Fourniture d’un équipement d’épitaxie basse température de type « RPCVD »

Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives

Pour ses activités de recherche axées sur le développement de technologies FD-SOI de 10 nm et au-delà, le CEA-LETI souhaite acquérir un équipement d’épitaxie afin de relever les défis technologiques à venir. Cet équipement d’épitaxie à basse température de type RPCVD (« Reduced Pressure Chemical Vapor Deposition » en anglais ») doit être capable de réaliser une croissance par épitaxie intrinsèque et dopée in situ, non sélective et sélective (types N et P) de semi-conducteurs du groupe IV, à haute et basse température (de 1100°C à 300°C) sur des plaquettes de silicium de 300 mm. Le marché envisagé comprend les options à chiffrage obligatoire suivantes : - Option 1 : Chambre de gravure pour l’optimisation du contact, tel que décrit aux paragraphes 2.7 et 3.1.5 du cahier des charges. - Option 2 : Chambre de gravure pour le creux latéral (« lateral recess »), tel que décrit au paragraphe 2.8 et 3.1.8 du cahier des charges. - Option 3 : Connexion de l’équipement avec une boite sous-vide pour le transport de plaques, tel que décrit aux paragraphes 3.4 du cahier des charges. Il comprend également les options à chiffrage facultative suivantes : - Option 4 : Systèmes de pompages, tel que décrit au paragraphe 3.2.1 du cahier des charges. - Option 5 : Systèmes de régulation de température, tel que décrit au paragraphe 3.2.6 du cahier des charges. - Option 6 : Transformateur électrique, tel que décrit au paragraphe 4.1.4 du cahier des charges). - Option 7 : Formation maintenance niveau 1, tel que décrit au paragraphe 9 du cahier des charges). - Option 8 : Formation maintenance avancée, tel que décrit au paragraphe 9 du cahier des charges). - Option 9 : Deuxième année de garantie, tel que décrit au paragraphe 11 du cahier des charges).

Date limite

Le délai de réception des offres était de 2025-04-10. L'appel d'offres a été publié le 2025-03-05.

Fournisseurs

Les fournisseurs suivants sont mentionnés dans les décisions d'attribution ou dans d'autres documents relatifs aux marchés publics :

• APPLIED MATERIALS SOUTH EAST ASIA

Qui ?

• Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives

Qu'est-ce que c'est ?

• Machines et appareils microélectroniques et microsystèmes › Machines et appareils microélectroniques

Où ?

• Rhône-Alpes › Isère
• Luxembourg › Luxembourg

Historique des marchés publics

Date	Document
2025-03-05	Avis de marché
2025-12-01	Avis d'attribution de marché

Avis de marché (2025-03-05)
Objet
Champ d'application du marché
Titre: Fourniture d’un équipement d’épitaxie basse température de type « RPCVD »
Numéro de référence: B25-00642-CMF
Brève description:
“Pour ses activités de recherche axées sur le développement de technologies FD-SOI de 10 nm et au-delà, le CEA-LETI souhaite acquérir un équipement...”
Type de contrat: Fournitures
Produits/services: Machines et appareils microélectroniques 📦
Description
Description du marché:
“Pour ses activités de recherche axées sur le développement de technologies FD-SOI de 10 nm et au-delà, le CEA-LETI souhaite acquérir un équipement...”
Informations complémentaires:
“La liste des documents et informations à fournir pour le dossier de candidature est indiquée au paragraphe 4.1 du règlement de consultation joint au...”

Informations complémentaires

La liste des documents et informations à fournir pour le dossier de candidature
est indiquée au paragraphe 4.1 du règlement de consultation joint au Dossier de Consultation référencé B25-00642-CMF, qui est téléchargeable via le lien https://www.marchespublics.gouv.fr comme détaillé ci-dessous.
Les entreprises nouvellement créées sont autorisées à présenter leur candidature. Si elles ne sont pas en mesure de produire certains des documents demandés dans le présent avis de marché, elles peuvent justifier de leurs capacités financières et professionnelles par d’autres moyens que ceux indiqués dans le présent avis et notamment par la présentation de titres ou de l’expérience professionnelle du ou de leurs responsables. Le présent avis et/ou les documents de la consultation doivent être retirés sur https://www.marchespublics.gouv.fr . Modalités d’obtention du Dossier de Consultation : Pour obtenir le dossier de consultation des entreprises, le candidat devra le télécharger via la plateforme de dématérialisation des procédures de passation des marchés du CEA accessible sur l’URL suivante : https://www.marchespublics.gouv.fr
Le téléchargement du dossier de consultation devra préciser la référence suivante : B25-00642-CMF
Modalités de transmission des candidatures : Les candidatures seront transmises via la plateforme de dématérialisation des procédures de passation des marchés du CEA accessible sur l’URL suivante : https://www.marchespublics.gouv.fr.
Il convient de suivre les étapes suivantes qui sont décrites sur le guide d’utilisation en ligne (rubrique Aide) :
1.Se doter d’un certificat électronique répondant aux spécifications indiquées dans les conditions d’utilisation de la plateforme du CEA, rubrique « Certificat électronique»
2.Se connecter à l’adresse suivante https://www.marchespublics.gouv.fr
3.Compléter le formulaire et valider.
Forme juridique que devra revêtir le groupement d’opérateurs économiques attributaire du marché (le cas échéant) En cas de groupement momentané d’entreprises, celui ci peut être solidaire ou conjoint. Si le groupement est conjoint, le mandataire doit être solidaire de ses cotraitants. Il est interdit de cumuler les candidatures : en qualité de candidat individuel et de
membre d’un ou plusieurs groupements : en qualité de membre de plusieurs groupements

Site principal ou lieu d'exécution:
“CEA/Grenoble. Conditions d'accès réglementées.”
Lieu d'exécution: Isère 🏙️
Durée de l'accord: 12 (MONTH)
Le délai ci-dessous est exprimé en nombre de mois.
Informations sur les variantes
Les variantes sont acceptées ✅
Informations sur les limites du nombre de candidats à inviter
Nombre minimum envisagé: 3
Critères d'attribution
Prix ✅
Titre
Numéro d'identification du lot: LOT-0001

Procédure
Type de procédure
Procédure négociée avec mise en concurrence préalable ✅
Informations administratives
Délai de réception des offres ou des demandes de participation: 2025-04-10 12:00:00 📅
Langues dans lesquelles les offres ou les demandes de participation peuvent être présentées: français 🗣️
Langues dans lesquelles les offres ou les demandes de participation peuvent être présentées: anglais 🗣️
Informations sur les négociations
Le pouvoir adjudicateur se réserve le droit d'attribuer le marché sur la base des offres initiales sans mener de négociations ✅
Informations sur la réduction du nombre de solutions ou d'offres au cours de la négociation ou du dialogue
Recours à une procédure par étapes pour réduire progressivement le nombre de solutions à discuter ou d'offres à négocier ✅

Pouvoir adjudicateur
Nom et adresse
Nom: Commissariat a l'energie atomique et aux energies alternatives
Numéro d'enregistrement national: 775 685 019
Adresse postale: 17 avenue des Martyrs
Code postal: 38000
Commune postale: Grenoble
Région: Isère 🏙️
Pays: France 🇫🇷
Courrier électronique: claire.moreau-flachat@cea.fr 📧
Téléphone: 0438789943 📞
URL: www.cea.fr 🌏
Adresse du profil d'acheteur: https://www.marches-publics.gouv.fr 🌏
Type de pouvoir adjudicateur
Organisme de droit public
Activité principale
Enseignement
Communication
URL des documents: https://www.marchespublics.gouv.fr 🌏
URL de participation: https://www.marches-publics.gouv.fr 🌏

Informations complémentaires
Informations complémentaires

“La date du 10 avril 2025 indiquée dans le présent avis de marché correspond à la date limite de remise des candidatures, et non à la date limite de remise...”
Organe de révision
Nom: Greffe tribunal administratif de grenoble
Numéro d'enregistrement national: 173800053
Adresse postale: 2 Place de Verdun, Boîte Postale 1135
Code postal: 38022
Commune postale: Grenoble Cedex
Région: Isère 🏙️
Pays: France 🇫🇷
Courrier électronique: greffe.tagrenoble@juradm.fr 📧
Téléphone: 04 76 42 90 00 📞
URL: https://grenoble.tribunaladministratif.fr/ 🌏
Procédure d'examen
Informations précises sur le(s) délai(s) des procédures d'examen:
“Le référé précontractuel peut être introduit depuis le début de la procédure de passation jusqu’à la signature du marché. Le référé contractuel peut être...”
Informations sur les flux de travail électroniques
La facturation électronique sera acceptée
Source: OJS 2025/S 047-150499 (2025-03-05)

Avis d'attribution de marché (2025-12-01)
Objet
Champ d'application du marché
Brève description:
“Pour ses activités de recherche axées sur le développement de technologies FD-SOI de 10 nm et au-delà, le CEA-LETI souhaite acquérir un équipement...”
Valeur totale du marché (hors TVA): 1 EUR 💰
Description
Description du marché:
“Pour ses activités de recherche axées sur le développement de technologies FD-SOI de 10 nm et au-delà, le CEA-LETI souhaite acquérir un équipement...”
Critères d'attribution
Prix (pondération): 55
Critère de qualité (nom): Critère technique n° 1 : Qualité matérielle et configuration hardware : 10%
Critère de qualité (pondération): 10
Critère de qualité (nom): Critère technique n° 2 : Performance technique de l’offre pour atteindre les spécifications du Procédé 3 « Low Temperature SiP » : 25%
Critère de qualité (pondération): 25
Critère de qualité (nom): Critère technique n° 3 : Performance technique de l’offre pour atteindre les spécifications des autres procédés : 10%

Attribution du marché
Un contrat/lot est attribué ✅
Numéro d'identification du lot: LOT-0001
Numéro de contrat: B25-00642-CMF
Date de conclusion du contrat: 2025-11-25 📅
Informations sur les appels d'offres
Nombre d'offres reçues par voie électronique: 2
Information sur la valeur du contrat/lot (hors TVA)
Valeur totale du contrat/lot: 1 EUR 💰
Nom et adresse du contractant
Nom: Applied materials south east asia
Numéro d'enregistrement national: 506906
Adresse postale: 8 Upper Changi Road North
Code postal: 506906
Commune postale: Singapore
Pays: Singapour 🇸🇬

Informations complémentaires
Informations complémentaires

“La valeur "1,00" est renseignée uniquement pour pouvoir valider et publier l'avis d'attribution. Les valeurs indiquées dans ces champs ne sont donc pas à...”
Source: OJS 2025/S 233-802732 (2025-12-01)

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