2017-06-28Maintenance de groupes de pompages et système d'abattements de marque Edwards (CEA/Grenoble)
Dans le cadre d'activités de recherche et développement avancées dans les domaines des micro et nanotechnologies, les instituts LETI et LITEN du CEA/Grenoble disposent, pour leurs parc d'équipements, de pompes et groupes de pompages de marques EDWARDS; ils souhaitent en confier la maintenance à une société extérieure spécialisée.
Les prestations à réaliser sont les suivantes:
— la maintenance préventive;
— la maintenance curative;
— le suivi des interventions et leur traçabilité.
Le marché concerne …
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2016-07-07Système d'abattement EPI 300 mm. Référence AOO-160438 (CEA Grenoble)
Le CEA-LETI souhaite faire l'acquisition d'un système intégré de traitement des effluents gazeux et liquides pour un équipement multi-réacteurs de dépôt RP-CVD (Reduced Pressure — Chemical Vapor Deposition) pour l'épitaxie de matériaux de type Si, SiGe, SiGeC 300 mm.
Ce système doit être:
— compatible avec les contraintes du site dans lequel il sera implanté (sous sol),
— Communicant avec l'équipement principal qui se trouvera lui, en salle blanche
En outre, des systèmes de pompage seront nécessaires à …
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