quatre PSE obligtaoires sont demandées :
- PSE obligatoire n°1 : Nettoyage RPC (Remote Plasma Cleaning)
- PSE obligatoire n°2 : Extension de garantie de douze mois supplémentaires
- PSE obligatoire n°3 : Kit de maintenance
- PSE obligatoire n°4 : Contrat de maintenance
Site principal ou lieu d'exécution:
La livraison et l'installation se feront à l'IEMN en salle blanche, au rez-de-chaussée.
Adresse :
IEMN UMR CNRS 8520
Av Poincaré CS60069
59652 Villeneuve d'Ascq Cedex
Procédure
Base juridique: 32014L0024
Heure limite de réception des offres: 14:00
Langues dans lesquelles les offres ou les demandes de participation peuvent être présentées: français 🗣️
Période de validité de l'offre: 2 mois
Date d'ouverture des offres: 2023-10-16 📅
Heure d'ouverture des offres: 14:30
Critères d'attribution
Critère de qualité (nom): Valeur technique - Nombre de recettes disponibles à mettre en disposition pour les matériaux demandés et ses propriétés.
Critère de qualité (pondération): 5
Critère de qualité (nom): Valeur technique - Uniformité sur substrat 2D Si 100mm des dépôts pour les matériaux SiO2, Si3N4, SiOxNy, Si-H, SiO2 par TEOS.
Valeur technique - Délais pour le développement des recettes demandées.
Valeur technique - Support procédés.
Valeur technique - Compacité du matériel.
Valeur technique - Modifications et évolutions possibles vers l’acceptabilité de substrats de 200 mm de diamètre, et vers un cluster multichambre et/ou cassette multiwafer.
Valeur technique - Système de fixation des échantillons sur l'électrode inférieure
Valeur technique - Logiciel de pilotage : clarté du synoptique, affichage de paramètres (température, pression, puissance, etc.) sur le synoptique, exportation du rapport reprenant l'historique de passage.
Valeur technique - Niveaux d'accès (a minima opérateur et administrateur) et personnalisation des droits sur le logiciel de pilotage.
Qualité du SAV - Délais de garantie de l'équipement (12 mois minimum).
Qualité du SAV - Délais garantis d'assistance par téléphone ou par courriel ainsi que les moyens mis en œuvre et délais garantis d’intervention sur site et les modalités de dépannage du système.
Délais - Délais de livraison sur le site de l'IEMN (12 mois maximum).
Délais - Délais pour la mise en service, tests et 1ère formation à compter de la livraison sur le site (1 mois maximum).
Valeur environnementale - Intégration de pompes de consommation réglables ou de basse consommation énergétique.
Critère de qualité (pondération): 2,5
Critère de qualité (nom): Valeur environnementale - Consommation énergétique d'un procédé de fabrication d'une couche mince de SiO2.
Prix (pondération): 30
Pouvoir adjudicateur
Identité
Numéro d'enregistrement national: 180 089 013 03894
Contact
Point de contact: Pôle Achats et Marchés Publics
Adresse du profil d'acheteur: https://www.marches-publics.gouv.fr 🌏
URL des documents: https://www.marches-publics.gouv.fr 🌏
Informations complémentaires
Organe de révision
Nom: Tribunal Administratif de Lille
Adresse postale: 5 rue Geoffroy Saint-Hilaire
Commune postale: Lille
Code postal: 59000
Pays: France 🇫🇷
Téléphone: +333 59542342 📞
Courrier électronique: greffe.ta-lille@juradm.fr 📧
Adresse Internet: http://lille.tribunal-administratif.fr 🌏
Informations sur les délais d'introduction des recours:
• Référé précontractuel prévu aux articles L. 551-1à L. 551-12 du code de justice administrative (CJA), pouvant être introduit depuis le début de la procédure de passation jusqu’à la signature du marché ;
• Référé contractuel prévu aux articles L. 551-13 à L. 551-23 du CJA, pouvant être exercé dans les délais prévus à l'article R. 551-7 du CJA ;
• Recours de pleine juridiction contestant la validité du marché dans un délai de 2 mois à compter de l'accomplissement des mesures de publicité appropriées au sens de la décision Département de Tarn-et-Garonne (CE, Ass., 4 avril 2014, n°358994). Ce recours en contestation de validité peut être assorti d'une demande tendant, sur le fondement de l'article L. 521-1 du code de justice administrative, à la suspension de l'exécution du contrat.
Afficher plus
Informations complémentaires (2023-08-29)
Objet
Métadonnées de l'avis
Type de document: Informations complémentaires
Référence
Dates
Date d'envoi: 2023-08-29 📅
Date de publication: 2023-09-01 📅
Identifiants
Numéro d'avis: 2023/S 168-526635
Se réfère à l'avis: 2023/S 165-519739
Numéro JO-S: 168
Source: OJS 2023/S 168-526635 (2023-08-29)
Objet
Métadonnées de l'avis
Type de document: Informations complémentaires
Référence
Dates
Date d'envoi: 2023-08-29 📅
Date de publication: 2023-09-01 📅
Identifiants
Numéro d'avis: 2023/S 168-526635
Se réfère à l'avis: 2023/S 165-519739
Numéro JO-S: 168
Source: OJS 2023/S 168-526635 (2023-08-29)
Informations complémentaires (2023-08-30)
Référence
Dates
Date d'envoi: 2023-08-30 📅
Date de publication: 2023-09-04 📅
Identifiants
Numéro d'avis: 2023/S 169-530691
Numéro JO-S: 169
Source: OJS 2023/S 169-530691 (2023-08-30)
Référence
Dates
Date d'envoi: 2023-08-30 📅
Date de publication: 2023-09-04 📅
Identifiants
Numéro d'avis: 2023/S 169-530691
Numéro JO-S: 169
Source: OJS 2023/S 169-530691 (2023-08-30)
Avis d'attribution de marché (2023-12-19)
Objet
Champ d'application du marché
Valeur totale du marché: 837 676 EUR 💰
Métadonnées de l'avis
Type de document: Avis d'attribution de marché
Réglementation: Union européenne, avec participation des pays de l'AMP
Procédure
Type de soumission: Sans objet
Référence
Dates
Date d'envoi: 2023-12-19 📅
Date de publication: 2023-12-22 📅
Identifiants
Numéro d'avis: 2023/S 247-780192
Numéro JO-S: 247
Attribution du marché
Date de conclusion du contrat: 2023-12-18 📅
Nom: KLA Corporation
Commune postale: Milpitas
Code postal: 95035
Pays: États-Unis 🇺🇸
Valeur totale du marché: 837 676 EUR 💰
Informations sur les appels d'offres
Nombre d'offres reçues: 1
Source: OJS 2023/S 247-780192 (2023-12-19)
Objet
Champ d'application du marché
Valeur totale du marché: 837 676 EUR 💰
Métadonnées de l'avis
Type de document: Avis d'attribution de marché
Réglementation: Union européenne, avec participation des pays de l'AMP
Procédure
Type de soumission: Sans objet
Référence
Dates
Date d'envoi: 2023-12-19 📅
Date de publication: 2023-12-22 📅
Identifiants
Numéro d'avis: 2023/S 247-780192
Numéro JO-S: 247
Attribution du marché
Date de conclusion du contrat: 2023-12-18 📅
Nom: KLA Corporation
Commune postale: Milpitas
Code postal: 95035
Pays: États-Unis 🇺🇸
Valeur totale du marché: 837 676 EUR 💰
Informations sur les appels d'offres
Nombre d'offres reçues: 1
Source: OJS 2023/S 247-780192 (2023-12-19)
Nouveaux marchés dans des catégories connexes 🆕
- Machines industrielles (>20 nouveaux marchés)