2011-04-14Equipement de dépôt de couche atomique couplé à une boite à gants (CEA/Grenoble)
Il s’agit d’un équipement ALD (atomic layer deposition) qui sera dédié aux dépôts nanométriques des couches ultra barrières. Afin d’assurer une utilisation optimale, cet équipement est couplé à une boite à gant.
L’objectif principal est d’encapsuler des composants comme les microbatteries au lithium qui sont très sensibles à l’air.
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