L'institut de recherche IRIG du CEA Grenoble souhaite acquérir un cluster ALE-ALD pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs pour l'informatique quantique.
L'équipement devra permettre le traitement de plaquettes de 200 mm et plus petits.
L'équipement se composera de deux chambres, reliées sous vide par un bras robotisé, dans lesquelles les plaquettes seront chargées via un sas de chargement. La première chambre sera dédiée à la gravure des matériaux semi-conducteurs, du silicium et du germanium, de leurs alliages et de leurs oxydes. La gravure est effectuée par Atomic Layer Etching (ALE). La deuxième chambre sera dédiée au dépôt de matériaux d'oxyde et de nitrure, d'oxyde d'aluminium, d'oxyde de silicium, de nitrure de titane, de nitrure d'aluminium et de nitrure de niobium.
Date limite
Le délai de réception des offres était de 2023-11-13.
L'appel d'offres a été publié le 2023-10-13.
Avis de marché (2023-10-13) Objet Champ d'application du marché
Titre: Machines et appareils microélectroniques
Numéro de référence: AOO-B23-05501-CF
Brève description:
“L'institut de recherche IRIG du CEA Grenoble souhaite acquérir un cluster ALE-ALD pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs pour l'informatique quantique.”
Brève description
L'institut de recherche IRIG du CEA Grenoble souhaite acquérir un cluster ALE-ALD pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs pour l'informatique quantique.
Afficher plus Métadonnées de l'avis
Langue originale: français 🗣️
Type de document: Avis de marché
Nature du marché: Fournitures
Réglementation: Union européenne, avec participation des pays de l'AMP
Vocabulaire commun pour les marchés publics (CPV)
Code: Machines et appareils microélectroniques📦 Lieu d'exécution
Région NUTS: Isère🏙️
Procédure
Type de procédure: Procédure ouverte
Type de soumission: Soumission pour tous les lots
Critères d'attribution
Offre la plus économique
Référence Dates
Date d'envoi: 2023-10-13 📅
Date limite de soumission: 2023-11-13 📅
Date de publication: 2023-10-18 📅
Identifiants
Numéro d'avis: 2023/S 201-629760
Numéro JO-S: 201
Informations complémentaires
“Cet procédure fait suite à l'appel d'offre ouvert n°AOO-B23-03215-CF. Certaines spécifications du cahier des charges ont été modifiées.”
Source: OJS 2023/S 201-629760 (2023-10-13)