L'institut de recherche IRIG du CEA Grenoble souhaite acquérir un cluster ALE-ALD pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs pour l'informatique quantique.
L'équipement devra permettre le traitement de plaquettes de 200 mm et plus petits.
L'équipement se composera de deux chambres, reliées sous vide par un bras robotisé, dans lesquelles les plaquettes seront chargées via un sas de chargement. La première chambre sera dédiée à la gravure des matériaux semi-conducteurs, du silicium et du germanium, de leurs alliages et de leurs oxydes. La gravure est effectuée par Atomic Layer Etching (ALE). La deuxième chambre sera dédiée au dépôt de matériaux d'oxyde et de nitrure, d'oxyde d'aluminium, d'oxyde de silicium, de nitrure de titane, de nitrure d'aluminium et de nitrure de niobium.
Date limite
Le délai de réception des offres était de 2023-09-22.
L'appel d'offres a été publié le 2023-08-10.
Objet Champ d'application du marché
Titre: Fourniture d’un équipement ALE-ALD pour wafers 200mm
AOO-B23-03215-CF
Produits/services: Machines et appareils microélectroniques📦
Brève description:
“L'institut de recherche IRIG du CEA Grenoble souhaite acquérir un cluster ALE-ALD pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs pour l'informatique...”
Brève description
L'institut de recherche IRIG du CEA Grenoble souhaite acquérir un cluster ALE-ALD pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs pour l'informatique quantique.
L'équipement devra permettre le traitement de plaquettes de 200 mm et plus petits.
L'équipement se composera de deux chambres, reliées sous vide par un bras robotisé, dans lesquelles les plaquettes seront chargées via un sas de chargement. La première chambre sera dédiée à la gravure des matériaux semi-conducteurs, du silicium et du germanium, de leurs alliages et de leurs oxydes. La gravure est effectuée par Atomic Layer Etching (ALE). La deuxième chambre sera dédiée au dépôt de matériaux d'oxyde et de nitrure, d'oxyde d'aluminium, d'oxyde de silicium, de nitrure de titane, de nitrure d'aluminium et de nitrure de niobium.
1️⃣
Lieu d'exécution: Isère🏙️
Site principal ou lieu d'exécution: CEA Grenoble - conditions d'accès réglementées
Description du marché:
“L'institut de recherche IRIG du CEA Grenoble souhaite acquérir un cluster ALE-ALD pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs pour l'informatique...”
Description du marché
L'institut de recherche IRIG du CEA Grenoble souhaite acquérir un cluster ALE-ALD pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs pour l'informatique quantique.
L'équipement devra permettre le traitement de plaquettes de 200 mm et plus petits.
L'équipement se composera de deux chambres, reliées sous vide par un bras robotisé, dans lesquelles les plaquettes seront chargées via un sas de chargement. La première chambre sera dédiée à la gravure des matériaux semi-conducteurs, du silicium et du germanium, de leurs alliages et de leurs oxydes. La gravure est effectuée par Atomic Layer Etching (ALE). La deuxième chambre sera dédiée au dépôt de matériaux d'oxyde et de nitrure, d'oxyde d'aluminium, d'oxyde de silicium, de nitrure de titane, de nitrure d'aluminium et de nitrure de niobium.
Une option pour une troisième chambre est demandée, pour le dépôt ALD d'oxydes et de nitrures dans leurs chambres respectives.
Pour toutes les chambres de traitement, le sas de chargement et le bras robotique, la pression devrait être inférieure à 1E-6 mbar, avec des taux de fuite d'hélium des chambres individuelles inférieurs à 1E-6 mbar.L/s.
Afficher plus Critères d'attribution
Le prix n'est pas le seul critère d'attribution et tous les critères ne sont énoncés que dans les documents de passation de marchés
Durée du contrat, de l'accord-cadre ou du système d'acquisition dynamique
Le délai ci-dessous est exprimé en nombre de mois.
Description
Durée de l'accord: 12
Informations sur les variantes
Les variantes sont acceptées ✅
Informations juridiques, économiques, financières et techniques Conditions de participation
Liste et brève description des conditions:
“Le candidat fournira à l’appui de sa candidature :
- le formulaire DC1 (Lettre de candidature et désignation du mandataire par ses cotraitants) ou...”
Liste et brève description des conditions
Le candidat fournira à l’appui de sa candidature :
- le formulaire DC1 (Lettre de candidature et désignation du mandataire par ses cotraitants) ou équivalent ;
- le formulaire DC2 (Déclaration du candidat individuel ou du membre du groupement), ou équivalent.
Ces formulaires sont disponibles sur le site Internet du Ministère de l'Economie, de l'Industrie et de l'Emploi : http://www.economie.gouv.fr/daj/formulaires-declaration-du-candidat
- la copie du ou des jugements prononcés s’il est en redressement judiciaire ou dans une procédure étrangère équivalente ».
Le candidat peut présenter sa candidature sous la forme d’un document unique de marché européen (DUME), en lieu et place des documents mentionnés à l’article R2143-3 du Code de la commande publique téléchargeable à l’adresse suivante : https://ec.europa.eu/tools/espd/filter?lang=fr »
Le présent avis et/ou les documents de la consultation doivent être retirés sur https://www.marches-publics.gouv.fr
Il est également possible de s’inscrire sur cette plateforme afin de répondre de façon électronique en suivant les étapes suivantes qui sont décrites sur le guide d’utilisation en ligne (rubrique Aide) :
1. Se doter (pour les procédures formalisées uniquement) d’un certificat électronique répondant aux spécifications indiquées dans les conditions d’utilisation de la plateforme du CEA, rubrique « Certificat électronique »
2. Se connecter à l’adresse suivante : https://www.marches-publics.gouv.fr
3. Compléter le formulaire et valider.
Afficher plus Situation économique et financière
Critères de sélection énoncés dans les documents de passation de marchés
Capacité technique et professionnelle
Critères de sélection énoncés dans les documents de passation de marchés
Procédure Type de procédure
Procédure ouverte
Informations administratives
Délai de réception des offres ou des demandes de participation: 2023-09-22
16:00 📅
Langues dans lesquelles les offres ou les demandes de participation peuvent être présentées: anglais 🗣️
Langues dans lesquelles les offres ou les demandes de participation peuvent être présentées: français 🗣️
Le délai ci-dessous est exprimé en nombre de mois.
Délai minimum pendant lequel le soumissionnaire doit maintenir l'offre: 4
Conditions d'ouverture des offres: 2023-09-22
16:00 📅
Informations complémentaires Informations sur les flux de travail électroniques
Le paiement électronique sera utilisé
Informations complémentaires
“Les entreprises nouvellement créées sont autorisées à présenter leur candidature. Si elles ne sont pas en mesure de produire certains des documents demandés...”
Les entreprises nouvellement créées sont autorisées à présenter leur candidature. Si elles ne sont pas en mesure de produire certains des documents demandés dans le présent avis de marché, elles peuvent justifier de leurs capacités financières et professionnelles par d’autres moyens que ceux indiqués dans le présent avis et notamment par la présentation de titres ou de l’expérience professionnelle du ou de leurs responsables.
Le présent avis et/ou les documents de la consultation doivent être retirés sur https://www.marches-publics.gouv.fr .
Modalités de transmission des candidatures et des offres :
Les modalités de dépôt des candidatures et des offres sont précisées dans le règlement de consultation
Afficher plus Organe de révision
Nom: Tribunal administratif de grenoble
Adresse postale: 2 Place de Verdun
Commune postale: Grenoble
Code postal: 38000
Pays: France 🇫🇷
Téléphone: +33 476429000📞
Courrier électronique: greffe.ta-grenoble@juradm.fr📧
Fax: +33 476422269 📠
URL: http://grenoble.tribunal-administratif.fr/🌏 Procédure d'examen
Informations précises sur le(s) délai(s) des procédures d'examen:
“Le référé précontractuel peut être introduit depuis le début de la procédure de passation jusqu’à la signature du marché. Le référé contractuel peut être...”
Informations précises sur le(s) délai(s) des procédures d'examen
Le référé précontractuel peut être introduit depuis le début de la procédure de passation jusqu’à la signature du marché. Le référé contractuel peut être introduit dans les conditions des articles L.551-13 et suivants du Code de justice administrative. Le recours en contestation de la validité du marché par un tiers peut être intenté dans un délai de deux mois à compter des mesures de publicité appropriées.
Afficher plus Service auprès duquel des informations sur la procédure de recours peuvent être obtenues
Nom: Greffe tribunal administratif de grenoble
Adresse postale: 2 Place de Verdun
Commune postale: Grenoble
Code postal: 38000
Pays: France 🇫🇷
Téléphone: +33 476429000📞
Courrier électronique: greffe.ta-grenoble@juradm.fr📧
Fax: +33 476422269 📠
URL: http://grenoble.tribunal-administratif.fr/🌏
Source: OJS 2023/S 155-492999 (2023-08-10)