Équipement de mesure d’ épaisseurs pour plaques silicium de diamètre 200 millimètres et 300 millimètres, communément appelé « éllipsomètre 200-300 mm »

CEA/Grenoble

Le CEA LETI souhaite faire l’acquisition d’un équipement de mesure d’épaisseurs pour plaques silicium de diamètre 200 millimètres et 300 millimètres. Cet équipement devra permettre des mesures spectroscopiques en réflectivité et en ellipsométrie, afin de déterminer les propriétés optiques ainsi que les épaisseurs de couches minces variées (Oxydes et Nitrures de Silicium, matériaux high-k , SiGe, SOI, etc…) et d’empilements de couches. Il devra pouvoir mesurer des plaques comportant ou non des motifs. L’équipement sera installé dans la salle blanche micro-électronique du CEA-LETI et sera utilisé 24h/24.

Date limite

Le délai de réception des offres était de 2016-02-19. L'appel d'offres a été publié le 2016-01-08.

Fournisseurs

Les fournisseurs suivants sont mentionnés dans les décisions d'attribution ou dans d'autres documents relatifs aux marchés publics :

Qui ? Qu'est-ce que c'est ? Où ?
Historique des marchés publics
Date Document
2016-01-08 Avis de marché
2016-06-16 Avis d'attribution de marché
Avis de marché (2016-01-08)
Objet
Champ d'application du marché
Titre: Machines et appareils microélectroniques et microsystèmes
Quantité ou étendue:
Fourniture d’un (1) équipement de mesure d’épaisseurs pour plaques silicium de diamètre 200 millimètres et 300 millimètres, communément appelé « éllipsomètre 200-300 mm ».
Métadonnées de l'avis
Langue originale: français 🗣️
Type de document: Avis de marché
Nature du marché: Fournitures
Réglementation: Union européenne, avec participation des pays de l'AMP
Vocabulaire commun pour les marchés publics (CPV)
Code: Machines et appareils microélectroniques et microsystèmes 📦

Procédure
Type de procédure: Procédure ouverte
Type de soumission: Soumission pour tous les lots
Critères d'attribution
Offre la plus économique

Pouvoir adjudicateur
Identité
Pays: France 🇫🇷
Type de pouvoir adjudicateur: Organisme de droit public
Nom du pouvoir adjudicateur: CEA/Grenoble
Adresse postale: 17 rue des Martyrs
Code postal: 38054
Commune postale: Grenoble Cedex 9
Contact
Adresse Internet: http://www.cea.fr 🌏
Courrier électronique: claire.moreau-flachat@cea.fr 📧
Téléphone: +33 438789943 📞
Fax: +33 438785060 📠

Référence
Dates
Date d'envoi: 2016-01-08 📅
Date limite de soumission: 2016-02-19 📅
Date de publication: 2016-01-20 📅
Identifiants
Numéro d'avis: 2016/S 013-018337
Numéro JO-S: 13
Informations complémentaires
Les marchés du CEA ne sont pas soumis au code des marchés publics. Les entreprises nouvellement créées sont autorisées à présenter leur candidature. Si elles ne sont pas en mesure de produire certains des documents demandés dans le présent avis de marché, elles peuvent justifier de leurs capacités financières et professionnelles par d’autres moyens que ceux indiqués dans le présent avis et notamment par la présentation de titres ou de l’expérience professionnelle du ou de leurs responsables. Le présent avis et/ou les documents de la consultation peuvent être retirés sur https://avis-de-marches.cea.fr Modalités d’obtention du dossier de consultation: Pour obtenir le dossier de consultation des entreprises, le candidat: — devra le demander par télécopie adressée à l’ attention de Claire Moreau-Flachat (fax: 04.38.78.50.60) ou par courrier à l’adresse suivante: CEA/Grenoble - service achats – Claire Moreau-Flachat -bât C4 - pièce 425 - 17 rue des martyrs - 38054 Grenoble. — ou le télécharger via la plateforme de dématérialisation des procédures de passation des marchés du CEA accessible sur l’URL suivante: https://avis-de-marches.cea.fr Les demandes de dossiers de consultation devront préciser la référence suivante: AOO-160013-CMF Modalités de transmission des candidatures et des offres: Les modalités de dépôt des candidatures et des offres sont précisées dans le règlement de consultation. Après examen de la conformité administrative du dossier de candidature, le CEA procédera à l'analyse et à la sélection des candidatures conformément aux critères de jugement des candidatures suivants: — capacité professionnelle; aptitude technique, organisation en matière d’assurance qualité, références sur des prestations similaires/ des fournitures similaires — capacité financière. L’offre ne sera prise en considération que si la candidature est retenue par le CEA.
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Objet
Champ d'application du marché
Brève description:
Le CEA LETI souhaite faire l’acquisition d’un équipement de mesure d’épaisseurs pour plaques silicium de diamètre 200 millimètres et 300 millimètres. Cet équipement devra permettre des mesures spectroscopiques en réflectivité et en ellipsométrie, afin de déterminer les propriétés optiques ainsi que les épaisseurs de couches minces variées (Oxydes et Nitrures de Silicium, matériaux high-k , SiGe, SOI, etc…) et d’empilements de couches. Il devra pouvoir mesurer des plaques comportant ou non des motifs. L’équipement sera installé dans la salle blanche micro-électronique du CEA-LETI et sera utilisé 24h/24.
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Les variantes sont acceptées ✅
Durée de l'accord: 12 mois
Numéro de référence: AOO-160013-CMF
Lieu d'exécution
Site principal ou lieu d'exécution: CEA/Grenoble conditions d’accès réglementées

Informations juridiques, économiques, financières et techniques
Conditions de participation
Habilitation à exercer l'activité professionnelle:
Le candidat fournira à l’appui de sa candidature:
— le formulaire DC1 (lettre de candidature et habilitation du mandataire par ses co-traitants) ou une lettre de candidature signée par une personne habilitée à engager le candidat ou habilitant le mandataire d’un groupement à représenter le groupement accompagnée d'une attestation sur l'honneur contenant l'ensemble des informations demandées à la page 3 de ce formulaire.
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— le formulaire DC2 (déclaration du candidat individuel ou du membre du groupement).
Ces formulaires sont disponibles sur le site Internet du ministère de l'économie, de l'industrie et de l'emploi:
— lorsqu’il appartient à un groupe, une attestation certifiant de son autonomie commerciale et de sa situation de concurrence vis à vis des autres entreprises du groupe.
— la copie du ou des jugements prononcés s’ il est en redressement judiciaire ou dans une procédure étrangère équivalente.
Documents à produire au stade de l’ attribution du marché:
— attestations et certificats délivrés par les administrations et organismes compétents prouvant que le candidat a satisfait à ses obligations fiscales et sociales ou documents équivalents en cas de candidat étrangers ».
Situation économique et financière:
— déclaration concernant le chiffre d’affaires global et le chiffre d’affaires concernant les fournitures objet du marché, réalisés au cours des 3 derniers exercices disponibles;
— déclaration appropriée de banques ou preuve d’ une assurance pour les risques professionnels;
— bilans ou extraits de bilans, concernant les trois dernières années, des candidats pour lesquels l’établissement des bilans est obligatoire en vertu de la loi;
Si le candidat recourt à la sous-traitance, il doit produire les mêmes documents concernant ce sous-traitant. En outre, pour justifier qu’il dispose des capacités de ce sous-traitant pour l’exécution du marché, le candidat produit un engagement écrit de ce sous-traitant.
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Capacité technique et professionnelle:
— présentation d’une liste des principales fournitures effectués au cours des 3 dernières années, indiquant le montant, la date et le destinataire public ou privé. Les livraisons et les prestations de services sont prouvées par des attestations du destinataire ou, à défaut, par une déclaration du candidat;
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— en matière de fournitures et services, une description de l’équipement technique, des mesures employées par le candidat pour s’ assurer de la qualité et des moyens d’ étude et de recherche de son entreprise;
— certificats établis par des services chargés du contrôle de la qualité et habilités à attester la conformité des fournitures par des références à certaines spécifications techniques. Le CEA acceptera toutefois d’autres preuves de mesures équivalentes de garantie de la qualité produites par les candidats, si ceux-ci n’ont pas accès à ces certificats ou n’ ont aucune possibilité de les obtenir dans les délais fixés;
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— descriptions et/ou photographies des fournitures.
Si le candidat recourt à la sous-traitance, il doit produire les mêmes documents concernant ce sous-traitant. En outre, pour justifier qu'il dispose des capacités de ce sous-traitant pour l’exécution du marché, le candidat produit un engagement écrit de ce sous-traitant.
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Exécution du marché
Dépôts et garanties exigés: Le CEA demandera une retenue de garantie.
Principales conditions de financement et modalités de paiement et/ou référence aux dispositions pertinentes qui les régissent:
Ressources propres. Paiement à 30 jours à compter de la date de réception de facture, après livraison ou exécution.
Forme juridique que devra revêtir le groupement d'opérateurs économiques attributaire du marché:
Pour l’attribution du marché, le CEA impose que le groupement momentané d’entreprises soit un groupement solidaire. Le groupement retenu sera contraint de revêtir cette forme.
Il est interdit de cumuler les candidatures, en tant que candidat individuel et membre d’un ou plusieurs groupements, y compris en tant que mandataire; en tant que membre d’un groupement et mandataire d’un autre.

Procédure
Période de validité de l'offre: 6 mois
Langues
Langue: français 🗣️

Pouvoir adjudicateur
Contact
Point de contact: Claire Moreau-Flachat
Adresse Internet: www.cea.fr 🌏
Adresse du profil d'acheteur: https://avis-de-marches.cea.fr 🌏
Nom: CEA/Grenoble
Point de contact: Service achats — Claire Moreau-Flachat — bât C4 — pièce 425 / Emmanuel Nolot — DRT/LETI/DTSI/SDEP — bât. 44 — P 525
Téléphone: +33 438789943 / 438789742 📞
Courrier électronique: emmanuel.nolot@cea.fr 📧

Référence
Identifiants
Numéro de référence attribué par le pouvoir adjudicateur: AOO-160013-CMF
Informations complémentaires
Les marchés du CEA ne sont pas soumis au code des marchés publics.
Les entreprises nouvellement créées sont autorisées à présenter leur candidature. Si elles ne sont pas en mesure de produire certains des documents demandés dans le présent avis de marché, elles peuvent justifier de leurs capacités financières et professionnelles par d’autres moyens que ceux indiqués dans le présent avis et notamment par la présentation de titres ou de l’expérience professionnelle du ou de leurs responsables.
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Le présent avis et/ou les documents de la consultation peuvent être retirés sur https://avis-de-marches.cea.fr
Modalités d’obtention du dossier de consultation:
Pour obtenir le dossier de consultation des entreprises, le candidat:
— devra le demander par télécopie adressée à l’ attention de Claire Moreau-Flachat (fax: 04.38.78.50.60) ou par courrier à l’adresse suivante:
CEA/Grenoble - service achats – Claire Moreau-Flachat -bât C4 - pièce 425 - 17 rue des martyrs - 38054 Grenoble.
— ou le télécharger via la plateforme de dématérialisation des procédures de passation des marchés du CEA accessible sur l’URL suivante: https://avis-de-marches.cea.fr
Les demandes de dossiers de consultation devront préciser la référence suivante: AOO-160013-CMF Modalités de transmission des candidatures et des offres:
Les modalités de dépôt des candidatures et des offres sont précisées dans le règlement de consultation.
Après examen de la conformité administrative du dossier de candidature, le CEA procédera à l'analyse et à la sélection des candidatures conformément aux critères de jugement des candidatures suivants:
— capacité professionnelle; aptitude technique, organisation en matière d’assurance qualité, références sur des prestations similaires/ des fournitures similaires
— capacité financière.
L’offre ne sera prise en considération que si la candidature est retenue par le CEA.

Informations complémentaires
Organe de révision
Nom: Tribunal de grande instance de Lyon
Adresse postale: 67 rue Servient
Commune postale: Lyon Cedex 3
Code postal: 69433
Pays: France 🇫🇷
Téléphone: +33 472607012 📞
Fax: +33 472607238 📠
Service auprès duquel des informations sur la procédure de recours peuvent être obtenues
Nom: Greffe du tribunal de grande instance de Lyon
Source: OJS 2016/S 013-018337 (2016-01-08)
Avis d'attribution de marché (2016-06-16)
Objet
Métadonnées de l'avis
Type de document: Avis d'attribution de marché

Procédure
Type de soumission: Sans objet

Pouvoir adjudicateur
Contact
Téléphone: 04.38.78.99.43 📞
Fax: 04.38.78.50.60 📠

Référence
Dates
Date d'envoi: 2016-06-16 📅
Date de publication: 2016-06-28 📅
Identifiants
Numéro d'avis: 2016/S 122-219164
Se réfère à l'avis: 2016/S 013-018337
Numéro JO-S: 122
Informations complémentaires
II. 1.3) L’avis implique La conclusion d’un marché public

Objet
Champ d'application du marché
Numéro de référence: A00-160013-CMF
Lieu d'exécution
Site principal ou lieu d'exécution:
CEA/Grenoble
Conditions d’accès réglementées
Isère

Procédure
Critères d'attribution
Critère: 1. Prix des prestations (45 %)
2. Qualité technique de l ’offre (45 %)
3. Délais (10%)

Attribution du marché
Date de conclusion du contrat: 2016-05-19 📅
Nom: Nanometrics
Adresse postale: 1550 Buckeye Dr.
Commune postale: Milpitas
Code postal: CA 95035
Pays: États-Unis 🇺🇸
Informations sur les appels d'offres
Nombre d'offres reçues: 2

Informations complémentaires
Organe de révision
Téléphone: 04.72.60.70.12 📞
Fax: 04 72 60 72 38 📠
Source: OJS 2016/S 122-219164 (2016-06-16)
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Produits/services:
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