Équipement de dépôt par faisceau d'ions (Cluster 200 mm IBAD & ICPCVD)

CEA/Grenoble

Le CEA-LETI souhaite faire l’acquisition d’un équipement avec des réacteurs de dépôts/gravures de technique IBAD (Ion Beam Assisted Deposition) et ICPCVD (Inductively Coupled Plasma Chemical Vapour Deposition), il sera capable de traiter des plaques de silicium ou de verre de diamètres 200 mm.
L’équipement sera installé dans la salle blanche micro-électronique du CEA-LETI et sera utilisé 24 h/24.
Le réacteur IBAD devra permettre d’effectuer des dépôts/gravure à des températures entre 10 ºC et jusqu'à 300 C. Le réacteur ICPVCD devra permettre d’effectuer des dépôts/gravure à température ambiante et jusqu'à 450 C.
Le logiciel automatisé doit assurer un fonctionnement facile et des performances stables.
L’empreinte en salle blanche doit être la plus faible possible.

Date limite
Le délai de réception des offres était de 2019-10-07. L'appel d'offres a été publié le 2019-09-03.

Fournisseurs
Les fournisseurs suivants sont mentionnés dans les décisions d'attribution ou dans d'autres documents relatifs aux marchés publics :
Qui ?

Qu'est-ce que c'est ?

Où ?

Historique des marchés publics
Date Document
2019-09-03 Avis de marché
2019-10-24 Avis d'attribution de marché
2019-11-25 Avis d'attribution de marché
Avis de marché (2019-09-03)
Pouvoir adjudicateur
Nom et adresse
Nom: CEA/Grenoble
Adresse postale: 17 rue des Martyrs
Commune postale: Grenoble Cedex 9
Code postal: 38054
Pays: France 🇫🇷
Personne de contact: Mme Charlotte Fritsch
Téléphone: +33 438783158 📞
Courrier électronique: charlotte.fritsch@cea.fr 📧
Fax: +33 438785060 📠
Région: Isère 🏙️
URL: www.cea.fr 🌏
Adresse du profil d'acheteur: https://www.marches-publics.gouv.fr 🌏
Communication
URL des documents: https://www.marches-publics.gouv.fr 🌏
URL de participation: https://www.marches-publics.gouv.fr 🌏

Objet
Champ d'application du marché
Titre: Équipement de dépôt par faisceau d'ions (Cluster 200 mm IBAD & ICPCVD)
Produits/services: Machines et appareils microélectroniques 📦
Brève description:
“Le CEA-LETI souhaite faire l’acquisition d’un équipement avec des réacteurs de dépôts/gravures de technique IBAD (Ion Beam Assisted Deposition) et ICPCVD...”    Afficher plus

1️⃣
Lieu d'exécution: Isère 🏙️
Site principal ou lieu d'exécution: CEA Grenoble — conditions d'accès réglementées.
Description du marché:
“Le CEA-LETI souhaite faire l’acquisition d’un équipement avec des réacteurs de dépôts/gravures de technique IBAD (Ion Beam Assisted Deposition) et ICPCVD...”    Afficher plus
Critères d'attribution
Le prix n'est pas le seul critère d'attribution et tous les critères ne sont énoncés que dans les documents de passation de marchés
Champ d'application du marché
Valeur totale estimée hors TVA: EUR 1 💰
Durée du contrat, de l'accord-cadre ou du système d'acquisition dynamique
Le délai ci-dessous est exprimé en nombre de mois.
Description
Durée de l'accord: 8
Informations sur les variantes
Les variantes sont acceptées

Informations juridiques, économiques, financières et techniques
Conditions de participation
Liste et brève description des conditions:
“Le candidat fournira à l’appui de sa candidature: — le formulaire DC1 (lettre de candidature et habilitation du mandataire par ses cotraitants) ou...”    Afficher plus
Situation économique et financière
Critères de sélection énoncés dans les documents de passation de marchés
Capacité technique et professionnelle
Critères de sélection énoncés dans les documents de passation de marchés

Procédure
Type de procédure
Procédure ouverte
Informations administratives
Délai de réception des offres ou des demandes de participation: 2019-10-07 12:00 📅
Langues dans lesquelles les offres ou les demandes de participation peuvent être présentées: anglais 🗣️
Langues dans lesquelles les offres ou les demandes de participation peuvent être présentées: français 🗣️
Le délai ci-dessous est exprimé en nombre de mois.
Délai minimum pendant lequel le soumissionnaire doit maintenir l'offre: 4
Conditions d'ouverture des offres: 2019-10-07 12:00 📅

Informations complémentaires
Informations complémentaires

“Les entreprises nouvellement créées sont autorisées à présenter leur candidature. Si elles ne sont pas en mesure de produire certains des documents demandés...”    Afficher plus
Organe de révision
Nom: Tribunal administratif de Grenoble
Adresse postale: 2 place de Verdun
Commune postale: Grenoble
Code postal: 38000
Pays: France 🇫🇷
Téléphone: +33 476429000 📞
Courrier électronique: greffe.ta-grenoble@juradm.fr 📧
Fax: +33 476422269 📠
URL: http://grenoble.tribunal-administratif.fr/ 🌏
Procédure d'examen
Informations précises sur le(s) délai(s) des procédures d'examen:
“Le référé précontractuel peut être introduit depuis le début de la procédure de passation jusqu'à la signature du marché. Le référé contractuel peut être...”    Afficher plus
Service auprès duquel des informations sur la procédure de recours peuvent être obtenues
Nom: Greffe du tribunal administratif de Grenoble
Adresse postale: 2 place de Verdun
Commune postale: Grenoble
Code postal: 38000
Pays: France 🇫🇷
Téléphone: +33 476429000 📞
Courrier électronique: greffe.ta-grenoble@juradm.fr 📧
Fax: +33 476422269 📠
URL: http://grenoble.tribunal-administratif.fr/ 🌏
Source: OJS 2019/S 172-419122 (2019-09-03)
Avis d'attribution de marché (2019-10-24)
Objet
Champ d'application du marché
Titre:
“Équipement de dépôt par faisceau d'ions (Cluster 200mm IBAD & ICPCVD) AOO-190550-CF”
Brève description:
“Le CEA-Leti souhaite faire l’acquisition d’un équipement avec des réacteurs de dépôts/gravures de technique IBAD (Ion Beam Assisted Deposition) et ICPCVD...”    Afficher plus
Description
Description du marché:
“Le CEA-Leti souhaite faire l’acquisition d’un équipement avec des réacteurs de dépôts/gravures de technique IBAD (Ion Beam Assisted Deposition) et ICPCVD...”    Afficher plus
Critères d'attribution
Critère de qualité (nom): Qualité technique de l'offre
Critère de qualité (pondération): 45
Critère de qualité (nom): Délais
Critère de qualité (pondération): 5
Prix (pondération): 50

Procédure
Informations administratives
Publication précédente concernant cette procédure: 2019/S 172-419122

Attribution du marché

1️⃣
Titre: Equipement de dépôt par faisceau d'ions (Cluster 200 mm IBAD & ICPCVD)
Informations sur les non-lauréats
Aucune offre ou demande de participation n'a été reçue ou toutes ont été rejetées

Informations complémentaires
Informations complémentaires

“Les entreprises nouvellement créées sont autorisées à présenter leur candidature. Si elles ne sont pas en mesure de produire certains des documents demandés...”    Afficher plus
Procédure d'examen
Informations précises sur le(s) délai(s) des procédures d'examen:
“Le référé précontractuel peut être introduit depuis le début de la procédure de passation jusqu’à la signature du marché. Le référé contractuel peut être...”    Afficher plus
Source: OJS 2019/S 209-509930 (2019-10-24)
Avis d'attribution de marché (2019-11-25)
Pouvoir adjudicateur
Nom et adresse
Nom: CEA Grenoble

Objet
Champ d'application du marché
Titre:
“Équipement de dépôt par faisceau d'ions (Cluster 200 mm IBAD & ICPCVD) PN-190671-CF”
Valeur totale du marché (hors TVA): EUR 1 💰
Description
Informations complémentaires:
“— la procédure avec négociation PN-190671-CF fait suite à l'appel d'offres ouvert référencé AOO-190550-CF déclaré infructueux, — il a été indiqué 1.00 à la...”    Afficher plus

Procédure
Type de procédure
Procédure concurrentielle avec négociation

Attribution du marché
Numéro de contrat: 4000859903/P7T30
Titre: Équipement de dépôt par faisceau d'ions (Cluster 200 mm IBAD & ICPCVD)
Date de conclusion du contrat: 2019-11-22 📅
Informations sur les appels d'offres
Nombre d'offres reçues: 1
Nombre d'offres reçues de PME: 1
Nombre d'offres reçues de soumissionnaires d'autres États membres de l'UE: 0
Nombre d'offres reçues de soumissionnaires d'États non membres de l'UE: 0
Nombre d'offres reçues par voie électronique: 1
Nom et adresse du contractant
Nom: Puces Technologies Semiconducteurs
Numéro d'enregistrement national: 394917520
Commune postale: Villard-Bonnot
Pays: France 🇫🇷
Région: Isère 🏙️
Le contractant est une PME
Information sur la valeur du contrat/lot (hors TVA)
Valeur totale du contrat/lot: EUR 1 💰

Informations complémentaires
Procédure d'examen
Informations précises sur le(s) délai(s) des procédures d'examen:
“— le référé précontractuel peut être introduit depuis le début de la procédure de passation jusqu'à la signature du marché, — le référé contractuel peut...”    Afficher plus
Source: OJS 2019/S 230-563829 (2019-11-25)