Marchés publics récents dans lesquels le fournisseur Nanometrics est mentionné
2016-01-08Équipement de mesure d’ épaisseurs pour plaques silicium de diamètre 200 millimètres et 300 millimètres, communément... (CEA/Grenoble)
Le CEA LETI souhaite faire l’acquisition d’un équipement de mesure d’épaisseurs pour plaques silicium de diamètre 200 millimètres et 300 millimètres. Cet équipement devra permettre des mesures spectroscopiques en réflectivité et en ellipsométrie, afin de déterminer les propriétés optiques ainsi que les épaisseurs de couches minces variées (Oxydes et Nitrures de Silicium, matériaux high-k , SiGe, SOI, etc…) et d’empilements de couches. Il devra pouvoir mesurer des plaques comportant ou non des motifs. …
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2015-05-28Fourniture d'un système de cartographie de photoluminescence (Association de préfiguration institut Lafayette)
L'équipement visé est un dispositif permettant de recueillir le signal de photoluminescence issu des matériaux et des structures réalisées dans l'Institut Lafayette. Qu'il s'agisse de l'analyse des propriétés des matériaux pour leur optimisation ou de l'analyse du fonctionnement des structures de composants, l'équipement permettra de collecter le signal de photoluminescence sur toute la surface des échantillons jusqu'à une taille de 200 mm. La possibilité de résoudre spatialement pour obtenir une …
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2013-01-31Équipement de métrologie d’épaisseur Date de livraison souhaitée : 6 mois (CEA/Grenoble)
Le CEA-LETI souhaite s’équiper d’un équipement de mesure d’épaisseur pour la métrologie des films minces déposés sur des plaques de silicium de 200 et 300 millimètres de diamètre, 24h/24, 7j/7, 365 jours/an. Cet équipement, neuf ou d’occasion, sera installé et exploité en salle blanche de classe 100 pour les applications en microélectronique avancée.
L’équipement doit permettre de coupler les techniques d’ellipsométrie et de réflectométrie spectroscopique. Il doit également présenter les caractéristiques …
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