Fourniture d’un équipement d’épitaxie basse température de type « RPCVD »
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives
Pour ses activités de recherche axées sur le développement de technologies FD-SOI de 10 nm et au-delà, le CEA-LETI souhaite acquérir un équipement d’épitaxie afin de relever les défis technologiques à venir. Cet équipement d’épitaxie à basse température de type RPCVD (« Reduced Pressure Chemical Vapor Deposition » en anglais ») doit être capable de réaliser une croissance par épitaxie intrinsèque et dopée in situ, non sélective et sélective (types N et P) de semi-conducteurs du groupe IV, à haute et basse température (de 1100°C à 300°C) sur des plaquettes de silicium de 300 mm. Le marché envisagé comprend les options à chiffrage obligatoire suivantes : - Option 1 : Chambre de gravure pour l’optimisation du contact, tel que décrit aux paragraphes 2.7 et 3.1.5 du cahier des charges. - Option 2 : Chambre de gravure pour le creux latéral (« lateral recess »), tel que décrit au paragraphe 2.8 et 3.1.8 du cahier des charges. - Option 3 : Connexion de l’équipement avec une boite sous-vide pour le transport de plaques, tel que décrit aux paragraphes 3.4 du cahier des charges. Il comprend également les options à chiffrage facultative suivantes : - Option 4 : Systèmes de pompages, tel que décrit au paragraphe 3.2.1 du cahier des charges. - Option 5 : Systèmes de régulation de température, tel que décrit au paragraphe 3.2.6 du cahier des charges. - Option 6 : Transformateur électrique, tel que décrit au paragraphe 4.1.4 du cahier des charges). - Option 7 : Formation maintenance niveau 1, tel que décrit au paragraphe 9 du cahier des charges). - Option 8 : Formation maintenance avancée, tel que décrit au paragraphe 9 du cahier des charges). - Option 9 : Deuxième année de garantie, tel que décrit au paragraphe 11 du cahier des charges).
Date limiteLe délai de réception des offres était de 2025-04-10. L'appel d'offres a été publié le 2025-03-05.
FournisseursLes fournisseurs suivants sont mentionnés dans les décisions d'attribution ou dans d'autres documents relatifs aux marchés publics :
Qui ? Qu'est-ce que c'est ?- • Machines et appareils microélectroniques et microsystèmes › Machines et appareils microélectroniques
- • Luxembourg › Luxembourg
- • Rhône-Alpes › Isère
Historique des marchés publics
| Date | Document |
|---|---|
| 2025-03-05 | Avis de marché |
| 2025-12-01 | Avis d'attribution de marché |
Avis de marché (2025-03-05)
Objet
Champ d'application du marché
Titre: Fourniture d’un équipement d’épitaxie basse température de type « RPCVD »
Numéro de référence:
Brève description:
Type de contrat: Fournitures
Produits/services: Machines et appareils microélectroniques 📦
Description
Identifiant interne:
Informations complémentaires:
Site principal ou lieu d'exécution: CEA/Grenoble. Conditions d'accès réglementées.
Pays: France 🇫🇷
Lieu d'exécution: Isère 🏙️
Durée de l'accord: 12 mois
Informations sur les variantes
Les variantes sont acceptées ✅
Informations sur les limites du nombre de candidats à inviter
Nombre minimum envisagé: 3
Critères d'attribution
Prix ✅
Titre
Numéro d'identification du lot:
Description
Site principal ou lieu d'exécution: CEA/Grenoble, conditions d'accès réglementées.
Procédure
Type de procédure
Procédure négociée avec mise en concurrence préalable ✅
Base juridique: Directive 2014/24/UE
Informations administratives
Délai de réception des offres ou des demandes de participation: 2025-04-10 12:00:00 📅
Langues dans lesquelles les offres ou les demandes de participation peuvent être présentées: français 🗣️
anglais 🗣️
Informations sur les négociations
Le pouvoir adjudicateur se réserve le droit d'attribuer le marché sur la base des offres initiales sans mener de négociations ✅
Informations sur la réduction du nombre de solutions ou d'offres au cours de la négociation ou du dialogue
Recours à une procédure par étapes pour réduire progressivement le nombre de solutions à discuter ou d'offres à négocier ✅
Conditions de passation du marché
Facturation électronique: Requise
Pouvoir adjudicateur
Nom et adresse
Nom: Commissariat a l'energie atomique et aux energies alternatives
Numéro d'enregistrement national:
Département: Isère
Adresse postale: 17 avenue des Martyrs
Code postal: 38000
Commune postale: Grenoble
Région: Isère 🏙️
Pays: France 🇫🇷
Point de contact: Claire MOREAU-FLACHAT
Courrier électronique: claire.moreau-flachat@cea.fr 📧
Téléphone: 0438789943 📞
URL: www.cea.fr 🌏
Adresse URL pour l'échange d'informations: https://www.marches-publics.gouv.fr/entreprise 🌏
Adresse du profil d'acheteur: https://www.marches-publics.gouv.fr 🌏
Type de pouvoir adjudicateur
Organisme de droit public
Activité principale
Enseignement
Communication
URL des documents: https://www.marchespublics.gouv.fr 🌏
URL de participation: https://www.marches-publics.gouv.fr 🌏
Identifiant des fonds de l’UE: Fames - pilot line
Soumission par voie électronique: Requise
Informations complémentaires
Informations complémentaires
Organe de révision
Nom: Greffe tribunal administratif de grenoble
Numéro d'enregistrement national:
Département: Isère
Adresse postale: 2 Place de Verdun, Boîte Postale 1135
Code postal: 38022
Commune postale: Grenoble Cedex
Région: Isère 🏙️
Pays: France 🇫🇷
Courrier électronique: greffe.tagrenoble@juradm.fr 📧
Téléphone: 04 76 42 90 00 📞
URL: https://grenoble.tribunaladministratif.fr/ 🌏
Procédure d'examen
Informations précises sur le(s) délai(s) des procédures d'examen:
Informations sur les flux de travail électroniques
La facturation électronique sera acceptée
Source: OJS 2025/S 047-150499 (2025-03-05)
Objet
Champ d'application du marché
Titre: Fourniture d’un équipement d’épitaxie basse température de type « RPCVD »
Numéro de référence:
B25-00642-CMF
Brève description:
Pour ses activités de recherche axées sur le développement de technologies FD-SOI de 10 nm et au-delà, le CEA-LETI souhaite acquérir un équipement d’épitaxie afin de relever les défis technologiques à venir. Cet équipement d’épitaxie à basse température de type RPCVD (« Reduced Pressure Chemical Vapor Deposition » en anglais ») doit être capable de réaliser une croissance par épitaxie intrinsèque et dopée in situ, non sélective et sélective (types N et P) de semi-conducteurs du groupe IV, à haute et basse température (de 1100°C à 300°C) sur des plaquettes de silicium de 300 mm.
Le marché envisagé comprend les options à chiffrage obligatoire suivantes :
- Option 1 : Chambre de gravure pour l’optimisation du contact, tel que décrit aux paragraphes 2.7 et 3.1.5 du cahier des charges.
- Option 2 : Chambre de gravure pour le creux latéral (« lateral recess »), tel que décrit au paragraphe 2.8 et 3.1.8 du cahier des charges.
- Option 3 : Connexion de l’équipement avec une boite sous-vide pour le transport de plaques, tel que décrit aux paragraphes 3.4 du cahier des charges.
Il comprend également les options à chiffrage facultative suivantes :
- Option 4 : Systèmes de pompages, tel que décrit au paragraphe 3.2.1 du cahier des charges.
- Option 5 : Systèmes de régulation de température, tel que décrit au paragraphe 3.2.6 du cahier des charges.
- Option 6 : Transformateur électrique, tel que décrit au paragraphe 4.1.4 du cahier des charges).
- Option 7 : Formation maintenance niveau 1, tel que décrit au paragraphe 9 du cahier des charges).
- Option 8 : Formation maintenance avancée, tel que décrit au paragraphe 9 du cahier des charges).
- Option 9 : Deuxième année de garantie, tel que décrit au paragraphe 11 du cahier des charges).
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Produits/services: Machines et appareils microélectroniques 📦
Description
Identifiant interne:
B25-00642-CMF
Informations complémentaires:
La liste des documents et informations à fournir pour le dossier de candidature
est indiquée au paragraphe 4.1 du règlement de consultation joint au Dossier de Consultation référencé B25-00642-CMF, qui est téléchargeable via le lien https://www.marchespublics.gouv.fr comme détaillé ci-dessous.
Les entreprises nouvellement créées sont autorisées à présenter leur candidature. Si elles ne sont pas en mesure de produire certains des documents demandés dans le présent avis de marché, elles peuvent justifier de leurs capacités financières et professionnelles par d’autres moyens que ceux indiqués dans le présent avis et notamment par la présentation de titres ou de l’expérience professionnelle du ou de leurs responsables. Le présent avis et/ou les documents de la consultation doivent être retirés sur https://www.marchespublics.gouv.fr . Modalités d’obtention du Dossier de Consultation : Pour obtenir le dossier de consultation des entreprises, le candidat devra le télécharger via la plateforme de dématérialisation des procédures de passation des marchés du CEA accessible sur l’URL suivante : https://www.marchespublics.gouv.fr
Le téléchargement du dossier de consultation devra préciser la référence suivante : B25-00642-CMF
Modalités de transmission des candidatures : Les candidatures seront transmises via la plateforme de dématérialisation des procédures de passation des marchés du CEA accessible sur l’URL suivante : https://www.marchespublics.gouv.fr.
Il convient de suivre les étapes suivantes qui sont décrites sur le guide d’utilisation en ligne (rubrique Aide) :
1.Se doter d’un certificat électronique répondant aux spécifications indiquées dans les conditions d’utilisation de la plateforme du CEA, rubrique « Certificat électronique»
2.Se connecter à l’adresse suivante https://www.marchespublics.gouv.fr
3.Compléter le formulaire et valider.
Forme juridique que devra revêtir le groupement d’opérateurs économiques attributaire du marché (le cas échéant) En cas de groupement momentané d’entreprises, celui ci peut être solidaire ou conjoint. Si le groupement est conjoint, le mandataire doit être solidaire de ses cotraitants. Il est interdit de cumuler les candidatures : en qualité de candidat individuel et de
membre d’un ou plusieurs groupements : en qualité de membre de plusieurs groupements
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Pays: France 🇫🇷
Lieu d'exécution: Isère 🏙️
Durée de l'accord: 12 mois
Informations sur les variantes
Les variantes sont acceptées ✅
Informations sur les limites du nombre de candidats à inviter
Nombre minimum envisagé: 3
Critères d'attribution
Prix ✅
Titre
Numéro d'identification du lot:
LOT-0001
Description
Site principal ou lieu d'exécution: CEA/Grenoble, conditions d'accès réglementées.
Procédure
Type de procédure
Procédure négociée avec mise en concurrence préalable ✅
Base juridique: Directive 2014/24/UE
Informations administratives
Délai de réception des offres ou des demandes de participation: 2025-04-10 12:00:00 📅
Langues dans lesquelles les offres ou les demandes de participation peuvent être présentées: français 🗣️
anglais 🗣️
Informations sur les négociations
Le pouvoir adjudicateur se réserve le droit d'attribuer le marché sur la base des offres initiales sans mener de négociations ✅
Informations sur la réduction du nombre de solutions ou d'offres au cours de la négociation ou du dialogue
Recours à une procédure par étapes pour réduire progressivement le nombre de solutions à discuter ou d'offres à négocier ✅
Conditions de passation du marché
Facturation électronique: Requise
Pouvoir adjudicateur
Nom et adresse
Nom: Commissariat a l'energie atomique et aux energies alternatives
Numéro d'enregistrement national:
775 685 019
Département: Isère
Adresse postale: 17 avenue des Martyrs
Code postal: 38000
Commune postale: Grenoble
Région: Isère 🏙️
Pays: France 🇫🇷
Point de contact: Claire MOREAU-FLACHAT
Courrier électronique: claire.moreau-flachat@cea.fr 📧
Téléphone: 0438789943 📞
URL: www.cea.fr 🌏
Adresse URL pour l'échange d'informations: https://www.marches-publics.gouv.fr/entreprise 🌏
Adresse du profil d'acheteur: https://www.marches-publics.gouv.fr 🌏
Type de pouvoir adjudicateur
Organisme de droit public
Activité principale
Enseignement
Communication
URL des documents: https://www.marchespublics.gouv.fr 🌏
URL de participation: https://www.marches-publics.gouv.fr 🌏
Identifiant des fonds de l’UE: Fames - pilot line
Soumission par voie électronique: Requise
Informations complémentaires
Informations complémentaires
La date du 10 avril 2025 indiquée dans le présent avis de marché correspond à la date limite de remise des candidatures, et non à la date limite de remise des offres. Les modalités de fixation de la date de remise des offres sont précisées dans le dossier de consultation.
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Nom: Greffe tribunal administratif de grenoble
Numéro d'enregistrement national:
173800053
Département: Isère
Adresse postale: 2 Place de Verdun, Boîte Postale 1135
Code postal: 38022
Commune postale: Grenoble Cedex
Région: Isère 🏙️
Pays: France 🇫🇷
Courrier électronique: greffe.tagrenoble@juradm.fr 📧
Téléphone: 04 76 42 90 00 📞
URL: https://grenoble.tribunaladministratif.fr/ 🌏
Procédure d'examen
Informations précises sur le(s) délai(s) des procédures d'examen:
Le référé précontractuel peut être introduit depuis le début de la procédure de passation jusqu’à la signature du marché. Le référé contractuel peut être introduit dans les conditions des articles L.55113 et suivants du Code de justice administrative. Le recours en contestation de la validité du marché par un tiers peut être intenté dans un délai de deux mois à compter des mesures de publicité appropriées.
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La facturation électronique sera acceptée
Source: OJS 2025/S 047-150499 (2025-03-05)
Avis d'attribution de marché (2025-12-01)
Objet
Champ d'application du marché
Brève description:
Valeur totale du marché (hors TVA): 1 EUR 💰
Identifiant des fonds de l’UE: FAMES - PILOT LINE
Description
Description du marché:
Critères d'attribution
Prix (pondération): 55
Critère de qualité (nom): Critère technique n° 1 : Qualité matérielle et configuration hardware : 10%
Critère de qualité (pondération): 10
Critère de qualité (nom): Critère technique n° 2 : Performance technique de l’offre pour atteindre les spécifications du Procédé 3 « Low Temperature SiP » : 25%
Critère de qualité (pondération): 25
Critère de qualité (nom): Critère technique n° 3 : Performance technique de l’offre pour atteindre les spécifications des autres procédés : 10%
Procédure
Type de pondération: Pondération (pourcentage, valeur exacte)
Attribution du marché
Un contrat/lot est attribué ✅
Numéro d'identification du lot:
Numéro de contrat:
Date de conclusion du contrat: 2025-11-25 📅
Informations sur les appels d'offres
Nombre d'offres reçues par voie électronique: 2
Information sur la valeur du contrat/lot (hors TVA)
Valeur totale du contrat/lot: 1 EUR 💰
L’offre a été classée
Rang de classement du candidat/lauréat: 1
Identifiant de l’offre:
Identifiant du lot ou groupe de lots:
Informations sur les appels d'offres
Nom de la partie soumissionnaire: Applied materials south east asia
Nom et adresse du contractant
Nom: Applied materials south east asia
Numéro d'enregistrement national:
Adresse postale: 8 Upper Changi Road North
Code postal: 506906
Commune postale: Singapore
Pays: Singapour 🇸🇬
Taille de l’opérateur économique: Grande
Informations complémentaires
Informations complémentaires
Objet
Champ d'application du marché
Brève description:
Pour ses activités de recherche axées sur le développement de technologies FD-SOI de 10 nm et au-delà, le CEA-LETI souhaite acquérir un équipement d’épitaxie afin de relever les défis technologiques à venir. Cet équipement d’épitaxie à basse température de type RPCVD (« Reduced Pressure Chemical Vapor Deposition » en anglais ») doit être capable de réaliser une croissance par épitaxie intrinsèque et dopée in situ, non sélective et sélective (types N et P) de semi-conducteurs du groupe IV, à haute et basse température (de 1100°C à 300°C) sur des plaquettes de silicium de 300 mm.
Le marché comprend les options suivantes, qui sont levées à la notification du marché :
- Option 5 : Systèmes de régulation de température, tel que décrit au paragraphe 3.2.6 du cahier des charges.
- Option 7 : Formation maintenance niveau 1, tel que décrit au paragraphe 9 du cahier des charges complété par l’article 9 ci-après).
- Option 8 : Formation maintenance avancée, tel que décrit au paragraphe 9 du cahier des charges complété par l’article 9 ci-après).
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Identifiant des fonds de l’UE: FAMES - PILOT LINE
Description
Description du marché:
Pour ses activités de recherche axées sur le développement de technologies FD-SOI de 10 nm et au-delà, le CEA-LETI souhaite acquérir un équipement d’épitaxie afin de relever les défis technologiques à venir. Cet équipement d’épitaxie à basse température de type RPCVD (« Reduced Pressure Chemical Vapor Deposition » en anglais ») doit être capable de réaliser une croissance par épitaxie intrinsèque et dopée in situ, non sélective et sélective (types N et P) de semi-conducteurs du groupe IV, à haute et basse température (de 1100°C à 300°C) sur des plaquettes de silicium de 300 mm.
LeLe marché comprend les options suivantes, qui sont levées à la notification du marché :
- Option 5 : Systèmes de régulation de température, tel que décrit au paragraphe 3.2.6 du cahier des charges.
- Option 7 : Formation maintenance niveau 1, tel que décrit au paragraphe 9 du cahier des charges complété par l’article 9 ci-après).
- Option 8 : Formation maintenance avancée, tel que décrit au paragraphe 9 du cahier des charges complété par l’article 9 ci-après).
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Prix (pondération): 55
Critère de qualité (nom): Critère technique n° 1 : Qualité matérielle et configuration hardware : 10%
Critère de qualité (pondération): 10
Critère de qualité (nom): Critère technique n° 2 : Performance technique de l’offre pour atteindre les spécifications du Procédé 3 « Low Temperature SiP » : 25%
Critère de qualité (pondération): 25
Critère de qualité (nom): Critère technique n° 3 : Performance technique de l’offre pour atteindre les spécifications des autres procédés : 10%
Procédure
Type de pondération: Pondération (pourcentage, valeur exacte)
Attribution du marché
Un contrat/lot est attribué ✅
Numéro d'identification du lot:
LOT-0001
Numéro de contrat:
B25-00642-CMF
Date de conclusion du contrat: 2025-11-25 📅
Informations sur les appels d'offres
Nombre d'offres reçues par voie électronique: 2
Information sur la valeur du contrat/lot (hors TVA)
Valeur totale du contrat/lot: 1 EUR 💰
L’offre a été classée
Rang de classement du candidat/lauréat: 1
Identifiant de l’offre:
B25-00642-CMF
Identifiant du lot ou groupe de lots:
LOT-0001
Informations sur les appels d'offres
Nom de la partie soumissionnaire: Applied materials south east asia
Nom et adresse du contractant
Nom: Applied materials south east asia
Numéro d'enregistrement national:
506906
Adresse postale: 8 Upper Changi Road North
Code postal: 506906
Commune postale: Singapore
Pays: Singapour 🇸🇬
Taille de l’opérateur économique: Grande
Informations complémentaires
Informations complémentaires
La valeur "1,00" est renseignée uniquement pour pouvoir valider et publier l'avis d'attribution. Les valeurs indiquées dans ces champs ne sont donc pas à prendre en compte.
Source: OJS 2025/S 233-802732 (2025-12-01)
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