202501100951 Acquisition, livraison, installation et mise en service d’un système de gravure ionique réactive à couplage capacitif (RIE - CCP) utilisant des gaz fluorés
L’objet de ce marché concerne l’acquisition, la livraison et la mise en service de deux dispositifs de gravure ionique réactive par plasma du type RIE-CCP utilisant des gaz fluorés ou dioxygène. L’un des deux réacteurs sera dédié à la gravure exclusive des matériaux SixNy, SiO2 et Si avec un masque de résine (appelé RIE_1), le deuxième sera ouvert à la gravure de mêmes matériaux et aussi de tous les matériaux pouvant être gravés par un plasma obtenu à partir de gaz fluorés ou dioxygène (appelé RIE_2).
Date limite
Le délai de réception des offres était de 2025-03-18.
L'appel d'offres a été publié le 2025-02-13.
Fournisseurs
Les fournisseurs suivants sont mentionnés dans les décisions d'attribution ou dans d'autres documents relatifs aux marchés publics :
Avis de marché (2025-02-13) Objet Champ d'application du marché
Titre: 202501100951 Acquisition, livraison, installation et mise en service d’un système de gravure ionique réactive à couplage capacitif (RIE - CCP) utilisant des gaz fluorés
Numéro de référence: 202501100951
Brève description:
“L’objet de ce marché concerne l’acquisition, la livraison et la mise en service de deux dispositifs de gravure ionique réactive par plasma du type RIE-CCP...”
Brève description
L’objet de ce marché concerne l’acquisition, la livraison et la mise en service de deux dispositifs de gravure ionique réactive par plasma du type RIE-CCP utilisant des gaz fluorés ou dioxygène. L’un des deux réacteurs sera dédié à la gravure exclusive des matériaux SixNy, SiO2 et Si avec un masque de résine (appelé RIE_1), le deuxième sera ouvert à la gravure de mêmes matériaux et aussi de tous les matériaux pouvant être gravés par un plasma obtenu à partir de gaz fluorés ou dioxygène (appelé RIE_2).
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Type de contrat: Fournitures
Produits/services: Matériel de gravure sèche📦
Valeur estimée hors TVA: 750 000 EUR 💰
Description
Description du marché:
“L’objet de ce marché concerne l’acquisition, la livraison et la mise en service de deux dispositifs de gravure ionique réactive par plasma du type RIE-CCP...”
Description du marché
L’objet de ce marché concerne l’acquisition, la livraison et la mise en service de deux dispositifs de gravure ionique réactive par plasma du type RIE-CCP utilisant des gaz fluorés ou dioxygène. L’un des deux réacteurs sera dédié à la gravure exclusive des matériaux SixNy, SiO2 et Si avec un masque de résine (appelé RIE_1), le deuxième sera ouvert à la gravure de mêmes matériaux et aussi de tous les matériaux pouvant être gravés par un plasma obtenu à partir de gaz fluorés ou dioxygène (appelé RIE_2).
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Informations complémentaires:
“Afin de prendre connaissance des contraintes relatives à l'exécution des prestations, les candidats peuvent visiter le site. Voir modalités de visite dans le RC.”
Informations complémentaires
Afin de prendre connaissance des contraintes relatives à l'exécution des prestations, les candidats peuvent visiter le site. Voir modalités de visite dans le RC.
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Lieu d'exécution: Nord🏙️
Durée de l'accord: 24 (MONTH)
Le délai ci-dessous est exprimé en nombre de mois.
Informations sur les options
Options ✅
Description des options:
“Tranche optionnelle n°1: Bâti RIE_2
Des PSE sont demandées :
- PSE n°1 (facultative) : Un (1) système de suivi de gravure du type OES
- PSE n°2...”
Description des options
Tranche optionnelle n°1: Bâti RIE_2
Des PSE sont demandées :
- PSE n°1 (facultative) : Un (1) système de suivi de gravure du type OES
- PSE n°2 (facultative) : Deux (2) systèmes de suivi de gravure du type OES
- PSE n°3 (facultative) : Un (1) kit de consommable en spare
- PSE n°4 (facultative) : Deux (2) kits de consommable en spare
Afficher plus Critères d'attribution
Prix ✅
Prix (pondération): 35
Critère de qualité (nom): Valeur technique
Critère de qualité (pondération): 40
Critère de qualité (nom): Délais, installation et formation
Critère de qualité (pondération): 10
Critère de qualité (nom): Garantie, SAV et procédés
Critère de qualité (nom): Valeur environnementale
Critère de qualité (pondération): 5
Titre
Numéro d'identification du lot: LOT-0001
Procédure Type de procédure
Procédure ouverte ✅ Informations administratives
Délai de réception des offres ou des demandes de participation: 2025-03-18 14:00:00 📅
Conditions d'ouverture des offres (Informations sur les personnes autorisées et la procédure d'ouverture):
“L'ouverture des plis n'est pas publique, les candidats ne peuvent pas y assister”
Langues dans lesquelles les offres ou les demandes de participation peuvent être présentées: français 🗣️
Délai minimum pendant lequel le soumissionnaire doit maintenir l'offre: 4
“Marché à tranches. Des PSE facultatives sont demandées.” Organe de révision
Nom: Tribunal administratif de Lille
Numéro d'enregistrement national: 17590003400026
Adresse postale: 5 Rue Geoffroy Saint-Hilaire
Code postal: 59000
Commune postale: Lille
Région: Nord🏙️
Pays: France 🇫🇷
Courrier électronique: greffe.ta-lille@juradm.fr📧
Téléphone: 0359542342📞 Service auprès duquel des informations sur la procédure de recours peuvent être obtenues
Nom: Tribunal administratif de Lille
Numéro d'enregistrement national: 17590003400026
Adresse postale: 5 Rue Geoffroy Saint-Hilaire
Code postal: 59000
Commune postale: Lille
Région: Nord🏙️
Pays: France 🇫🇷
Courrier électronique: greffe.ta-lille@juradm.fr📧
Téléphone: 0359542342📞 Procédure d'examen
Informations précises sur le(s) délai(s) des procédures d'examen:
“Précisions concernant les recours susceptibles d’être introduits à l’encontre de la procédure ou du marché, ainsi que sur les délais d’introduction de ces...”
Informations précises sur le(s) délai(s) des procédures d'examen
Précisions concernant les recours susceptibles d’être introduits à l’encontre de la procédure ou du marché, ainsi que sur les délais d’introduction de ces recours :
• Référé précontractuel prévu aux articles L. 551-1à L. 551-12 du code de justice administrative (CJA), pouvant être introduit depuis le début de la procédure de passation jusqu’à la signature du marché ;
• Référé contractuel prévu aux articles L. 551-13 à L. 551-23 du CJA, pouvant être exercé dans les délais prévus à l'article R. 551-7 du CJA ;
• Recours de pleine juridiction contestant la validité du marché dans un délai de 2 mois à compter de l'accomplissement des mesures de publicité appropriées au sens de la décision Département de Tarn-et-Garonne (CE, Ass., 4 avril 2014, n°358994). Ce recours en contestation de validité peut être assorti d'une demande tendant, sur le fondement de l'article L. 521-1 du code de justice administrative, à la suspension de l'exécution du contrat
Afficher plus Informations sur les flux de travail électroniques
La facturation électronique sera acceptée
Source: OJS 2025/S 032-101185 (2025-02-13)
Avis d'attribution de marché (2025-04-25) Objet Champ d'application du marché
Valeur estimée hors TVA: 750 000 EUR 💰
Valeur totale du marché (hors TVA): 593 000 EUR 💰
Informations sur les fonds de l'Union européenne: ERDF_2021
Attribution du marché
Un contrat/lot est attribué ✅
Numéro d'identification du lot: LOT-0001
Numéro de contrat: 2029817 Acquisition, livraison, installation et mise en service d’un système de gravure ionique réactive à couplage capacitif (RIE - CCP) utilisant des gaz fluorés
Date de conclusion du contrat: 2025-04-24 📅
Informations sur les appels d'offres
Nombre d'offres reçues: 2
Information sur la valeur du contrat/lot (hors TVA)
Valeur totale du contrat/lot: 593 000 EUR 💰
Nom et adresse du contractant
Nom: Pts - puces technologies semiconducteurs
Numéro d'enregistrement national: 39491752000048
Adresse postale: 23 rue Paul Héroult
Code postal: 38190
Commune postale: Villard bonnot
Région: Isère🏙️
Pays: France 🇫🇷
Courrier électronique: pts@pts.fr📧
Téléphone: 0160931100📞
Informations complémentaires Procédure d'examen
Informations précises sur le(s) délai(s) des procédures d'examen:
“Les recours susceptibles d’être introduits à l’encontre de la procédure ou du marché, ainsi que sur les délais d’introduction de ces recours figurent à la...”
Informations précises sur le(s) délai(s) des procédures d'examen
Les recours susceptibles d’être introduits à l’encontre de la procédure ou du marché, ainsi que sur les délais d’introduction de ces recours figurent à la rubrique 5.1.12 de l’AAP (formulaire européen).
La date de signature du marché est le 24.04.2025 et la date de notification du marché au titulaire est le 24.04.2025.
Le présent avis d'attribution correspond à l'accomplissement des mesures de publicité appropriées au sens de la décision Département de Tarn-et-Garonne (CE, Ass., 4 avril 2014, n°358994). Le contrat est consultable dans le respect des secrets protégés par la loi n°78-753 du 17 juillet 1978 codifiée dans le livre III du code des relations entre le public et l'administration, sur place à l'adresse indiquée à la rubrique 1.1, après une demande écrite adressée par courriel ( dr18.liste.poleachats@cnrs.fr) au service financier et comptable de la délégation et uniquement sur prise de rendez-vous du lundi au vendredi de 9:30 à 11:30 et de 14:30 à 16:00, hors jours fériés et jours de fermeture du site.
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Source: OJS 2025/S 082-273583 (2025-04-25)