Fourniture et installation d'un Instrument de métrologie par spectroscopie de photoélectrons X (XPS) pour le contrôle en ligne de l’épaisseur

Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives

Le CEA-Leti désire s’équiper d’un instrument de métrologie par spectroscopie de photoélectrons X (XPS) pour le contrôle en ligne de l’épaisseur, de la composition et des états de liaisons de matériaux déposés en couches minces pour les nœuds technologiques 10 nm et en-deçà. Cet équipement sera installé en salle blanche de classe ISO 4. Il devra permettra la mesure automatisée de structures de tests de dimensions (100*100) µm² sur des plaquettes de silicium de diamètres 300 et 200 mm. Il devra disposer de trois sources de rayons X monochromatiques de manière à couvrir, a minima, une gamme spectrale comprise entre 1.5 keV et 5.4 keV. L’équipement devra respecter les contraintes inhérentes à une utilisation en salle blanche pour la métrologie de procédés FEOL (fiabilité, niveau de contamination, respect des normes SEMI). Le présent marché comporte les options suivantes: Option a chiffrage obligatoire : - Option 1 : Système de connexion compatible avec les cassettes (conteneurs) transportant les wafers sous vide page 4 du cahier des charges - Option 2 : Ultraviolet Photoelectron Spectroscopy (UPS), page 6 du cahier des charges - Option 3 : Inverse Photoelectron spectroscopy (IPES), page 6 du cahier des charges - Option 4 : Reflected Electron Energy Loss Scattering (REELS), page 6 du cahier des charges - Option 5 : Formation maintenance niveau 1, page 40 du cahier des charges - Option 6 : Formation maintenance avancée, page 40 du cahier des charges Options à chiffrage facultatif : - Option 7 : échangeurs de chaleur et systèmes de refroidissement, page 15 du cahier des charges - Option 8 : Transformateur électrique, page 27 du cahier des charges - Option 9 : 2ème année garantie page 40 du cahier des charges - Option 10 : Le prix du transport, assurance comprise, selon les conditions DAP CEA Grenoble (Convention Incoterms ICC 2020)

Date limite

Le délai de réception des offres était de 2024-09-23. L'appel d'offres a été publié le 2024-08-06.

Fournisseurs

Les fournisseurs suivants sont mentionnés dans les décisions d'attribution ou dans d'autres documents relatifs aux marchés publics :

• Specs Surface Nano Analysis GmbH

Qui ?

• Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives

Qu'est-ce que c'est ?

• Machines et appareils microélectroniques et microsystèmes › Machines et appareils microélectroniques

Où ?

• Rhône-Alpes › Isère

Historique des marchés publics

Date	Document
2024-08-06	Avis de marché
2025-05-26	Avis d'attribution de marché

Avis de marché (2024-08-06)
Objet
Champ d'application du marché
Titre: Fourniture et installation d'un Instrument de métrologie par spectroscopie de photoélectrons X (XPS) pour le contrôle en ligne de l’épaisseur
Numéro de référence: B24-01733-SN
Brève description:
“Le CEA-Leti désire s’équiper d’un instrument de métrologie par spectroscopie de photoélectrons X (XPS) pour le contrôle en ligne de l’épaisseur, de la...”

Brève description

Le CEA-Leti désire s’équiper d’un instrument de métrologie par spectroscopie de photoélectrons X (XPS) pour le contrôle en ligne de l’épaisseur, de la composition et des états de liaisons de matériaux déposés en couches minces pour les nœuds technologiques 10 nm et en-deçà. Cet équipement sera installé en salle blanche de classe ISO 4. Il devra permettra la mesure automatisée de structures de tests de dimensions (100*100) µm² sur des plaquettes de silicium de diamètres 300 et 200 mm. Il devra disposer de trois sources de rayons X monochromatiques de manière à couvrir, a minima, une gamme spectrale comprise entre 1.5 keV et 5.4 keV. L’équipement devra respecter les contraintes inhérentes à une utilisation en salle blanche pour la métrologie de procédés FEOL (fiabilité, niveau de contamination, respect des normes SEMI). Le présent marché comporte les options suivantes:
Option a chiffrage obligatoire :
- Option 1 : Système de connexion compatible avec les cassettes (conteneurs) transportant les wafers sous vide page 4 du cahier des charges
- Option 2 : Ultraviolet Photoelectron Spectroscopy (UPS), page 6 du cahier des charges
- Option 3 : Inverse Photoelectron spectroscopy (IPES), page 6 du cahier des charges
- Option 4 : Reflected Electron Energy Loss Scattering (REELS), page 6 du cahier des charges
- Option 5 : Formation maintenance niveau 1, page 40 du cahier des charges
- Option 6 : Formation maintenance avancée, page 40 du cahier des charges
Options à chiffrage facultatif :
- Option 7 : échangeurs de chaleur et systèmes de refroidissement, page 15 du cahier des charges
- Option 8 : Transformateur électrique, page 27 du cahier des charges
- Option 9 : 2ème année garantie page 40 du cahier des charges
- Option 10 : Le prix du transport, assurance comprise, selon les conditions DAP CEA Grenoble (Convention Incoterms ICC 2020)

Type de contrat: Fournitures
Produits/services: Machines et appareils microélectroniques 📦
Description
Description du marché:
“Le CEA-Leti désire s’équiper d’un instrument de métrologie par spectroscopie de photoélectrons X (XPS) pour le contrôle en ligne de l’épaisseur, de la...”
Informations complémentaires:
“Les entreprises nouvellement créées sont autorisées à présenter leur candidature. Si elles ne sont pas en mesure de produire certains des documents demandés...”
Site principal ou lieu d'exécution:
“CEA Grenoble - Conditions d'accès règlementées”
Lieu d'exécution: Isère 🏙️
Durée de l'accord: 12 (MONTH)
Le délai ci-dessous est exprimé en nombre de mois.
Informations sur les variantes
Les variantes sont acceptées ✅
Informations sur les limites du nombre de candidats à inviter
Nombre minimum envisagé: 3
Critères d'attribution
Prix ✅
Titre
Numéro d'identification du lot: LOT-0001

Procédure
Type de procédure
Procédure négociée avec mise en concurrence préalable ✅
Informations administratives
Délai de réception des offres ou des demandes de participation: 2024-09-23 16:00:00 📅
Langues dans lesquelles les offres ou les demandes de participation peuvent être présentées: français 🗣️
Informations sur les négociations
Le pouvoir adjudicateur se réserve le droit d'attribuer le marché sur la base des offres initiales sans mener de négociations ✅
Informations sur la réduction du nombre de solutions ou d'offres au cours de la négociation ou du dialogue
Recours à une procédure par étapes pour réduire progressivement le nombre de solutions à discuter ou d'offres à négocier ✅

Informations juridiques, économiques, financières et techniques
Conditions de participation
Liste et brève description des conditions:
“Liste et description succincte des conditions: Le candidat fournira à l’appui de sa candidature : - le formulaire DC1 (Lettre de candidature et désignation...”
Situation économique et financière
Liste et brève description des critères de sélection:
“- Déclaration concernant le chiffre d'affaires global du candidat et, le cas échéant, le chiffre d'affaires du domaine d'activité faisant l'objet du marché...”
Capacité technique et professionnelle
Liste et brève description des critères de sélection:
“Capacité technique et professionnelle : - Une liste des principales livraisons effectuées ou des principaux services fournis au cours des trois dernières...”

Pouvoir adjudicateur
Nom et adresse
Nom: Commissariat a l'energie atomique et aux energies alternatives
Numéro d'enregistrement national: 77568501900298
Adresse postale: 17 avenue des martyrs
Code postal: 38054
Commune postale: Grenoble
Région: Isère 🏙️
Pays: France 🇫🇷
Courrier électronique: sophie.negre@cea.fr 📧
Téléphone: +33 438786771 📞
Adresse du profil d'acheteur: https://www.marches-publics.gouv.fr 🌏
Type de pouvoir adjudicateur
Organisme de droit public
Activité principale
Enseignement
Communication
URL des documents: https://www.marches-publics.gouv.fr 🌏
URL de participation: https://www.marches-publics.gouv.fr 🌏

Informations complémentaires
Informations complémentaires

“Les entreprises nouvellement créées sont autorisées à présenter leur candidature. Si elles ne sont pas en mesure de produire certains des documents demandés...”

Les entreprises nouvellement créées sont autorisées à présenter leur candidature. Si elles ne sont pas en mesure de produire certains des documents demandés dans le présent avis de marché, elles peuvent justifier de leurs capacités financières et professionnelles par d’autres moyens que ceux indiqués dans le présent avis et notamment par la présentation de titres ou de l’expérience professionnelle du ou de leurs responsables.
Le présent avis et/ou les documents de la consultation doivent être retirés sur https://www.marches-publics.gouv.fr .
Modalités d’obtention du Dossier de Consultation : Pour obtenir le dossier de consultation des entreprises, le candidat devra le télécharger via la plateforme de dématérialisation des procédures de passation des marchés du CEA accessible sur l’URL suivante : https://www.marches-publics.gouv.fr
Le téléchargement du dossier de consultation devra préciser la référence suivante : B24-01733-SN
Modalités de transmission des candidatures : Les candidatures seront transmises via la plateforme de dématérialisation des procédures de passation des marchés du CEA accessible sur l’URL suivante : https://www.marches-publics.gouv.fr.
Il convient de suivre les étapes suivantes qui sont décrites sur le guide d’utilisation en ligne (rubrique Aide) :
1.Se doter d’un certificat électronique répondant aux spécifications indiquées dans les conditions d’utilisation de la plateforme du CEA, rubrique « Certificat électronique»
2.Se connecter à l’adresse suivante https://www.marches-publics.gouv.fr
3.Compléter le formulaire et valider.
Forme juridique que devra revêtir le groupement d’opérateurs économiques attributaire du marché (le cas échéant) En cas de groupement momentané d’entreprises, celui-ci peut être solidaire ou conjoint. Si le groupement est conjoint, le mandataire doit être solidaire de ses cotraitants. Il est interdit de cumuler les candidatures : - en qualité de candidat individuel et de membre d’un ou plusieurs groupements : - en qualité de membre de plusieurs groupements

Organisme responsable des procédures de médiation
Nom: Greffe du tribunal administratif de Grenoble
Numéro d'enregistrement national: 173800053
Adresse postale: 2 place de Verdun BP 1135
Code postal: 38022
Commune postale: Grenoble Cedex
Région: Isère 🏙️
Pays: France 🇫🇷
Courrier électronique: greffe.ta-grenoble@juradm.fr 📧
Téléphone: 0476429000 📞
URL: https://grenoble.tribunaladministratif.fr/ 🌏
Organe de révision
Nom: Greffe du tribunal administratif de Grenoble
Numéro d'enregistrement national: 173800053
Adresse postale: 2 place de Verdun BP 1135
Code postal: 38022
Commune postale: Grenoble Cedex
Région: Isère 🏙️
Pays: France 🇫🇷
Courrier électronique: greffe.ta-grenoble@juradm.fr 📧
Téléphone: 0476429000 📞
URL: https://grenoble.tribunaladministratif.fr/ 🌏
Service auprès duquel des informations sur la procédure de recours peuvent être obtenues
Nom: Greffe du tribunal administratif de Grenoble
Numéro d'enregistrement national: 173800053
Adresse postale: 2 place de Verdun BP 1135
Code postal: 38022
Commune postale: Grenoble Cedex
Région: Isère 🏙️
Pays: France 🇫🇷
Courrier électronique: greffe.ta-grenoble@juradm.fr 📧
Téléphone: 0476429000 📞
URL: https://grenoble.tribunaladministratif.fr/ 🌏
Procédure d'examen
Informations précises sur le(s) délai(s) des procédures d'examen:
“Le référé précontractuel peut être introduit depuis le début de la procédure de passation jusqu’à la signature du marché. Le référé contractuel peut être...”
Informations sur les flux de travail électroniques
La facturation électronique sera acceptée
Source: OJS 2024/S 154-477613 (2024-08-06)

Avis d'attribution de marché (2025-05-26)
Objet
Champ d'application du marché
Valeur totale du marché (hors TVA): 1 EUR 💰

Attribution du marché
Un contrat/lot est attribué ✅
Numéro d'identification du lot: LOT-0001
Numéro de contrat: B24-01733-SN-
Date de conclusion du contrat: 2025-05-22 📅
Informations sur les appels d'offres
Nombre d'offres reçues: 2
Information sur la valeur du contrat/lot (hors TVA)
Valeur totale du contrat/lot: 1 EUR 💰
Nom et adresse du contractant
Nom: SPECS Surface Nano Analysis Gmbh
Numéro d'enregistrement national: HRB 21390
Adresse postale: Voltastrasse 5
Code postal: 13355
Commune postale: Berlin
Région: Berlin 🏙️
Pays: Allemagne 🇩🇪
Courrier électronique: info@specs.com 📧
Source: OJS 2025/S 102-345063 (2025-05-26)

Nouveaux marchés dans des catégories connexes 🆕

Machines, appareils, équipements et consommables électriques; éclairage (>20 nouveaux marchés)

Fournitures électroniques, électromécaniques et électrotechniques (13)

Équipement électronique (8)

Machines et appareils microélectroniques et microsystèmes (7)

Machines et appareils microélectroniques (3)

Circuits intégrés et microassemblages électroniques