Machine de gravure ionique réactive par plasma en mode de couplage capacitif — FEMTO-ST
CNRS — Délégation Centre Est
Acquisition, livraison et installation d'une machine de gravure ionique réactive par plasma en mode de couplage capacitif (RIE-CCP) capable de réaliser des usinages aussi bien sur des substrats diélectriques (SiOx, SiNx) que sur des substrats semi-conducteurs (Si) ou sur des substrats durs à graver comme le LiNbO3 ou le PZT, avec une excellente verticalité des flancs (proche de 90 degrés) et une excellente sélectivité.
Date limiteLe délai de réception des offres était de 2018-02-09. L'appel d'offres a été publié le 2017-12-15.
FournisseursLes fournisseurs suivants sont mentionnés dans les décisions d'attribution ou dans d'autres documents relatifs aux marchés publics :
Qui ? Qu'est-ce que c'est ? Où ?
Historique des marchés publics
| Date | Document |
|---|---|
| 2017-12-15 | Avis de marché |
| 2018-04-06 | Avis d'attribution de marché |
Avis de marché (2017-12-15)
Objet
Champ d'application du marché
Titre: Machines et appareils microélectroniques et microsystèmes
Numéro de référence: 17.06.09-cnrs
Brève description:
Métadonnées de l'avis
Langue originale: français 🗣️
Type de document: Avis de marché
Nature du marché: Fournitures
Réglementation: Union européenne, avec participation des pays de l'AMP
Vocabulaire commun pour les marchés publics (CPV)
Code: Machines et appareils microélectroniques et microsystèmes 📦
Lieu d'exécution
Région NUTS: Franche-Comté 🏙️
Procédure
Type de procédure: Procédure ouverte
Type de soumission: Soumission pour tous les lots
Critères d'attribution
Offre la plus économique
Pouvoir adjudicateur
Identité
Pays: France 🇫🇷
Type de pouvoir adjudicateur: Organisme de droit public
Nom du pouvoir adjudicateur: CNRS — Délégation Centre Est
Adresse postale: 17 rue Notre Dame des Pauvres, BP 10075
Code postal: 54519
Commune postale: Vandœuvre-lès-Nancy
Contact
Adresse Internet: http://www.dr6.cnrs.fr/centre-est/ 🌏
Courrier électronique: dr06.liste.achats@cnrs.fr 📧
Téléphone: +33 83856077 📞
Fax: +33 83856058 📠
URL des documents: https://www.marches-publics.gouv.fr/?page=entreprise.EntrepriseAdvancedSearch&AllCons&refConsultation=360043&orgAcronyme=f2h 🌏
Référence
Dates
Date d'envoi: 2017-12-15 📅
Date limite de soumission: 2018-02-09 📅
Date de publication: 2017-12-19 📅
Identifiants
Numéro d'avis: 2017/S 243-505867
Numéro JO-S: 243
Informations complémentaires
Objet
Champ d'application du marché
Brève description:
Durée de l'accord: 6 mois
Description des options:
Informations complémentaires:
Lieu d'exécution
Site principal ou lieu d'exécution:
Informations juridiques, économiques, financières et techniques
Exécution du marché
Conditions d'exécution du contrat:
Procédure
Heure limite de réception des offres: 16:00
Langues dans lesquelles les offres ou les demandes de participation peuvent être présentées: français 🗣️
Période de validité de l'offre: 2018-05-08 📅
Date d'ouverture des offres: 2018-02-12 📅
Heure d'ouverture des offres: 09:00
Lieu: Délégation centre est du CNRS — 17 rue Notre Dame des Pauvres — 54500 Vandœuvre
Informations complémentaires: L'ouverture des plis n'est pas publique; les candidats n'y sont pas admis.
Pouvoir adjudicateur
Identité
Numéro d'enregistrement national: 18008901303993
Contact
Point de contact: Pôle achats
Adresse du profil d'acheteur: https://www.marches-publics.gouv.fr 🌏
URL des documents: https://www.marches-publics.gouv.fr/?page=entreprise.EntrepriseAdvancedSearch&AllCons&refConsultation=360043&orgAcronyme=f2h 🌏
Informations complémentaires
Organe de révision
Nom: Tribunal administratif de Nancy
Adresse postale: 5 place de la Carrière — CO nº 20038
Commune postale: Nancy Cedex
Code postal: 54036
Pays: France 🇫🇷
Téléphone: +33 383174343 📞
Courrier électronique: greffe.ta-nancy@juradm.fr 📧
Fax: +33 383174350 📠
Adresse Internet: www.nancy.tribunal-administratif.fr 🌏
Source: OJS 2017/S 243-505867 (2017-12-15)
Objet
Champ d'application du marché
Titre: Machines et appareils microélectroniques et microsystèmes
Numéro de référence: 17.06.09-cnrs
Brève description:
Acquisition, livraison et installation d'une machine de gravure ionique réactive par plasma en mode de couplage capacitif (RIE-CCP) capable de réaliser des usinages aussi bien sur des substrats diélectriques (SiOx, SiNx) que sur des substrats semi-conducteurs (Si) ou sur des substrats durs à graver comme le LiNbO3 ou le PZT, avec une excellente verticalité des flancs (proche de 90 degrés) et une excellente sélectivité.
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Langue originale: français 🗣️
Type de document: Avis de marché
Nature du marché: Fournitures
Réglementation: Union européenne, avec participation des pays de l'AMP
Vocabulaire commun pour les marchés publics (CPV)
Code: Machines et appareils microélectroniques et microsystèmes 📦
Lieu d'exécution
Région NUTS: Franche-Comté 🏙️
Procédure
Type de procédure: Procédure ouverte
Type de soumission: Soumission pour tous les lots
Critères d'attribution
Offre la plus économique
Pouvoir adjudicateur
Identité
Pays: France 🇫🇷
Type de pouvoir adjudicateur: Organisme de droit public
Nom du pouvoir adjudicateur: CNRS — Délégation Centre Est
Adresse postale: 17 rue Notre Dame des Pauvres, BP 10075
Code postal: 54519
Commune postale: Vandœuvre-lès-Nancy
Contact
Adresse Internet: http://www.dr6.cnrs.fr/centre-est/ 🌏
Courrier électronique: dr06.liste.achats@cnrs.fr 📧
Téléphone: +33 83856077 📞
Fax: +33 83856058 📠
URL des documents: https://www.marches-publics.gouv.fr/?page=entreprise.EntrepriseAdvancedSearch&AllCons&refConsultation=360043&orgAcronyme=f2h 🌏
Référence
Dates
Date d'envoi: 2017-12-15 📅
Date limite de soumission: 2018-02-09 📅
Date de publication: 2017-12-19 📅
Identifiants
Numéro d'avis: 2017/S 243-505867
Numéro JO-S: 243
Informations complémentaires
Les visites du laboratoire sont possibles et seront organisées les 9.1.2018 et 16.1.2018.
Les candidats indiquent parmi les dates proposées celle ayant leur préférence et la transmette par courriel: dr06.liste.achats@cnrs.fr ou sur la plateforme PLACE.
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Objet
Champ d'application du marché
Brève description:
Acquisition, livraison et installation d'une machine de gravure ionique réactive par plasma en mode de couplage capacitif (RIE-CCP) capable de réaliser des usinages aussi bien sur des substrats diélectriques (SiOx, SiNx) que sur des substrats semi-conducteurs (Si) ou sur des substrats durs à graver comme le LiNbO3 ou le PZT, avec une excellente verticalité des flancs (proche de 90 degrés) et une excellente sélectivité. L’équipement sera installé dans une salle blanche de classe ISO7 au laboratoire FEMTO-ST.
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Description des options:
PSE 1: SAS de chargement;
PSE 2: porte substrat en quartz et en graphite pour wafer 3 pouces;
PSE 3: porte substrat en quartz et en graphite pour wafer 6 pouces;
PSE 4: générateur de 600 W.
Les visites du laboratoire sont possibles et seront organisées les 9.1.2018 et 16.1.2018.
Les candidats indiquent parmi les dates proposées celle ayant leur préférence et la transmette par courriel: dr06.liste.achats@cnrs.fr ou sur la plateforme PLACE.
Site principal ou lieu d'exécution:
FEMTO-ST (UMR 6174) — CNRS, Maison des microtéchniques, 18 rue Alain Savary, 25 000 Besançon
Informations juridiques, économiques, financières et techniques
Exécution du marché
Conditions d'exécution du contrat:
Une avance de 30 % du montant initial, toutes taxes comprises, du marché est accordée au titulaire, s’il l’accepte dans l’acte d’engagement. Cette avance sera versée dans les 30 jours maximum à compter de la notification du marché.
La livraison par camion avec hayon (pas de quai de chargement), la mise en place en salle blanche, la connexion et la mise en route de l’équipement devront être comprises dans l’offre.
Procédure
Heure limite de réception des offres: 16:00
Langues dans lesquelles les offres ou les demandes de participation peuvent être présentées: français 🗣️
Période de validité de l'offre: 2018-05-08 📅
Date d'ouverture des offres: 2018-02-12 📅
Heure d'ouverture des offres: 09:00
Lieu: Délégation centre est du CNRS — 17 rue Notre Dame des Pauvres — 54500 Vandœuvre
Informations complémentaires: L'ouverture des plis n'est pas publique; les candidats n'y sont pas admis.
Pouvoir adjudicateur
Identité
Numéro d'enregistrement national: 18008901303993
Contact
Point de contact: Pôle achats
Adresse du profil d'acheteur: https://www.marches-publics.gouv.fr 🌏
URL des documents: https://www.marches-publics.gouv.fr/?page=entreprise.EntrepriseAdvancedSearch&AllCons&refConsultation=360043&orgAcronyme=f2h 🌏
Informations complémentaires
Organe de révision
Nom: Tribunal administratif de Nancy
Adresse postale: 5 place de la Carrière — CO nº 20038
Commune postale: Nancy Cedex
Code postal: 54036
Pays: France 🇫🇷
Téléphone: +33 383174343 📞
Courrier électronique: greffe.ta-nancy@juradm.fr 📧
Fax: +33 383174350 📠
Adresse Internet: www.nancy.tribunal-administratif.fr 🌏
Source: OJS 2017/S 243-505867 (2017-12-15)
Avis d'attribution de marché (2018-04-06)
Objet
Champ d'application du marché
Valeur totale du marché: 202 550 EUR 💰
Métadonnées de l'avis
Type de document: Avis d'attribution de marché
Procédure
Type de soumission: Sans objet
Pouvoir adjudicateur
Identité
Nom du pouvoir adjudicateur: CNRS-Délégation Centre Est
Référence
Dates
Date d'envoi: 2018-04-06 📅
Date de publication: 2018-04-07 📅
Identifiants
Numéro d'avis: 2018/S 068-150754
Se réfère à l'avis: 2017/S 243-505867
Numéro JO-S: 68
Informations complémentaires
Objet
Champ d'application du marché
Description des options:
Informations complémentaires:
Site principal ou lieu d'exécution:
Procédure
Critères d'attribution
Critère de qualité (nom): Propriétés des usinages obtenues et définis dans le cadre de réponse technique
Critère de qualité (pondération): 28
Critère de qualité (nom): Spécifications techniques de l'équipement
Critère de qualité (pondération): 22
Critère de qualité (nom): Maintenance et support technique
Critère de qualité (pondération): 15
Critère de qualité (nom): Critère environnemental
Critère de qualité (pondération): 5
Pondération du prix: 30
Attribution du marché
Date de conclusion du contrat: 2018-03-30 📅
Pouvoir adjudicateur
Contact
Point de contact: Pôle Achats
Référence
Informations complémentaires
Source: OJS 2018/S 068-150754 (2018-04-06)
Objet
Champ d'application du marché
Valeur totale du marché: 202 550 EUR 💰
Métadonnées de l'avis
Type de document: Avis d'attribution de marché
Procédure
Type de soumission: Sans objet
Pouvoir adjudicateur
Identité
Nom du pouvoir adjudicateur: CNRS-Délégation Centre Est
Référence
Dates
Date d'envoi: 2018-04-06 📅
Date de publication: 2018-04-07 📅
Identifiants
Numéro d'avis: 2018/S 068-150754
Se réfère à l'avis: 2017/S 243-505867
Numéro JO-S: 68
Informations complémentaires
Les visites du laboratoire sont possibles et seront organisées les 9.1.2018 et 16.1.2018.
Les candidats indiquent parmi les dates proposées celle ayant leur préférence et la transmette par courriel: dr06.liste.achats@cnrs.fr ou sur la plate-forme PLACE.
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Objet
Champ d'application du marché
Description des options:
PSE 1: SAS de chargement.
PSE 2: Porte substrat en quartz et en graphite pour wafer 3 pouces.
PSE 3: Porte substrat en quartz et en graphite pour wafer 6 pouces.
PSE 4: Générateur de 600 W.
Les candidats indiquent parmi les dates proposées celle ayant leur préférence et la transmette par courriel: dr06.liste.achats@cnrs.fr ou sur la plate-forme PLACE.
Lieu d'exécution
Site principal ou lieu d'exécution:
FEMTO-ST (UMR 6174) — CNRS, Maison des microtechniques, 18 rue Alain Savary, 25 000 Besançon
Procédure
Critères d'attribution
Critère de qualité (nom): Propriétés des usinages obtenues et définis dans le cadre de réponse technique
Critère de qualité (pondération): 28
Critère de qualité (nom): Spécifications techniques de l'équipement
Critère de qualité (pondération): 22
Critère de qualité (nom): Maintenance et support technique
Critère de qualité (pondération): 15
Critère de qualité (nom): Critère environnemental
Critère de qualité (pondération): 5
Pondération du prix: 30
Attribution du marché
Date de conclusion du contrat: 2018-03-30 📅
Pouvoir adjudicateur
Contact
Point de contact: Pôle Achats
Référence
Informations complémentaires
Les options retenues et comprises dans le montant du marché sont les prestations supplémentaires nº 2 (porte substrat pour wafer 3 pouces), nº 3 (porte substrat pour wafer 6 pouces) et nº 4(générateur de 600 w).
La date de signature du marché est le 28.3.2018 et la date de notification du marché au titulaire est le 30.3.2018.
Le présent avis d'attribution correspond à l'accomplissement des mesures de publicité appropriées au sens de la décision Tarn-et-Garonne (CE, Ass 4.4.2014, nº 358994). Le contrat est consultable dans le respect des secrets protégés par la loi nº 78-753 du 17.7.1978 codifiée dans le livre III du code des relations entre le public et l'administration, sur place à l'adresse suivante: CNRS-Délégation Centre-Est — Pôle achats — 17, rue Notre Dame des Pauvres — 54 519 Vandoeuvre-lès-Nancy, après une demande écrite adressée par télécopie ou courriel: 03.83.85.60.58 ou dr06.liste.achats@cnrs.fr au service financier et comptable de la délégation et uniquement sur prise de rendez-vous du lundi au vendredi de 9:30 à 11:30 et de 14:30 à 16:00, hors jours fériés et jours de fermeture du site.
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