202501100951 Acquisition, livraison, installation et mise en service d’un système de gravure ionique réactive à couplage capacitif (RIE - CCP) utilisant des gaz fluorés

CNRS délégation régionale Hauts-de-France

L’objet de ce marché concerne l’acquisition, la livraison et la mise en service de deux dispositifs de gravure ionique réactive par plasma du type RIE-CCP utilisant des gaz fluorés ou dioxygène. L’un des deux réacteurs sera dédié à la gravure exclusive des matériaux SixNy, SiO2 et Si avec un masque de résine (appelé RIE_1), le deuxième sera ouvert à la gravure de mêmes matériaux et aussi de tous les matériaux pouvant être gravés par un plasma obtenu à partir de gaz fluorés ou dioxygène (appelé RIE_2).

Date limite

Le délai de réception des offres était de 2025-03-18. L'appel d'offres a été publié le 2025-02-13.

Fournisseurs

Les fournisseurs suivants sont mentionnés dans les décisions d'attribution ou dans d'autres documents relatifs aux marchés publics :

• PTS - PUCES TECHNOLOGIES SEMICONDUCTEURS

Qui ?

• CNRS délégation régionale Hauts-de-France

Qu'est-ce que c'est ?

• Plaques ou cylindres d'impression, autre matériel d'imprimerie › Matériel de gravure sèche

Où ?

• Luxembourg › Luxembourg
• Nord-Pas de Calais › Nord

Historique des marchés publics

Date	Document
2025-02-13	Avis de marché
2025-04-25	Avis d'attribution de marché

Avis de marché (2025-02-13)
Objet
Champ d'application du marché
Titre: 202501100951 Acquisition, livraison, installation et mise en service d’un système de gravure ionique réactive à couplage capacitif (RIE - CCP) utilisant des gaz fluorés
Numéro de référence: 202501100951
Brève description:

Type de contrat: Fournitures
Produits/services: Matériel de gravure sèche 📦
Valeur estimée hors TVA: 750 000 EUR 💰
Description
Identifiant interne: 202501100951
Titre: Acquisition, livraison, installation et mise en service d’un système de gravure ionique réactive à couplage capacitif (RIE - CCP) utilisant des gaz fluorés
Le marché en question convient aussi aux petites et moyennes entreprises (PME) ✅
Informations complémentaires:

Afin de prendre connaissance des contraintes relatives à l'exécution des prestations, les candidats peuvent visiter le site. Voir modalités de visite dans le RC.

Adresse postale: Iemn
Avenue Poincaré
Cité Scientifique
Code postal: 59652
Ville: Villeneuve d'Ascq Cedex
Pays: France 🇫🇷
Lieu d'exécution: Nord 🏙️
Durée de l'accord: 24 mois
Informations sur les options
Options ✅
Description des options:

Tranche optionnelle n°1: Bâti RIE_2 Des PSE sont demandées : - PSE n°1 (facultative) : Un (1) système de suivi de gravure du type OES - PSE n°2 (facultative) : Deux (2) systèmes de suivi de gravure du type OES - PSE n°3 (facultative) : Un (1) kit de consommable en spare - PSE n°4 (facultative) : Deux (2) kits de consommable en spare

Critères d'attribution
Prix ✅
Prix (pondération): 35
Critère de qualité (nom): Valeur technique
Critère de qualité (pondération): 40
Critère de qualité (nom): Délais, installation et formation
Critère de qualité (pondération): 10
Critère de qualité (nom): Garantie, SAV et procédés
Valeur environnementale
Critère de qualité (pondération): 5
Titre
Numéro d'identification du lot: LOT-0001
Description
Site principal ou lieu d'exécution:

Aucune caution, ni garantie ne sont exigées. Prix ferme. Paiement à 30 jours conformément à l'article R.2192-10 du code de la commande publique. Une avance pourra être versée au titulaire conformément à l’article R.2191-3 du code de la commande publique. Paiement par acompte et règlement partiel définitif selon les modalités décrites à l'article 9.4.1 du CCAP. Les candidats peuvent présenter leur offre sous forme de groupement conjoint ou solidaire, conformément aux dispositions des articles R2142-19 et R2142-20 du code de la commande publique.

Adresse postale: Avenue Poincaré, Cité Scientifique

Procédure
Type de procédure
Procédure ouverte ✅
Base juridique: Directive 2014/24/UE
Informations administratives
Délai de réception des offres ou des demandes de participation: 2025-03-18 14:00:00 📅
Conditions d'ouverture des offres (Informations sur les personnes autorisées et la procédure d'ouverture): L'ouverture des plis n'est pas publique, les candidats ne peuvent pas y assister
Langues dans lesquelles les offres ou les demandes de participation peuvent être présentées: français 🗣️
Délai minimum pendant lequel le soumissionnaire doit maintenir l'offre: 4 mois
Conditions de passation du marché
Informations complémentaires: L'ouverture des plis n'est pas publique, les candidats ne peuvent pas y assister
Facturation électronique: Requise
Une habilitation de sécurité est requise ✅
Description:

Les conditions d'accès aux sites classés en Zones à Régime Restrictif (ZRR) au sens des articles R.413-1 et suivants du code pénal, du décret n°2011-1425 du 2 novembre 2011, du décret n°2024-430 du 14 mai 2024 et de l’arrêté du 3 juillet 2012 relatif à la protection du potentiel scientifique et technique de la nation (PPST), font l'objet de dispositions particulières dans les documents de la consultation. À ce titre, les candidats sont informés que le Titulaire du marché pourra être soumis aux procédures correspondantes d'autorisations préalables d'accès lorsque les prestations sont susceptibles de concerner des informations relevant de telles zones. Par ailleurs, en cas de visite ayant lieu dans une ZRR, organisée dans le cadre de la procédure de passation du marché, les visiteurs doivent être préalablement autorisés par le chef de cette ZRR (directeur de l’unité). En cas de visite de site rendue obligatoire dans le cadre de la procédure de passation, le refus d’accès par le chef de la ZRR est un motif de rejet de l’offre du soumissionnaire. Conformément à la règlementation, le refus d’autorisation d’accès à une ZRR lors d’une visite n’est pas motivé. Le niveau de protection adéquat à assurer pour certaines informations dans le cadre de l’exécution du présent marché est celui applicable aux « informations sensibles » au sens de la politique de sécurité des systèmes d’information de l’Etat (PSSI-E) issue de la circulaire du Premier ministre du 17 juillet 2014 n°5725/SG relative à la PSSI-E, de la circulaire interministérielle de mise en œuvre du dispositif de PPST en date du 7 novembre 2012 et ainsi que des textes encadrant la PPST

Critères d'attribution
Type de pondération: Pondération (pourcentage, valeur exacte)

Pouvoir adjudicateur
Nom et adresse
Nom: CNRS Délégation Régionale Hauts-de-France
Numéro d'enregistrement national: 180 089 013 03894
Département: Nord
Adresse postale: 43 avenue le Corbusier
BP 30123
Code postal: 59001
Commune postale: Lille Cedex
Région: Nord 🏙️
Pays: France 🇫🇷
Point de contact: Pôle Achats et Marchés Publics
Courrier électronique: dr18.liste.poleachats@cnrs.fr 📧
Téléphone: 0320125800 📞
URL: https://www.cnrs.fr 🌏
Adresse du profil d'acheteur: https://www.marches-publics.gouv.fr 🌏
Type de pouvoir adjudicateur
Organisme de droit public
Activité principale
Enseignement
Communication
URL des documents: https://www.marches-publics.gouv.fr/?page=Entreprise.EntrepriseAdvancedSearch&AllCons&id=2686289&orgAcronyme=f2h 🌏
URL de participation: https://www.marches-publics.gouv.fr/?page=Entreprise.EntrepriseAdvancedSearch&AllCons&id=2686289&orgAcronyme=f2h 🌏
Identifiant des fonds de l’UE: FEDER-FSE+FTJ 2021-2027
Code du programme de financement de l'UE: Fonds européen de développement régional (FEDER) (2021/2027)
Soumission par voie électronique: Requise

Informations complémentaires
Informations complémentaires
Marché à tranches. Des PSE facultatives sont demandées.
Organe de révision
Nom: Tribunal administratif de Lille
Numéro d'enregistrement national: 17590003400026
Adresse postale: 5 Rue Geoffroy Saint-Hilaire
CS 6203
Code postal: 59000
Commune postale: Lille
Région: Nord 🏙️
Pays: France 🇫🇷
Courrier électronique: greffe.ta-lille@juradm.fr 📧
Téléphone: 0359542342 📞
Service auprès duquel des informations sur la procédure de recours peuvent être obtenues
Identique à : Organe de révision
Procédure d'examen
Informations précises sur le(s) délai(s) des procédures d'examen:

Précisions concernant les recours susceptibles d’être introduits à l’encontre de la procédure ou du marché, ainsi que sur les délais d’introduction de ces recours : • Référé précontractuel prévu aux articles L. 551-1à L. 551-12 du code de justice administrative (CJA), pouvant être introduit depuis le début de la procédure de passation jusqu’à la signature du marché ; • Référé contractuel prévu aux articles L. 551-13 à L. 551-23 du CJA, pouvant être exercé dans les délais prévus à l'article R. 551-7 du CJA ; • Recours de pleine juridiction contestant la validité du marché dans un délai de 2 mois à compter de l'accomplissement des mesures de publicité appropriées au sens de la décision Département de Tarn-et-Garonne (CE, Ass., 4 avril 2014, n°358994). Ce recours en contestation de validité peut être assorti d'une demande tendant, sur le fondement de l'article L. 521-1 du code de justice administrative, à la suspension de l'exécution du contrat

Informations sur les flux de travail électroniques
La facturation électronique sera acceptée
Source: OJS 2025/S 032-101185 (2025-02-13)

Avis d'attribution de marché (2025-04-25)
Objet
Champ d'application du marché
Valeur estimée hors TVA: 750 000 EUR 💰
Valeur totale du marché (hors TVA): 593 000 EUR 💰
Nom du projet ou programme financé par l’UE: Fonds européen de développement régional (FEDER) (2021/2027)
Identifiant des fonds de l’UE: Projet "FEDER F1 IMITECH"

Attribution du marché
Un contrat/lot est attribué ✅
Numéro d'identification du lot: LOT-0001
Numéro de contrat:

2029817 Acquisition, livraison, installation et mise en service d’un système de gravure ionique réactive à couplage capacitif (RIE - CCP) utilisant des gaz fluorés

Date de conclusion du contrat: 2025-04-24 📅
Informations sur les appels d'offres
Nombre d'offres reçues: 2
Information sur la valeur du contrat/lot (hors TVA)
Valeur totale du contrat/lot: 593 000 EUR 💰
L’offre a été classée
Rang de classement du candidat/lauréat: 1
Identifiant de l’offre: Offre de PTS
Identifiant du lot ou groupe de lots: LOT-0001
Informations sur les appels d'offres
Nom de la partie soumissionnaire: Pts - puces technologies semiconducteurs
Nom et adresse du contractant
Nom: Pts - puces technologies semiconducteurs
Numéro d'enregistrement national: 39491752000048
Adresse postale: 23 rue Paul Héroult
Code postal: 38190
Commune postale: Villard bonnot
Région: Isère 🏙️
Pays: France 🇫🇷
Courrier électronique: pts@pts.fr 📧
Téléphone: 0160931100 📞
Taille de l’opérateur économique: Micro, petite ou moyenne

Informations complémentaires
Procédure d'examen
Informations précises sur le(s) délai(s) des procédures d'examen:

Les recours susceptibles d’être introduits à l’encontre de la procédure ou du marché, ainsi que sur les délais d’introduction de ces recours figurent à la rubrique 5.1.12 de l’AAP (formulaire européen). La date de signature du marché est le 24.04.2025 et la date de notification du marché au titulaire est le 24.04.2025. Le présent avis d'attribution correspond à l'accomplissement des mesures de publicité appropriées au sens de la décision Département de Tarn-et-Garonne (CE, Ass., 4 avril 2014, n°358994). Le contrat est consultable dans le respect des secrets protégés par la loi n°78-753 du 17 juillet 1978 codifiée dans le livre III du code des relations entre le public et l'administration, sur place à l'adresse indiquée à la rubrique 1.1, après une demande écrite adressée par courriel ( dr18.liste.poleachats@cnrs.fr) au service financier et comptable de la délégation et uniquement sur prise de rendez-vous du lundi au vendredi de 9:30 à 11:30 et de 14:30 à 16:00, hors jours fériés et jours de fermeture du site.

Source: OJS 2025/S 082-273583 (2025-04-25)

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