Dans le cadre du CPER IMITECH et NANOFUTUR, l'IEMN (Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie) souhaite faire l'acquisition d'un équipement de dépôt PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition).
Date limite
Le délai de réception des offres était de 2023-10-16.
L'appel d'offres a été publié le 2023-08-24.
Fournisseurs
Les fournisseurs suivants sont mentionnés dans les décisions d'attribution ou dans d'autres documents relatifs aux marchés publics :
Avis de marché (2023-08-24) Pouvoir adjudicateur Nom et adresse
Nom: CNRS Délégation Régionale Hauts-de-France
Numéro d'enregistrement national: 180 089 013 03894
Adresse postale: 43 avenue le Corbusier BP 30123
Commune postale: Lille Cedex
Code postal: 59001
Pays: France 🇫🇷
Personne de contact: Pôle Achats et Marchés Publics
Téléphone: +333 20125800📞
Courrier électronique: dr18.liste.poleachats@dr18.cnrs.fr📧
Fax: +33 320630043 📠
Région: Nord🏙️
URL: https://www.cnrs.fr🌏
Adresse du profil d'acheteur: https://www.marches-publics.gouv.fr🌏 Communication
URL des documents: https://www.marches-publics.gouv.fr🌏
Objet Champ d'application du marché
Titre:
“Fourniture et installation d'un équipement de dépôt PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)
202328041106”
Produits/services: Système de dépôt📦
Brève description:
“Dans le cadre du CPER IMITECH et NANOFUTUR, l'IEMN (Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie) souhaite faire l'acquisition d'un...”
Brève description
Dans le cadre du CPER IMITECH et NANOFUTUR, l'IEMN (Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie) souhaite faire l'acquisition d'un équipement de dépôt PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition).
1️⃣
Lieu d'exécution: Nord🏙️
Site principal ou lieu d'exécution:
“La livraison et l'installation se feront à l'IEMN en salle blanche, au rez-de-chaussée.
Adresse :
IEMN UMR CNRS 8520
Av Poincaré CS60069
59652 Villeneuve...”
Site principal ou lieu d'exécution
La livraison et l'installation se feront à l'IEMN en salle blanche, au rez-de-chaussée.
Adresse :
IEMN UMR CNRS 8520
Av Poincaré CS60069
59652 Villeneuve d'Ascq Cedex
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Description du marché:
“L’équipement souhaité est destiné au dépôt de couches minces utilisant la technologie PECVD. L’équipement doit permettre le dépôt de matériaux en couches...”
Description du marché
L’équipement souhaité est destiné au dépôt de couches minces utilisant la technologie PECVD. L’équipement doit permettre le dépôt de matériaux en couches minces, présentant des indices optiques variables, tels que l’oxyde de silicium (SiO2), le nitrure de silicium (Si3N4) et divers oxy-nitrures (SiOxNy) ; le silicium hydrogéné (a-Si-H) ; et des oxydes élaborés à partir d’orthosilicate de tétraéthyle (TEOS). L’objectif est d’obtenir des couches de très bonne qualité avec une épaisseur et un indice de réfraction parfaitement maîtrisés. Les dépôts doivent être possibles sur des substrat rigides (Si, GaAs, GaN, quartz, etc.) comme sur des substrats souples polymère (e.g. Kapton). L’équipement doit aussi permettre de réaliser des dépôts à plus faible température (80 °C) et avec de très faibles contraintes mécaniques.
Afficher plus Critères d'attribution
Critère de qualité (nom):
“Valeur technique - Nombre de recettes disponibles à mettre en disposition pour les matériaux demandés et ses propriétés.”
Critère de qualité (pondération): 5
Critère de qualité (nom):
“Valeur technique - Uniformité sur substrat 2D Si 100mm des dépôts pour les matériaux SiO2, Si3N4, SiOxNy, Si-H, SiO2 par TEOS.”
Critère de qualité (nom): Valeur technique - Délais pour le développement des recettes demandées.
Critère de qualité (nom): Valeur technique - Support procédés.
Critère de qualité (nom): Valeur technique - Compacité du matériel.
Critère de qualité (nom):
“Valeur technique - Modifications et évolutions possibles vers l’acceptabilité de substrats de 200 mm de diamètre, et vers un cluster multichambre et/ou...”
Critère de qualité (nom)
Valeur technique - Modifications et évolutions possibles vers l’acceptabilité de substrats de 200 mm de diamètre, et vers un cluster multichambre et/ou cassette multiwafer.
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Critère de qualité (nom):
“Valeur technique - Système de fixation des échantillons sur l'électrode inférieure”
Critère de qualité (nom):
“Valeur technique - Logiciel de pilotage : clarté du synoptique, affichage de paramètres (température, pression, puissance, etc.) sur le synoptique,...”
Critère de qualité (nom)
Valeur technique - Logiciel de pilotage : clarté du synoptique, affichage de paramètres (température, pression, puissance, etc.) sur le synoptique, exportation du rapport reprenant l'historique de passage.
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Critère de qualité (nom):
“Valeur technique - Niveaux d'accès (a minima opérateur et administrateur) et personnalisation des droits sur le logiciel de pilotage.”
Critère de qualité (nom): Qualité du SAV - Délais de garantie de l'équipement (12 mois minimum).
Critère de qualité (nom):
“Qualité du SAV - Délais garantis d'assistance par téléphone ou par courriel ainsi que les moyens mis en œuvre et délais garantis d’intervention sur site et...”
Critère de qualité (nom)
Qualité du SAV - Délais garantis d'assistance par téléphone ou par courriel ainsi que les moyens mis en œuvre et délais garantis d’intervention sur site et les modalités de dépannage du système.
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Critère de qualité (nom): Délais - Délais de livraison sur le site de l'IEMN (12 mois maximum).
Critère de qualité (nom):
“Délais - Délais pour la mise en service, tests et 1ère formation à compter de la livraison sur le site (1 mois maximum).”
Critère de qualité (nom):
“Valeur environnementale - Intégration de pompes de consommation réglables ou de basse consommation énergétique.”
Critère de qualité (pondération): 2,5
Critère de qualité (nom):
“Valeur environnementale - Consommation énergétique d'un procédé de fabrication d'une couche mince de SiO2.”
Prix (pondération): 30
Champ d'application du marché
Valeur totale estimée hors TVA: EUR 1 120 000 💰
Durée du contrat, de l'accord-cadre ou du système d'acquisition dynamique
Le délai ci-dessous est exprimé en nombre de mois.
Description
Durée de l'accord: 14
Informations sur les options
Options ✅
Description des options:
“Quatre PSE obligtaoires sont demandées :
- PSE obligatoire n°1 : Nettoyage RPC (Remote Plasma Cleaning)
- PSE obligatoire n°2 : Extension de garantie de...”
Description des options
Quatre PSE obligtaoires sont demandées :
- PSE obligatoire n°1 : Nettoyage RPC (Remote Plasma Cleaning)
- PSE obligatoire n°2 : Extension de garantie de douze mois supplémentaires
- PSE obligatoire n°3 : Kit de maintenance
- PSE obligatoire n°4 : Contrat de maintenance
Procédure Type de procédure
Procédure ouverte
Informations administratives
Délai de réception des offres ou des demandes de participation: 2023-10-16
14:00 📅
Langues dans lesquelles les offres ou les demandes de participation peuvent être présentées: français 🗣️
Le délai ci-dessous est exprimé en nombre de mois.
Délai minimum pendant lequel le soumissionnaire doit maintenir l'offre: 2
Conditions d'ouverture des offres: 2023-10-16
14:30 📅
Informations complémentaires Organe de révision
Nom: Tribunal Administratif de Lille
Adresse postale: 5 rue Geoffroy Saint-Hilaire
Commune postale: Lille
Code postal: 59000
Pays: France 🇫🇷
Téléphone: +333 59542342📞
Courrier électronique: greffe.ta-lille@juradm.fr📧
URL: http://lille.tribunal-administratif.fr🌏 Procédure d'examen
Informations précises sur le(s) délai(s) des procédures d'examen:
“• Référé précontractuel prévu aux articles L. 551-1à L. 551-12 du code de justice administrative (CJA), pouvant être introduit depuis le début de la...”
Informations précises sur le(s) délai(s) des procédures d'examen
• Référé précontractuel prévu aux articles L. 551-1à L. 551-12 du code de justice administrative (CJA), pouvant être introduit depuis le début de la procédure de passation jusqu’à la signature du marché ;
• Référé contractuel prévu aux articles L. 551-13 à L. 551-23 du CJA, pouvant être exercé dans les délais prévus à l'article R. 551-7 du CJA ;
• Recours de pleine juridiction contestant la validité du marché dans un délai de 2 mois à compter de l'accomplissement des mesures de publicité appropriées au sens de la décision Département de Tarn-et-Garonne (CE, Ass., 4 avril 2014, n°358994). Ce recours en contestation de validité peut être assorti d'une demande tendant, sur le fondement de l'article L. 521-1 du code de justice administrative, à la suspension de l'exécution du contrat.
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Source: OJS 2023/S 165-519739 (2023-08-24)
Informations complémentaires (2023-08-29)
Informations complémentaires Référence de l'avis original
Numéro de l'avis au JO S: 2023/S 165-519739
Changements Texte à corriger dans l'avis original
Numéro de section: II.2.5
Emplacement du texte à modifier: Critères d'attribution
Ancienne valeur
Texte:
“Critère de qualité - Nom : Délais - Délais de livraison sur le site de l'IEMN (12 mois maximum). / Pondération : 5” Nouvelle valeur
Texte:
“Critère de qualité - Nom : Délais - Délais de livraison sur le site de l'IEMN (11 mois maximum). / Pondération : 5” Texte à corriger dans l'avis original
Numéro de section: II.2.7
Emplacement du texte à modifier: Durée du marché, de l'accord-cadre ou du système d'acquisition dynamique
Ancienne valeur
Texte: Durée en mois: 14
Nouvelle valeur
Texte: Durée en mois: 13
Source: OJS 2023/S 168-526635 (2023-08-29)
Informations complémentaires (2023-08-30)
Changements Texte à corriger dans l'avis original
Numéro de section: IV.1.8
Emplacement du texte à modifier: Information concernant l’accord sur les marchés publics (AMP)
Ancienne valeur
Texte: Le marché est couvert par l'accord sur les marchés publics: non
Nouvelle valeur
Texte: Le marché est couvert par l'accord sur les marchés publics: oui
Source: OJS 2023/S 169-530691 (2023-08-30)
Avis d'attribution de marché (2023-12-19) Objet Champ d'application du marché
Valeur totale du marché (hors TVA): EUR 837 676 💰
Procédure Informations administratives
Publication précédente concernant cette procédure: 2023/S 165-519739
Attribution du marché
1️⃣
Numéro de contrat: 2027788
Titre:
“Fourniture et installation d'un équipement de dépôt PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)”
Date de conclusion du contrat: 2023-12-18 📅
Informations sur les appels d'offres
Nombre d'offres reçues: 1
Nombre d'offres reçues de PME: 0
Nombre d'offres reçues de soumissionnaires d'autres États membres de l'UE: 0
Nombre d'offres reçues de soumissionnaires d'États non membres de l'UE: 1
Nombre d'offres reçues par voie électronique: 1
Nom et adresse du contractant
Nom: KLA Corporation
Commune postale: Milpitas
Code postal: 95035
Pays: États-Unis 🇺🇸
Région: us 🏙️
Le contractant est une PME
Information sur la valeur du contrat/lot (hors TVA)
Valeur totale estimée du contrat/lot: EUR 1 120 000 💰
Valeur totale du contrat/lot: EUR 837 676 💰
Informations complémentaires Procédure d'examen
Informations précises sur le(s) délai(s) des procédures d'examen:
“• Référé contractuel prévu aux articles L. 551-13 à L. 551-23 du CJA, pouvant être exercé dans les délais prévus à l'article R. 551-7 du CJA ;
• Recours de...”
Informations précises sur le(s) délai(s) des procédures d'examen
• Référé contractuel prévu aux articles L. 551-13 à L. 551-23 du CJA, pouvant être exercé dans les délais prévus à l'article R. 551-7 du CJA ;
• Recours de pleine juridiction contestant la validité du marché dans un délai de 2 mois à compter de l'accomplissement des mesures de publicité appropriées au sens de la décision Département de Tarn-et-Garonne (CE, Ass., 4 avril 2014, n°358994). Ce recours en contestation de validité peut être assorti d'une demande tendant, sur le fondement de l'article L. 521-1 du code de justice administrative, à la suspension de l'exécution du contrat.
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Source: OJS 2023/S 247-780192 (2023-12-19)