Marchés publics récents dans lesquels le fournisseur Puces Technologies Semiconducteurs est mentionné
2019-09-03Équipement de dépôt par faisceau d'ions (Cluster 200 mm IBAD & ICPCVD) (CEA/Grenoble)
Le CEA-LETI souhaite faire l’acquisition d’un équipement avec des réacteurs de dépôts/gravures de technique IBAD (Ion Beam Assisted Deposition) et ICPCVD (Inductively Coupled Plasma Chemical Vapour Deposition), il sera capable de traiter des plaques de silicium ou de verre de diamètres 200 mm.
L’équipement sera installé dans la salle blanche micro-électronique du CEA-LETI et sera utilisé 24 h/24.
Le réacteur IBAD devra permettre d’effectuer des dépôts/gravure à des températures entre 10 ºC et jusqu'à 300 …
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