Équipement de métrologie d’épaisseur Date de livraison souhaitée : 6 mois

CEA/Grenoble

Le CEA-LETI souhaite s’équiper d’un équipement de mesure d’épaisseur pour la métrologie des films minces déposés sur des plaques de silicium de 200 et 300 millimètres de diamètre, 24h/24, 7j/7, 365 jours/an. Cet équipement, neuf ou d’occasion, sera installé et exploité en salle blanche de classe 100 pour les applications en microélectronique avancée.
L’équipement doit permettre de coupler les techniques d’ellipsométrie et de réflectométrie spectroscopique. Il doit également présenter les caractéristiques suivantes :
— dispositif de chargement/ déchargement automatique de plaques 200 et 300 millimètres sous mini environnement contrôlé,
— possibilité de caractérisation dans des motifs de taille 50 x 50 μm².

Date limite

Le délai de réception des offres était de 2013-03-13. L'appel d'offres a été publié le 2013-01-31.

Fournisseurs

Les fournisseurs suivants sont mentionnés dans les décisions d'attribution ou dans d'autres documents relatifs aux marchés publics :

Qui ? Qu'est-ce que c'est ? Où ?
Historique des marchés publics
Date Document
2013-01-31 Avis de marché
2013-08-09 Avis d'attribution de marché
Avis de marché (2013-01-31)
Objet
Champ d'application du marché
Titre: Appareils de spectroscopie
Quantité ou étendue: Fourniture d’un (1) équipement de métrologie d’épaisseur.
Métadonnées de l'avis
Langue originale: français 🗣️
Type de document: Avis de marché
Nature du marché: Fournitures
Réglementation: Union européenne, avec participation des pays de l'AMP
Vocabulaire commun pour les marchés publics (CPV)
Code: Appareils de spectroscopie 📦

Procédure
Type de procédure: Procédure ouverte
Type de soumission: Non spécifié
Critères d'attribution
Offre la plus économique

Pouvoir adjudicateur
Identité
Pays: France 🇫🇷
Type de pouvoir adjudicateur: Organisme de droit public
Nom du pouvoir adjudicateur: CEA/Grenoble
Adresse postale: 17 rue des Martyrs
Code postal: 38054
Commune postale: Grenoble Cedex 9
Contact
Adresse Internet: http://www.cea.fr 🌏
Courrier électronique: michel.garnier@cea.fr 📧
Téléphone: +33 438780423 📞
Fax: +33 438785053 📠

Référence
Dates
Date d'envoi: 2013-01-31 📅
Date limite de soumission: 2013-03-13 📅
Date de publication: 2013-02-12 📅
Identifiants
Numéro d'avis: 2013/S 030-046958
Numéro JO-S: 30
Informations complémentaires
Les marchés du CEA ne sont pas soumis au code des marchés publics. Les entreprises nouvellement créées sont autorisées à présenter leur candidature. Si elles ne sont pas en mesure de produire certains des documents demandés dans le présent APC, elles peuvent justifier de leurs capacités financières et professionnelles par d’autres moyens que ceux indiqués dans le présent avis et notamment par la présentation de titres ou de l’expérience professionnelle du ou de leurs responsables. Le présent avis et/ou les documents de la consultation peuvent être retirés sur https://avis-de-marches.cea.fr. Pour obtenir le dossier de consultation des entreprises, le candidat : — devra le demander par télécopie adressée à l’attention de Michel Garnier (fax :+33 438785053) ou par courrier à l’adresse suivante : CEA/Grenoble - Service Achats – Michel Garnier - bât C4 - pièce 420 - 17 rue des Martyrs - 38054 Grenoble, FRANCE. — ou le télécharger via la plateforme de dématérialisation des procédures de passation des marchés du CEA accessible sur l’URL suivante : https://avis-de-marches.cea.fr Les demandes de dossiers de consultation devront préciser la référence suivante : AAPC-13-05_AOO-13-33-MG. Les modalités de dépôt des offres sont précisées dans le règlement de consultation. Après examen de la conformité administrative du dossier de candidature, le CEA procédera à l'analyse et à la sélection des candidatures conformément aux critères de jugement des candidatures suivants : — capacité professionnelle ; aptitude technique, organisation en matière d’assurance qualité, références sur des fournitures similaires, — capacité financière. L’offre ne sera prise en considération que si la candidature est retenue par le CEA. Les candidatures et les offres seront transmises soit : — en deux exemplaires pour les candidatures, et en trois exemplaires pour les offres, soit par voie postale, soit remises contre 10 /11 récépissé, sous enveloppe cachetée portant la mention «AAPC n° 13-05 – AOO n° 13-33 – NE PAS OUVRIR» à l’attention de Michel Garnier à l'adresse suivante : CEA/Grenoble - Service Achats – bât C4 - pièce 420 - 17 rue des Martyrs - 38054 Grenoble, FRANCE. — via la plateforme de dématérialisation des procédures de passation des marchés du CEA accessible sur l’URL suivante : https://avis-de-marches.cea.fr . Il convient de suivre les étapes suivantes qui sont décrites sur le guide d’utilisation en ligne. 1. Se doter d’un certificat électronique de classe 2 minimum (la liste des autorités de certification reconnues est disponible sur la plate-forme à l’adresse https://avis-de-marches.cea.fr 2. Se connecter à l’adresse suivante https://avis-de-marches.cea.fr 3. Compléter le formulaire et valider. En application de la loi n° 78-17 du 6.1.1978 modifiée relative à l’informatique, aux fichiers et aux libertés, toute personne dont des données personnelles (nom, fonction et numéro de téléphone) pourraient figurer dans la Base d’ évaluation des fournisseurs du CEA, dispose d’un droit d’accès, de modification, de rectification et de suppression desdites données. Pour exercer ce droit, le demandeur devra s’adresser par courrier, fax ou e-mèl, à : CEA Saclay - Direction des achats et des partenaires stratégiques - Service du référentiel des achats, du conseil et des analyses DAPS/SRCA - bâtiment 482 – Point courrier n° 70 - 91191 Gif-sur-Yvette Cedex, FRANCE. Adresse e-mail : daps-srca@cea.fr. Fax : +33 169085652. Les modifications demandées seront effectuées sous 8 jours à compter de la réception de la demande. Une copie d’écran démontrant la prise en compte de la demande pourra être envoyée par courrier au demandeur. Annexe A I) Adresses et points de contact aupres desquels des renseignements complementaires peuvent etre obtenus Nom officiel : CEA/Grenoble Adresse postale : 17 rue des Martyrs Localité/Ville : Grenoble Cedex 9 Code postal : 38054 Pays : FRANCE A l’attention de : Service achats – Michel Garnier - Bât C4 - pièce 420 Téléphone : +33 438780423 Fax : +33 438785053 Courrier électronique (e-mail) : michel.garnier@cea.fr Adresse internet (URL) : https://avis-de-marches.cea.fr II) Adresses et points de contacts aupres desquels le cahier des charges et les documents complementaires peuvent etre obtenus Nom officiel : CEA/Grenoble Adresse postale : 17, rue des Martyrs Localité/Ville : Grenoble Cedex 9 Code postal : 38054 Pays : FRANCE A l’attention de : LETI/DTSI/SDEP - Emmanuel Nolot Téléphone : +33 438789742 Courrier électronique (e-mail) : emmanuel.nolot@cea.fr Adresse internet (URL) : https://avis-de-marches.cea.fr
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Objet
Champ d'application du marché
Brève description:
Le CEA-LETI souhaite s’équiper d’un équipement de mesure d’épaisseur pour la métrologie des films minces déposés sur des plaques de silicium de 200 et 300 millimètres de diamètre, 24h/24, 7j/7, 365 jours/an. Cet équipement, neuf ou d’occasion, sera installé et exploité en salle blanche de classe 100 pour les applications en microélectronique avancée.
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L’équipement doit permettre de coupler les techniques d’ellipsométrie et de réflectométrie spectroscopique. Il doit également présenter les caractéristiques suivantes :
— dispositif de chargement/ déchargement automatique de plaques 200 et 300 millimètres sous mini environnement contrôlé,
— possibilité de caractérisation dans des motifs de taille 50 x 50 μm².
Les variantes sont acceptées ✅
Durée de l'accord: 6 mois
Numéro de référence: AAPC-13-05_AOO-13-33-MG
Lieu d'exécution
Site principal ou lieu d'exécution:
CEA/Grenoble
Conditions d’accès réglementées

Informations juridiques, économiques, financières et techniques
Conditions de participation
Habilitation à exercer l'activité professionnelle:
Le candidat fournira à l’appui de sa candidature :
— le formulaire DC1 (Lettre de candidature et habilitation du mandataire par ses cotraitants) ou une lettre de candidature signée par une personne habilitée à engager le candidat ou habilitant le mandataire d’un groupement à représenter le groupement accompagnée d'une attestation sur l'honneur contenant l'ensemble des informations demandées à la page 3 de ce formulaire,
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— le formulaire DC2 (Déclaration du candidat individuel ou du membre du groupement)
Ces formulaires sont disponibles sur le site Internet du ministère de l'economie, de l'industrie et de l'emploi : http://www.economie.gouv.fr/themes/marches_publics/accueil-daj.htm
— lorsqu’il appartient à un groupe, une attestation certifiant de son autonomie commerciale et de sa situation de concurrence vis à vis des autres entreprises du groupe. En cas de groupement d'entreprises, chaque cotraitant fournira les pièces indiquées ci-dessus.
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Documents à produire au stade de l’attribution du marché :
— attestations et certificats délivrés par les administrations et organismes compétents prouvant que le candidat a satisfait à ses obligations fiscales et sociales ou documents équivalents en cas de candidat étrangers ».
Situation économique et financière:
— déclaration concernant le chiffre d’affaires global et le chiffre d’affaires concernant les fournitures objet du marché, réalisés au cours des trois derniers exercices disponibles,
— déclaration appropriée de banques ou preuve d’une assurance pour les risques professionnels,
— bilans ou extraits de bilans, concernant les trois dernières années, des candidats pour lesquels l’établissement des bilans est obligatoire en vertu de la loi.
En cas de groupement d'entreprises, chaque cotraitant fournira les pièces indiquées cidessus.
Si le candidat recourt à la sous-traitance, il doit produire les mêmes documents concernant ce sous-traitant. En outre, pour justifier qu’il dispose des capacités de ce sous-traitant pour l’exécution du marché, le candidat produit un engagement écrit de ce sous-traitant.
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Capacité technique et professionnelle:
— présentation d’une liste des principales fournitures effectués au cours des trois dernières années, indiquant le montant, la date et le destinataire public ou privé. Les livraisons et les prestations de services sont prouvées par des attestations du destinataire ou, à défaut, par une déclaration du candidat,
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— en matière de fournitures et services, une description de l’équipement technique, des mesures employées par le candidat pour s’assurer de la qualité et des moyens d’étude et de recherche de son entreprise,
— certificats établis par des services chargés du contrôle de la qualité et habilités à attester la conformité des fournitures par des références à certaines spécifications techniques. Le CEA acceptera toutefois d’autres preuves de mesures équivalentes de garantie de la qualité produites par les candidats, si ceux-ci n’ont pas accès à ces certificats ou n’ont aucune possibilité de les obtenir dans les délais fixés,
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— échantillons, descriptions et/ou photographies des fournitures.
En cas de groupement d'entreprises, chaque cotraitant fournira les pièces indiquées cidessus.
Si le candidat recourt à la sous-traitance, il doit produire les mêmes documents concernant ce sous-traitant. En outre, pour justifier qu’il dispose des capacités de ce sous-traitant pour l’exécution du marché, le candidat produit un engagement écrit de ce sous-traitant.
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Exécution du marché
Dépôts et garanties exigés: Le CEA demandera une retenue de garantie.
Principales conditions de financement et modalités de paiement et/ou référence aux dispositions pertinentes qui les régissent:
Ressources propres. Paiement à 30 jours fin de mois à date d’émission de facture.
Forme juridique que devra revêtir le groupement d'opérateurs économiques attributaire du marché:
Pour l’attribution du marché, le CEA impose que le groupement momentané d’entreprises soit un groupement solidaire. Le groupement retenu sera contraint de revêtir cette forme.
Il est interdit de cumuler les candidatures, en tant que candidat individuel et membre d’un ou plusieurs groupements, y compris en tant que mandataire ; en tant que membre d’un groupement et mandataire d’un autre, en tant que membre de plusieurs groupements.
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Procédure
Période de validité de l'offre: 6 mois
Langues
Langue: français 🗣️

Pouvoir adjudicateur
Contact
Point de contact: Michel Garnier
Adresse Internet: www.cea.fr 🌏
Adresse du profil d'acheteur: https://avis-de-marches.cea.fr 🌏

Référence
Identifiants
Numéro de référence attribué par le pouvoir adjudicateur: AAPC-13-05_AOO-13-33-MG
Informations complémentaires
Les marchés du CEA ne sont pas soumis au code des marchés publics.
Les entreprises nouvellement créées sont autorisées à présenter leur candidature. Si elles ne sont pas en mesure de produire certains des documents demandés dans le présent APC, elles peuvent justifier de leurs capacités financières et professionnelles par d’autres moyens que ceux indiqués dans le présent avis et notamment par la présentation de titres ou de l’expérience professionnelle du ou de leurs responsables.
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Le présent avis et/ou les documents de la consultation peuvent être retirés sur https://avis-de-marches.cea.fr.
Pour obtenir le dossier de consultation des entreprises, le candidat :
— devra le demander par télécopie adressée à l’attention de Michel Garnier (fax :+33 438785053) ou par courrier à l’adresse suivante :
CEA/Grenoble - Service Achats – Michel Garnier - bât C4 - pièce 420 - 17 rue des Martyrs - 38054 Grenoble, FRANCE.
— ou le télécharger via la plateforme de dématérialisation des procédures de passation des marchés du CEA accessible sur l’URL suivante : https://avis-de-marches.cea.fr Les demandes de dossiers de consultation devront préciser la référence suivante : AAPC-13-05_AOO-13-33-MG.
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Les modalités de dépôt des offres sont précisées dans le règlement de consultation.
Après examen de la conformité administrative du dossier de candidature, le CEA procédera à l'analyse et à la sélection des candidatures conformément aux critères de jugement des candidatures suivants :
— capacité professionnelle ; aptitude technique, organisation en matière d’assurance qualité, références sur des fournitures similaires,
— capacité financière.
L’offre ne sera prise en considération que si la candidature est retenue par le CEA.
Les candidatures et les offres seront transmises soit :
— en deux exemplaires pour les candidatures, et en trois exemplaires pour les offres, soit par voie postale, soit remises contre 10 /11 récépissé, sous enveloppe cachetée portant la mention «AAPC n° 13-05 – AOO n° 13-33 – NE PAS OUVRIR» à l’attention de Michel Garnier à l'adresse suivante : CEA/Grenoble - Service Achats – bât C4 - pièce 420 - 17 rue des Martyrs - 38054 Grenoble, FRANCE.
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— via la plateforme de dématérialisation des procédures de passation des marchés du CEA accessible sur l’URL suivante : https://avis-de-marches.cea.fr . Il convient de suivre les étapes suivantes qui sont décrites sur le guide d’utilisation en ligne.
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1. Se doter d’un certificat électronique de classe 2 minimum (la liste des autorités de certification reconnues est disponible sur la plate-forme à l’adresse https://avis-de-marches.cea.fr
2. Se connecter à l’adresse suivante https://avis-de-marches.cea.fr
3. Compléter le formulaire et valider.
En application de la loi n° 78-17 du 6.1.1978 modifiée relative à l’informatique, aux fichiers et aux libertés, toute personne dont des données personnelles (nom, fonction et numéro de téléphone) pourraient figurer dans la Base d’ évaluation des fournisseurs du CEA, dispose d’un droit d’accès, de modification, de rectification et de suppression desdites données.
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Pour exercer ce droit, le demandeur devra s’adresser par courrier, fax ou e-mèl, à : CEA Saclay - Direction des achats et des partenaires stratégiques - Service du référentiel des achats, du conseil et des analyses DAPS/SRCA - bâtiment 482 – Point courrier n° 70 - 91191 Gif-sur-Yvette Cedex, FRANCE. Adresse e-mail : daps-srca@cea.fr.
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Fax : +33 169085652.
Les modifications demandées seront effectuées sous 8 jours à compter de la réception de la demande.
Une copie d’écran démontrant la prise en compte de la demande pourra être envoyée par courrier au demandeur.
Annexe A
I) Adresses et points de contact aupres desquels des renseignements complementaires peuvent etre obtenus
Nom officiel : CEA/Grenoble
Adresse postale : 17 rue des Martyrs
Localité/Ville : Grenoble Cedex 9
Code postal : 38054
Pays : FRANCE
A l’attention de : Service achats – Michel Garnier - Bât C4 - pièce 420
Téléphone : +33 438780423
Fax : +33 438785053
Courrier électronique (e-mail) : michel.garnier@cea.fr
Adresse internet (URL) : https://avis-de-marches.cea.fr
II) Adresses et points de contacts aupres desquels le cahier des charges et les documents complementaires peuvent etre obtenus
Adresse postale : 17, rue des Martyrs
A l’attention de : LETI/DTSI/SDEP - Emmanuel Nolot
Téléphone : +33 438789742
Courrier électronique (e-mail) : emmanuel.nolot@cea.fr

Informations complémentaires
Organe de révision
Nom: Tribunal de grande instance de Lyon
Adresse postale: 67 rue Servient
Commune postale: Lyon Cedex 3
Code postal: 69433
Pays: France 🇫🇷
Téléphone: +33 472607012 📞
Fax: +33 472607238 📠
Service auprès duquel des informations sur la procédure de recours peuvent être obtenues
Nom: Greffe du tribunal de grande instance de Lyon
Source: OJS 2013/S 030-046958 (2013-01-31)
Avis d'attribution de marché (2013-08-09)
Objet
Métadonnées de l'avis
Type de document: Avis d'attribution de marché

Procédure
Type de soumission: Sans objet

Pouvoir adjudicateur
Contact
Fax: +33 438785060 📠

Référence
Dates
Date d'envoi: 2013-08-09 📅
Date de publication: 2013-08-16 📅
Identifiants
Numéro d'avis: 2013/S 158-275921
Se réfère à l'avis: 2013/S 30-046958
Numéro JO-S: 158

Procédure
Critères d'attribution
Critère: 1. Coût global de l’équipement (50%)
2. Qualité technique de l’offre (45%)
3. Délai (5%)

Attribution du marché
Date de conclusion du contrat: 2013-07-10 📅
Nom: Nanometrics
Adresse postale: 186 chemin de l’Étoile
Commune postale: Montbonnot-Saint-Martin
Code postal: 38330
Pays: France 🇫🇷
Adresse Internet: http://www.nanometrics.com/ 🌏
Informations sur les appels d'offres
Nombre d'offres reçues: 1
Source: OJS 2013/S 158-275921 (2013-08-09)
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Produits/services:
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