2019-05-24Fourniture d'un équipement ALD pour les matériaux lithiés (CEA/Grenoble)
Dans le cadre de ses activités de recherche et développement en microélectronique, le CEA-LETI souhaite acquérir un équipement de dépôt type ALD (Atomic Layer Deposition) pour les matériaux lithiés. La mise au point de ces couches nécessite un équipement intégré avec une boîte à gants permettant la réalisation au sein de la même chambre de couches lithiés et de couches oxydes/nitrures. L’équipement doit être compatible avec l’utilisation des précurseurs lithiés. Cet équipement doit être capable de …
Voir la passation de marché » Fournisseurs mentionnés:PICOSUN OY