Equipement ALD pour les matériaux MEOL/BEOL

Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives

Le CEA-Leti souhaite faire l’acquisition d’un équipement de dépôt ALD. Cet équipement vise à être utilisé pour le développement des technologies avancées FDSOI 10 nm et au-delà, et plus particulièrement les niveaux MEOL et BEOL. Cet équipement traitera des plaques 300 mm. Il vise le développement des diélectriques et des matériaux conducteurs pour les mémoires non-volatiles embarquées (eNVM) au niveau des interconnexions métalliques au-dessus des transistors. Il comprend les options à réponses obligatoires suivantes : - Formation maintenance niveau 1 (page 36 du cahier des charges) - Formation maintenance avancée ((page 36 du cahier des charges) Ainsi que le coût des options à réponses facultatives : - une station tampon (buffer station) pour le refroidissement des plaques (page 13 du cahier des charges) - une station de refroidissement (page 13 du cahier des charges) - une station tampon (buffer station) pour le stockage des wafers dummies (page 14 du cahier des charges) - une station d’alignement du notch (page 14 du cahier des charges) - un load port additionnel (page 14 du cahier des charges) - échangeurs de chaleur et systèmes de refroidissement (page 16 du cahier des charges) - transformateur électrique (page 24 du cahier des charges) - deuxième année de garantie ((page 36 du cahier des charges)

Date limite

Le délai de réception des offres était de 2025-03-13. L'appel d'offres a été publié le 2025-02-10.

Fournisseurs

Les fournisseurs suivants sont mentionnés dans les décisions d'attribution ou dans d'autres documents relatifs aux marchés publics :

• ASM Europe B.V

Qui ?

• Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives

Qu'est-ce que c'est ?

• Fournitures électroniques, électromécaniques et électrotechniques › Équipement électromécanique

Où ?

• Luxembourg › Luxembourg
• Rhône-Alpes › Isère

Historique des marchés publics

Date	Document
2025-02-10	Avis de marché
2026-01-05	Avis d'attribution de marché

Avis de marché (2025-02-10)
Objet
Champ d'application du marché
Titre: Equipement ALD pour les matériaux MEOL/BEOL
Numéro de référence: B24-06195-TZ
Brève description:

Type de contrat: Fournitures
Produits/services: Équipement électromécanique 📦
Description
Identifiant interne: B24-06195-TZ
Description du marché:

Informations complémentaires:

La liste des documents et informations à fournir pour le dossier de candidature est indiquée au paragraphe 4.1 du règlement de consultation joint au Dossier de Consultation référencé B24-06195-TZ, qui est téléchargeable via le lien https://www.marchespublics.gouv.fr comme détaillé ci-dessous. Les entreprises nouvellement créées sont autorisées à présenter leur candidature. Si elles ne sont pas en mesure de produire certains des documents demandés dans le présent avis de marché, elles peuvent justifier de leurs capacités financières et professionnelles par d’autres moyens que ceux indiqués dans le présent avis et notamment par la présentation de titres ou de l’expérience professionnelle du ou de leurs responsables. Le présent avis et/ou les documents de la consultation doivent être retirés sur https://www.marchespublics.gouv.fr . Modalités d’obtention du Dossier de Consultation : Pour obtenir le dossier de consultation des entreprises, le candidat devra le télécharger via la plateforme de dématérialisation des procédures de passation des marchés du CEA accessible sur l’URL suivante : https://www.marchespublics.gouv.fr Le téléchargement du dossier de consultation devra préciser la référence suivante : B24-06195-TZ Modalités de transmission des candidatures : Les candidatures seront transmises via la plateforme de dématérialisation des procédures de passation des marchés du CEA accessible sur l’URL suivante : https://www.marchespublics.gouv.fr. Il convient de suivre les étapes suivantes qui sont décrites sur le guide d’utilisation en ligne (rubrique Aide) : 1.Se doter d’un certificat électronique répondant aux spécifications indiquées dans les conditions d’utilisation de la plateforme du CEA, rubrique « Certificat électronique» 2.Se connecter à l’adresse suivante https://www.marchespublics.gouv.fr 3.Compléter le formulaire et valider. Forme juridique que devra revêtir le groupement d’opérateurs économiques attributaire du marché (le cas échéant) En cas de groupement momentané d’entreprises, celui ci peut être solidaire ou conjoint. Si le groupement est conjoint, le mandataire doit être solidaire de ses cotraitants. Il est interdit de cumuler les candidatures : en qualité de candidat individuel et de membre d’un ou plusieurs groupements : en qualité de membre de plusieurs groupements

Informations complémentaires

La liste des documents et informations à fournir pour le dossier de candidature
est indiquée au paragraphe 4.1 du règlement de consultation joint au Dossier de Consultation référencé B24-06195-TZ, qui est téléchargeable via le lien https://www.marchespublics.gouv.fr comme détaillé ci-dessous.
Les entreprises nouvellement créées sont autorisées à présenter leur candidature. Si elles ne sont pas en mesure de
produire certains des documents demandés dans le présent avis de marché, elles peuvent justifier de leurs capacités
financières et professionnelles par d’autres moyens que ceux indiqués dans le présent avis et notamment par la
présentation de titres ou de l’expérience professionnelle du ou de leurs responsables. Le présent avis et/ou les
documents de la consultation doivent être retirés sur https://www.marchespublics.gouv.fr . Modalités d’obtention du
Dossier de Consultation : Pour obtenir le dossier de consultation des entreprises, le candidat devra le télécharger
via la plateforme de dématérialisation des procédures de passation des marchés du CEA accessible sur l’URL
suivante : https://www.marchespublics.gouv.fr Le téléchargement du dossier de consultation devra préciser la
référence suivante : B24-06195-TZ Modalités de transmission des candidatures : Les candidatures seront
transmises via la plateforme de dématérialisation des procédures de passation des marchés du CEA accessible sur
l’URL suivante : https://www.marchespublics.gouv.fr. Il convient de suivre les étapes suivantes qui sont décrites sur
le guide d’utilisation en ligne (rubrique Aide) : 1.Se doter d’un certificat électronique répondant aux spécifications
indiquées dans les conditions d’utilisation de la plateforme du CEA, rubrique « Certificat électronique» 2.Se connecter
à l’adresse suivante https://www.marchespublics.gouv.fr 3.Compléter le formulaire et valider. Forme juridique que
devra revêtir le groupement d’opérateurs économiques attributaire du marché (le cas échéant) En cas de groupement
momentané d’entreprises, celui ci peut être solidaire ou conjoint. Si le groupement est conjoint, le mandataire doit
être solidaire de ses cotraitants. Il est interdit de cumuler les candidatures : en qualité de candidat individuel et de
membre d’un ou plusieurs groupements : en qualité de membre de plusieurs groupements

Pays: France 🇫🇷
Lieu d'exécution: Isère 🏙️
Durée de l'accord: 1 années
Informations sur les variantes
Les variantes sont acceptées ✅
Critères d'attribution
Prix ✅
Titre
Numéro d'identification du lot: LOT-0001

Procédure
Type de procédure
Procédure négociée avec mise en concurrence préalable ✅
Base juridique: Directive 2014/24/UE
Informations administratives
Délai de réception des offres ou des demandes de participation: 2025-03-13 12:00:00 📅
Langues dans lesquelles les offres ou les demandes de participation peuvent être présentées: français 🗣️
Informations sur les négociations
Le pouvoir adjudicateur se réserve le droit d'attribuer le marché sur la base des offres initiales sans mener de négociations ✅
Informations sur la réduction du nombre de solutions ou d'offres au cours de la négociation ou du dialogue
Recours à une procédure par étapes pour réduire progressivement le nombre de solutions à discuter ou d'offres à négocier ✅
Conditions de passation du marché
Facturation électronique: Requise
Les commandes électroniques seront utilisées ✅
Le paiement électronique sera utilisé ✅

Pouvoir adjudicateur
Nom et adresse
Nom: Commissariat a l'energie atomique et aux energies alternatives
Numéro d'enregistrement national: 775 685 019
Département: Isère
Adresse postale: 17 avenue des Martyrs
Code postal: 38000
Commune postale: Grenoble
Région: Isère 🏙️
Pays: France 🇫🇷
Point de contact: Thomas ZEMERLI
Courrier électronique: thomas.zemerli@cea.fr 📧
Téléphone: 0675022569 📞
URL: www.cea.fr 🌏
Adresse URL pour l'échange d'informations: https://www.marches-publics.gouv.fr/entreprise 🌏
Adresse du profil d'acheteur: https://www.marches-publics.gouv.fr 🌏
Type de pouvoir adjudicateur
Organisme de droit public
Activité principale
Enseignement
Communication
URL des documents: https://www.marchespublics.gouv.fr 🌏
URL de participation: https://www.marches-publics.gouv.fr 🌏
Identifiant des fonds de l’UE: Fames - pilot line
Soumission par voie électronique: Requise

Informations complémentaires
Organe de révision
Nom: Greffe tribunal administratif de grenoble
Numéro d'enregistrement national: 173800053
Département: Isère
Adresse postale: 2 Place de Verdun, Boîte Postale 1135
Code postal: 38022
Commune postale: Grenoble Cedex
Région: Isère 🏙️
Pays: France 🇫🇷
Courrier électronique: greffe.tagrenoble@juradm.fr 📧
Téléphone: 04 76 42 90 00 📞
URL: https://grenoble.tribunaladministratif.fr/ 🌏
Procédure d'examen
Informations précises sur le(s) délai(s) des procédures d'examen:

Le référé précontractuel peut être introduit depuis le début de la procédure de passation jusqu’à la signature du marché. Le référé contractuel peut être introduit dans les conditions des articles L.55113 et suivants du Code de justice administrative. Le recours en contestation de la validité du marché par un tiers peut être intenté dans un délai de deux mois à compter des mesures de publicité appropriées.

Informations sur les flux de travail électroniques
La facturation électronique sera acceptée
Source: OJS 2025/S 030-096717 (2025-02-10)

Avis d'attribution de marché (2026-01-05)
Objet
Champ d'application du marché
Brève description:

Le CEA-Leti souhaite faire l’acquisition d’un équipement de dépôt ALD. Cet équipement vise à être utilisé pour le développement des technologies avancées FDSOI 10 nm et au-delà, et plus particulièrement les niveaux MEOL et BEOL. Cet équipement traitera des plaques 300 mm. Il vise le développement des diélectriques et des matériaux conducteurs pour les mémoires non-volatiles embarquées (eNVM) au niveau des interconnexions métalliques au-dessus des transistors. Les options suivantes sont levées dès la notification du marché : o Option 1 : une station tampon (buffer station) pour le refroidissement des plaques o Option 2 : une station de refroidissement o Option 3 : une station tampon (buffer station) pour le stockage des wafers dummies (inclus dans l’équipement de base) o Option 4 : une station d’alignement du ‘notch’ (inclus dans l’équipement de base) o Option 5 : un load port additionnel (inclus dans l’équipement de base) o Option 8 : Deuxième année de garantie o Option 9 : Formation maintenance de niveau 1 o Option 10 : Formation maintenance niveau avancée

Valeur totale du marché (hors TVA): 1 EUR 💰
Description
Informations complémentaires:

Modalités de consultation du marché : un exemplaire du marché est disponible auprès du CEA dont les coordonnées sont précisées à la section I du présent avis. La consultation s’effectue dans le respect des secrets protégés par la loi. Les cases relatives au montant du marché ont été complétées par la valeur "1,00" uniquement pour pouvoir valider et publier l'avis d'attribution. Les valeurs indiquées dans ces champs ne sont donc pas à prendre en compte.

Attribution du marché
Un contrat/lot est attribué ✅
Numéro d'identification du lot: LOT-0001
Numéro de contrat: B24-06195-TZ
Date de conclusion du contrat: 2025-12-01 📅
Informations sur les appels d'offres
Nombre d'offres reçues: 1
Information sur la valeur du contrat/lot (hors TVA)
Valeur totale du contrat/lot: 1 EUR 💰
L’offre a été classée
Rang de classement du candidat/lauréat: 1
Identifiant de l’offre: B24-06195-TZ
Identifiant du lot ou groupe de lots: LOT-0001
Informations sur les appels d'offres
Nom de la partie soumissionnaire: ASM Europe B.V
Nom et adresse du contractant
Nom: ASM Europe B.V
Numéro d'enregistrement national: 54004004
Adresse postale: Versterkerstraat 8 AP
Code postal: 1322
Commune postale: Almere
Région: Groot-Amsterdam 🏙️
Pays: Pays-Bas 🇳🇱
Point de contact: Ronald Philipsen
Taille de l’opérateur économique: Grande
Source: OJS 2026/S 003-004395 (2026-01-05)

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