Équipement de mesure d’ épaisseurs pour plaques silicium de diamètre 200 millimètres et 300 millimètres, communément appelé « éllipsomètre 200-300 mm »

CEA/Grenoble

Le CEA LETI souhaite faire l’acquisition d’un équipement de mesure d’épaisseurs pour plaques silicium de diamètre 200 millimètres et 300 millimètres. Cet équipement devra permettre des mesures spectroscopiques en réflectivité et en ellipsométrie, afin de déterminer les propriétés optiques ainsi que les épaisseurs de couches minces variées (Oxydes et Nitrures de Silicium, matériaux high-k , SiGe, SOI, etc…) et d’empilements de couches. Il devra pouvoir mesurer des plaques comportant ou non des motifs. L’équipement sera installé dans la salle blanche micro-électronique du CEA-LETI et sera utilisé 24h/24.

Date limite
Le délai de réception des offres était de 2016-02-19. L'appel d'offres a été publié le 2016-01-08.

Fournisseurs
Les fournisseurs suivants sont mentionnés dans les décisions d'attribution ou dans d'autres documents relatifs aux marchés publics :
Qui ?

Qu'est-ce que c'est ?

Historique des marchés publics
Date Document
2016-01-08 Avis de marché
2016-06-16 Avis d'attribution de marché
Avis de marché (2016-01-08)
Objet
Champ d'application du marché
Titre: Machines et appareils microélectroniques et microsystèmes
Quantity or scope:
“Fourniture d’un (1) équipement de mesure d’épaisseurs pour plaques silicium de diamètre 200 millimètres et 300 millimètres, communément appelé «...”    Afficher plus
Métadonnées de l'avis
Langue originale: français 🗣️
Type de document: Avis de marché
Nature du marché: Fournitures
Réglementation: Union européenne, avec participation des pays de l'AMP
Vocabulaire commun pour les marchés publics (CPV)
Code: Machines et appareils microélectroniques et microsystèmes 📦

Procédure
Type de procédure: Procédure ouverte
Type de soumission: Soumission pour tous les lots
Critères d'attribution
Offre la plus économique

Pouvoir adjudicateur
Identité
Pays: France 🇫🇷
Type de pouvoir adjudicateur: Organisme de droit public
Nom du pouvoir adjudicateur: CEA/Grenoble
Adresse postale: 17 rue des Martyrs
Code postal: 38054
Commune postale: Grenoble Cedex 9
Contact
Adresse Internet: http://www.cea.fr 🌏
Courrier électronique: claire.moreau-flachat@cea.fr 📧
Téléphone: +33 438789943 📞
Fax: +33 438785060 📠

Référence
Dates
Date d'envoi: 2016-01-08 📅
Date limite de soumission: 2016-02-19 📅
Date de publication: 2016-01-20 📅
Identifiants
Numéro d'avis: 2016/S 013-018337
Numéro JO-S: 13
Informations complémentaires

“Les marchés du CEA ne sont pas soumis au code des marchés publics.”
Source: OJS 2016/S 013-018337 (2016-01-08)
Avis d'attribution de marché (2016-06-16)
Objet
Métadonnées de l'avis
Type de document: Avis d'attribution de marché

Procédure
Type de soumission: Sans objet

Pouvoir adjudicateur
Contact
Téléphone: 04.38.78.99.43 📞
Fax: 04.38.78.50.60 📠

Référence
Dates
Date d'envoi: 2016-06-16 📅
Date de publication: 2016-06-28 📅
Identifiants
Numéro d'avis: 2016/S 122-219164
Se réfère à l'avis: 2016/S 013-018337
Numéro JO-S: 122
Informations complémentaires

“II. 1.3) L’avis implique”
Source: OJS 2016/S 122-219164 (2016-06-16)