Fourniture d’un équipement de recuit millisecondes

CEA/Grenoble

Le CEA-Leti souhaite faire l’acquisition d'un équipement de recuit millisecondes. Cet équipement est destiné à traiter des plaques de 300mm de diamètre et sera utilisé pour la réalisation des étapes de recuits du FEOL et du MOL, nécessaires pour le développement des technologies avancées FDSOI 10nm et au-delà.
Le marché envisagé comprend des options techniques qui sont décrites dans le dossier de consultation.

Date limite

Le délai de réception des offres était de 2024-02-26. L'appel d'offres a été publié le 2024-01-26.

Fournisseurs

Les fournisseurs suivants sont mentionnés dans les décisions d'attribution ou dans d'autres documents relatifs aux marchés publics :

Qui ? Qu'est-ce que c'est ? Où ?
Historique des marchés publics
Date Document
2024-01-26 Avis de marché
2024-09-23 Avis d'attribution de marché
Avis de marché (2024-01-26)
Objet
Champ d'application du marché
Titre: Machines et appareils microélectroniques
Numéro de référence: PN-B23-07297-CMF
Brève description:
Le CEA-Leti souhaite faire l’acquisition d'un équipement de recuit millisecondes. Cet équipement est destiné à traiter des plaques de 300mm de diamètre et sera utilisé pour la réalisation des étapes de recuits du FEOL et du MOL, nécessaires pour le développement des technologies avancées FDSOI 10nm et au-delà. Le marché envisagé comprend des options techniques qui sont décrites dans le dossier de consultation.
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Métadonnées de l'avis
Langue originale: français 🗣️
Type de document: Avis de marché
Nature du marché: Fournitures
Réglementation: Union européenne, avec participation des pays de l'AMP
Vocabulaire commun pour les marchés publics (CPV)
Code: Machines et appareils microélectroniques 📦
Lieu d'exécution
Région NUTS: Isère 🏙️

Procédure
Type de procédure: Procédure concurrentielle avec négociation
Type de soumission: Soumission pour tous les lots
Critères d'attribution
Offre la plus économique

Pouvoir adjudicateur
Identité
Pays: France 🇫🇷
Type de pouvoir adjudicateur: Organisme de droit public
Nom du pouvoir adjudicateur: CEA/Grenoble
Adresse postale: 17 Rue des Martyrs
Code postal: 38054
Commune postale: GRENOBLE CEDEX 9
Contact
Adresse Internet: http://www.cea.fr 🌏
Courrier électronique: claire.moreau-flachat@cea.fr 📧
Téléphone: +33 438789943 📞
Fax: +33 438785060 📠
URL des documents: https://www.marches-publics.gouv.fr 🌏
URL pour la participation: https://www.marches-publics.gouv.fr 🌏

Référence
Dates
Date d'envoi: 2024-01-26 📅
Date limite de soumission: 2024-02-26 📅
Date de publication: 2024-01-31 📅
Identifiants
Numéro d'avis: 2024/S 022-062834
Numéro JO-S: 22
Informations complémentaires
Les entreprises nouvellement créées sont autorisées à présenter leur candidature. Si elles ne sont pas en mesure de produire certains des documents demandés dans le présent avis de marché, elles peuvent justifier de leurs capacités financières et professionnelles par d’autres moyens que ceux indiqués dans le présent avis et notamment par la présentation de titres ou de l’expérience professionnelle du ou de leurs responsables. Le présent avis et/ou les documents de la consultation doivent être retirés sur https://www.marches-publics.gouv.fr . Modalités d’obtention du Dossier de Consultation : Pour obtenir le dossier de consultation des entreprises, le candidat devra le télécharger via la plateforme de dématérialisation des procédures de passation des marchés du CEA accessible sur l’URL suivante : https://www.marches-publics.gouv.fr Le dossier de consultation est téléchargeable en précisant la référence suivante : PN-B23-07297-CMF Modalités de transmission des candidatures : Les candidatures seront transmises via la plateforme de dématérialisation des procédures de passation des marchés du CEA accessible sur l’URL suivante : https://www.marches-publics.gouv.fr. Il convient de suivre les étapes suivantes qui sont décrites sur le guide d’utilisation en ligne (rubrique Aide) : 1.Se doter d’un certificat électronique répondant aux spécifications indiquées dans les conditions d’utilisation de la plateforme du CEA, rubrique « Certificat électronique » 2.Se connecter à l’adresse suivante https://www.marches-publics.gouv.fr 3.Compléter le formulaire et valider. Forme juridique que devra revêtir le groupement d’opérateurs économiques attributaire du marché (le cas échéant) En cas de groupement momentané d’entreprises, celui-ci peut être solidaire ou conjoint. Si le groupement est conjoint, le mandataire doit être solidaire de ses cotraitants. Il est interdit de cumuler les candidatures : - en qualité de candidat individuel et de membre d’un ou plusieurs groupements : - en qualité de membre de plusieurs groupements .
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Objet
Champ d'application du marché
Brève description:
Le CEA-Leti souhaite faire l’acquisition d'un équipement de recuit millisecondes. Cet équipement est destiné à traiter des plaques de 300mm de diamètre et sera utilisé pour la réalisation des étapes de recuits du FEOL et du MOL, nécessaires pour le développement des technologies avancées FDSOI 10nm et au-delà.
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Le marché envisagé comprend des options techniques qui sont décrites dans le dossier de consultation.
Le CEA-Leti souhaite faire l’acquisition d'un (1) équipement de recuit millisecondes. Cet équipement est destiné à traiter des plaques de 300mm de diamètre et sera utilisé pour la réalisation des étapes de recuits du FEOL et du MOL, nécessaires pour le développement des technologies avancées FDSOI 10nm et au-delà. Les prestations fournies avec cet équipement comprennent les prestations associées indissociables, telles que l'installation, la formation, la garantie…).
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Un certain nombre d’options techniques sont décrites dans le dossier de consultation.
Le marché a pour objet la fourniture d’un équipement de recuit millisecondes et des prestations associées, lot unique qui ne peut pas faire l’objet d’un allotissement.
Durée de l'accord: 12 mois
Lieu d'exécution
Site principal ou lieu d'exécution: CEA/Grenoble - Conditions d’accès réglementées

Informations juridiques, économiques, financières et techniques
Conditions de participation
Habilitation à exercer l'activité professionnelle:
Le candidat fournira à l’appui de sa candidature :
- le formulaire DC1 (Lettre de candidature et désignation du mandataire par ses cotraitants) ou équivalent ;
- le formulaire DC2 (Déclaration du candidat individuel ou du membre du groupement), ou équivalent.
Ces formulaires sont disponibles sur le site Internet du Ministère de l'Economie, de l'Industrie et de l'Emploi : http://www.economie.gouv.fr/daj/formulaires-declaration-du-candidat
- la copie du ou des jugements prononcés s’il est en redressement judiciaire ou dans une procédure étrangère équivalente ».
Le candidat peut présenter sa candidature sous la forme d’un document unique de marché européen (DUME), en lieu et place des documents mentionnés à l’article R2143-3 du Code de la commande publique téléchargeable à l’adresse suivante : https://ec.europa.eu/tools/espd/filter?lang=fr »
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Le présent avis et/ou les documents de la consultation doivent être retirés sur https://www.marches-publics.gouv.fr
Il est également possible de s’inscrire sur cette plateforme afin de répondre de façon électronique en suivant les étapes suivantes qui sont décrites sur le guide d’utilisation en ligne (rubrique Aide) :
1. Se doter (pour les procédures formalisées uniquement) d’un certificat électronique répondant aux spécifications indiquées dans les conditions d’utilisation de la plateforme du CEA, rubrique « Certificat électronique »
2. Se connecter à l’adresse suivante : https://www.marches-publics.gouv.fr
3. Compléter le formulaire et valider .

Procédure
Base juridique: 32014L0024
Nombre de candidats envisagé: 3
Critères objectifs de sélection du nombre limité de candidats:
Après examen de la conformité administrative du dossier de candidature, le CEA procédera à l'analyse et à la sélection des candidatures conformément aux critères de jugement des candidatures suivants :
• Capacité technique :
o Références (pertinence et adéquation avec l’objet du marché) : 70%;
o Aptitude technique (moyens humains et matériels), organisation en matière d’assurance qualité: 20%;
• Capacité économique et financière : 10%.
Heure limite de réception des offres: 12:00
Langues dans lesquelles les offres ou les demandes de participation peuvent être présentées: anglais 🗣️
français 🗣️
Période de validité de l'offre: 6 mois
Critères d'attribution
Critère de qualité (nom): Performance technique de l’offre pour atteindre les spécifications du Procédé 2 « Dopant activation on blanket wafer », décrit en page 5 du cahier des charges.
Critère de qualité (pondération): 12
Critère de qualité (nom): Performance technique de l’offre pour atteindre les spécifications du Procédé 3 « Ni silicidation », décrit en page 5 du cahier des charges
Critère de qualité (pondération): 5
Critère de qualité (nom): Performance technique de l’offre pour atteindre les spécifications du Procédé 6 « Multi-condition process capability», décrit en page 6 du cahier des charges.
Critère de qualité (pondération): 3
Critère de qualité (nom): Performance technique de l’offre pour atteindre les spécifications des autres procédés (Procédé 1 « Platform. Cold handling to control the equipment environment », Procédé 4 « Forming gas anneal on blanket wafer » et Procédé 5) « O2 anneal on blanket wafer », décrit en pages 5 et 6 du cahier des charges.
Qualité de la configuration matérielle et de la capacité hardware
Critère de qualité (pondération): 30
Prix (pondération): 45

Pouvoir adjudicateur
Contact
Adresse Internet: www.cea.fr 🌏
Adresse du profil d'acheteur: https://www.marches-publics.gouv.fr 🌏
URL des documents: https://www.marches-publics.gouv.fr 🌏

Référence
Informations complémentaires
Les entreprises nouvellement créées sont autorisées à présenter leur candidature. Si elles ne sont pas en mesure de produire certains des documents demandés dans le présent avis de marché, elles peuvent justifier de leurs capacités financières et professionnelles par d’autres moyens que ceux indiqués dans le présent avis et notamment par la présentation de titres ou de l’expérience professionnelle du ou de leurs responsables.
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Le présent avis et/ou les documents de la consultation doivent être retirés sur https://www.marches-publics.gouv.fr .
Modalités d’obtention du Dossier de Consultation :
Pour obtenir le dossier de consultation des entreprises, le candidat devra le télécharger via la plateforme de dématérialisation des procédures de passation des marchés du CEA accessible sur l’URL suivante : https://www.marches-publics.gouv.fr
Le dossier de consultation est téléchargeable en précisant la référence suivante : PN-B23-07297-CMF
Modalités de transmission des candidatures :
Les candidatures seront transmises via la plateforme de dématérialisation des procédures de passation des marchés du CEA accessible sur l’URL suivante : https://www.marches-publics.gouv.fr. Il convient de suivre les étapes suivantes qui sont décrites sur le guide d’utilisation en ligne (rubrique Aide) :
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1.Se doter d’un certificat électronique répondant aux spécifications indiquées dans les conditions d’utilisation de la plateforme du CEA, rubrique « Certificat électronique »
2.Se connecter à l’adresse suivante https://www.marches-publics.gouv.fr
3.Compléter le formulaire et valider.
Forme juridique que devra revêtir le groupement d’opérateurs économiques attributaire du marché (le cas échéant)
En cas de groupement momentané d’entreprises, celui-ci peut être solidaire ou conjoint.
Si le groupement est conjoint, le mandataire doit être solidaire de ses cotraitants.
Il est interdit de cumuler les candidatures :
- en qualité de candidat individuel et de membre d’un ou plusieurs groupements :
- en qualité de membre de plusieurs groupements .

Informations complémentaires
Organe de révision
Nom: Tribunal administratif de grenoble
Adresse postale: 2 Place de Verdun
Commune postale: Grenoble
Code postal: 38000
Pays: France 🇫🇷
Téléphone: +33 476429000 📞
Courrier électronique: ta-grenoble@juradm.fr 📧
Fax: +33 476422269 📠
Adresse Internet: http://grenoble.tribunal-administratif.fr/ 🌏
Service auprès duquel des informations sur la procédure de recours peuvent être obtenues
Identique à : Organe de révision
Source: OJS 2024/S 022-062834 (2024-01-26)
Avis d'attribution de marché (2024-09-23)
Objet
Champ d'application du marché
Titre: Fourniture d’un équipement de recuit millisecondes
Numéro de référence: PN-B23-07297-CMF
Brève description:
Le CEA-Leti souhaite faire l’acquisition d'un équipement de recuit millisecondes. Cet équipement est destiné à traiter des plaques de 300mm de diamètre et sera utilisé pour la réalisation des étapes de recuits du FEOL et du MOL, nécessaires pour le développement des technologies avancées FDSOI 10nm et au-delà. Le marché envisagé comprend des options techniques qui sont décrites dans le dossier de consultation.
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Type de contrat: Fournitures
Produits/services: Machines et appareils microélectroniques 📦
Valeur totale du marché (hors TVA): 1 EUR 💰
Description
Description du marché:
Fourniture d’un équipement de recuit millisecondes pour le compte du CEA Grenoble. Le marché a pour objet la fourniture d’un équipement de recuit millisecondes et des prestations associées, lot unique qui ne peut pas faire l’objet d’un allotissement.
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Informations complémentaires:
Nom du projet européen : FAMES Pilot Line. Modalités de consultation du marché : un exemplaire du marché est disponible auprès du CEA dont les coordonnées sont précisées à la section I du présent avis. La consultation s’effectue dans le respect des secrets protégés par la loi. Les cases relatives au montant du marché ont été complétées au 5.1.10 et 6.1.2 par la valeur "1,00" uniquement pour pouvoir valider et publier l'avis d'attribution. Les valeurs indiquées dans ces champs ne sont donc pas à prendre en compte.
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Pays: France 🇫🇷
Lieu d'exécution: Isère 🏙️
Durée de l'accord: 12 mois
Critères d'attribution
Critère de qualité (nom): Performance technique de l’offre pour atteindre les spécifications du Procédé 2 « Dopant activation on blanket wafer », décrit en page 5 du cahier des charges.
Critère de qualité (pondération): -1
Critère de qualité (nom): Performance technique de l’offre pour atteindre les spécifications du Procédé 3 « Ni silicidation », décrit en page 5 du cahier des charges
Performance technique de l’offre pour atteindre les spécifications du Procédé 6 « Multi-condition process capability», décrit en page 6 du cahier des charges.
Performance technique de l’offre pour atteindre les spécifications des autres procédés (Procédé 1 « Platform. Cold handling to control the equipment environment », Procédé 4 « Forming gas anneal on blanket wafer » et Procédé 5) « O2 anneal on blanket wafer », décrit en pages 5 et 6 du cahier des charges.
Qualité de la configuration matérielle et de la capacité hardware
Prix ✅
Prix (pondération): -1
Titre
Numéro d'identification du lot: LOT-0000
Description
Site principal ou lieu d'exécution: CEA/Grenoble - Conditions d'accès réglementées

Procédure
Type de procédure
Procédure négociée avec mise en concurrence préalable ✅
Base juridique: Directive 2014/24/UE
Critères d'attribution
Type de pondération: Pondération (pourcentage, valeur exacte)

Attribution du marché
Un contrat/lot est attribué ✅
Numéro d'identification du lot: LOT-0000
Numéro de contrat: PN-B23-07297-CMF
Date de conclusion du contrat: 2024-09-16 📅
Informations sur les appels d'offres
Nombre d'offres reçues: 1
Information sur la valeur du contrat/lot (hors TVA)
Valeur totale du contrat/lot: 1 EUR 💰
Rang de classement du candidat/lauréat: 1
Identifiant de l’offre: VEECO GmbH
Identifiant du lot ou groupe de lots: LOT-0000
Informations sur les appels d'offres
Nom de la partie soumissionnaire: VEECO GmbH
Nom et adresse du contractant
Nom: VEECO GmbH
Numéro d'enregistrement national: 238239
Adresse postale: Einsteinring 22, D-85609 Aschheim, Germany
Code postal: D-85609
Commune postale: Aschheim
Région: München, Landkreis 🏙️
Pays: Allemagne 🇩🇪

Pouvoir adjudicateur
Nom et adresse
Nom: CEA/Grenoble
Numéro d'enregistrement national: 775 685 019
Département: Isère
Adresse postale: 17 Rue des Martyrs
Code postal: 38054
Commune postale: GRENOBLE CEDEX 9
Région: Isère 🏙️
Pays: France 🇫🇷
Courrier électronique: claire.moreau-flachat@cea.fr 📧
Téléphone: +33 438789943 📞
Fax: +33 438785060 📠
URL: www.cea.fr 🌏
Adresse du profil d'acheteur: https://www.marches-publics.gouv.fr 🌏
Type de pouvoir adjudicateur
Organisme de droit public
Activité principale
Enseignement

Informations complémentaires
Organe de révision
Numéro d'enregistrement national: 173800053
Département: Isère
Région: Isère 🏙️
URL: http://grenoble.tribunal-administratif.fr/ 🌏
Service auprès duquel des informations sur la procédure de recours peuvent être obtenues
Identique à : Organe de révision
Procédure d'examen
Informations précises sur le(s) délai(s) des procédures d'examen:
Le référé précontractuel peut être introduit depuis le début de la procédure de passation jusqu’à la signature du marché. Le référé contractuel peut être introduit dans les conditions des articles L.551-13 et suivants du Code de justice administrative. Le recours en contestation de la validité du marché par un tiers peut être intenté dans un délai de deux mois à compter des mesures de publicité appropriées.
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Source: OJS 2024/S 187-575351 (2024-09-23)
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Région:
France Auvergne-Rhône-Alpes Rhône-Alpes Isère
Produits/services:
Machines, appareils, équipements et... Fournitures électroniques,... Équipement électronique Machines et appareils microélectroniques... Machines et appareils microélectroniques