Fourniture d’un équipement de recuit millisecondes
CEA/Grenoble
Le CEA-Leti souhaite faire l’acquisition d'un équipement de recuit millisecondes. Cet équipement est destiné à traiter des plaques de 300mm de diamètre et sera utilisé pour la réalisation des étapes de recuits du FEOL et du MOL, nécessaires pour le développement des technologies avancées FDSOI 10nm et au-delà.
Le marché envisagé comprend des options techniques qui sont décrites dans le dossier de consultation.
Le délai de réception des offres était de 2024-02-26. L'appel d'offres a été publié le 2024-01-26.
FournisseursLes fournisseurs suivants sont mentionnés dans les décisions d'attribution ou dans d'autres documents relatifs aux marchés publics :
Qui ? Qu'est-ce que c'est ?- • Machines et appareils microélectroniques et microsystèmes › Machines et appareils microélectroniques
- • Rhône-Alpes › Isère
Historique des marchés publics
| Date | Document |
|---|---|
| 2024-01-26 | Avis de marché |
| 2024-09-23 | Avis d'attribution de marché |
Avis de marché (2024-01-26)
Objet
Champ d'application du marché
Titre: Machines et appareils microélectroniques
Numéro de référence: PN-B23-07297-CMF
Brève description:
“Le CEA-Leti souhaite faire l’acquisition d'un équipement de recuit millisecondes. Cet équipement est destiné à traiter des plaques de 300mm de diamètre et...”
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Métadonnées de l'avis
Langue originale: français 🗣️
Type de document: Avis de marché
Nature du marché: Fournitures
Réglementation: Union européenne, avec participation des pays de l'AMP
Vocabulaire commun pour les marchés publics (CPV)
Code: Machines et appareils microélectroniques 📦
Lieu d'exécution
Région NUTS: Isère 🏙️
Procédure
Type de procédure: Procédure concurrentielle avec négociation
Type de soumission: Soumission pour tous les lots
Critères d'attribution
Offre la plus économique
Pouvoir adjudicateur
Identité
Pays: France 🇫🇷
Type de pouvoir adjudicateur: Organisme de droit public
Nom du pouvoir adjudicateur: CEA/Grenoble
Adresse postale: 17 Rue des Martyrs
Code postal: 38054
Commune postale: GRENOBLE CEDEX 9
Contact
Adresse Internet: http://www.cea.fr 🌏
Courrier électronique: claire.moreau-flachat@cea.fr 📧
Téléphone: +33 438789943 📞
Fax: +33 438785060 📠
URL des documents: https://www.marches-publics.gouv.fr 🌏
URL pour la participation: https://www.marches-publics.gouv.fr 🌏
Référence
Dates
Date d'envoi: 2024-01-26 📅
Date limite de soumission: 2024-02-26 📅
Date de publication: 2024-01-31 📅
Identifiants
Numéro d'avis: 2024/S 022-062834
Numéro JO-S: 22
Informations complémentaires
“Les entreprises nouvellement créées sont autorisées à présenter leur candidature. Si elles ne sont pas en mesure de produire certains des documents...”
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Source: OJS 2024/S 022-062834 (2024-01-26)
Objet
Champ d'application du marché
Titre: Machines et appareils microélectroniques
Numéro de référence: PN-B23-07297-CMF
Brève description:
“Le CEA-Leti souhaite faire l’acquisition d'un équipement de recuit millisecondes. Cet équipement est destiné à traiter des plaques de 300mm de diamètre et...”
Métadonnées de l'avis
Langue originale: français 🗣️
Type de document: Avis de marché
Nature du marché: Fournitures
Réglementation: Union européenne, avec participation des pays de l'AMP
Vocabulaire commun pour les marchés publics (CPV)
Code: Machines et appareils microélectroniques 📦
Lieu d'exécution
Région NUTS: Isère 🏙️
Procédure
Type de procédure: Procédure concurrentielle avec négociation
Type de soumission: Soumission pour tous les lots
Critères d'attribution
Offre la plus économique
Pouvoir adjudicateur
Identité
Pays: France 🇫🇷
Type de pouvoir adjudicateur: Organisme de droit public
Nom du pouvoir adjudicateur: CEA/Grenoble
Adresse postale: 17 Rue des Martyrs
Code postal: 38054
Commune postale: GRENOBLE CEDEX 9
Contact
Adresse Internet: http://www.cea.fr 🌏
Courrier électronique: claire.moreau-flachat@cea.fr 📧
Téléphone: +33 438789943 📞
Fax: +33 438785060 📠
URL des documents: https://www.marches-publics.gouv.fr 🌏
URL pour la participation: https://www.marches-publics.gouv.fr 🌏
Référence
Dates
Date d'envoi: 2024-01-26 📅
Date limite de soumission: 2024-02-26 📅
Date de publication: 2024-01-31 📅
Identifiants
Numéro d'avis: 2024/S 022-062834
Numéro JO-S: 22
Informations complémentaires
“Les entreprises nouvellement créées sont autorisées à présenter leur candidature. Si elles ne sont pas en mesure de produire certains des documents...”
Source: OJS 2024/S 022-062834 (2024-01-26)
Avis d'attribution de marché (2024-09-23)
Objet
Champ d'application du marché
Titre: Fourniture d’un équipement de recuit millisecondes
Brève description:
“Le CEA-Leti souhaite faire l’acquisition d'un équipement de recuit millisecondes. Cet équipement est destiné à traiter des plaques de 300mm de diamètre et...”
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Type de contrat: Fournitures
Produits/services: Machines et appareils microélectroniques 📦
Valeur totale du marché (hors TVA): 1 EUR 💰
Description
Description du marché:
“Fourniture d’un équipement de recuit millisecondes pour le compte du CEA Grenoble. Le marché a pour objet la fourniture d’un équipement de recuit...”
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Informations complémentaires:
“Nom du projet européen : FAMES Pilot Line. Modalités de consultation du marché : un exemplaire du marché est disponible auprès du CEA dont les coordonnées...”
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Type de contrat: Fournitures
Produits/services: Machines et appareils microélectroniques 📦
Pays: France 🇫🇷
Lieu d'exécution: Isère 🏙️
Durée de l'accord: 12 (MONTH)
Le délai ci-dessous est exprimé en nombre de mois.
Critères d'attribution
Critère de qualité (nom): Performance technique de l’offre pour atteindre les spécifications du Procédé 2 « Dopant activation on blanket wafer », décrit en page 5 du cahier des charges.
Critère de qualité (pondération): -1
Critère de qualité (nom): Performance technique de l’offre pour atteindre les spécifications du Procédé 3 « Ni silicidation », décrit en page 5 du cahier des charges
Performance technique de l’offre pour atteindre les spécifications du Procédé 6 « Multi-condition process capability», décrit en page 6 du cahier des charges.
Performance technique de l’offre pour atteindre les spécifications des autres procédés (Procédé 1 « Platform. Cold handling to control the equipment environment », Procédé 4 « Forming gas anneal on blanket wafer » et Procédé 5) « O2 anneal on blanket wafer », décrit en pages 5 et 6 du cahier des charges.
Qualité de la configuration matérielle et de la capacité hardware
Prix ✅
Prix (pondération): -1
Titre
Numéro d'identification du lot: LOT-0000
Description
Site principal ou lieu d'exécution:
“CEA/Grenoble - Conditions d'accès réglementées”
Procédure
Type de procédure
Procédure négociée avec mise en concurrence préalable ✅
Base juridique: Directive 2014/24/UE
Critères d'attribution
Type de pondération: Pondération (pourcentage, valeur exacte)
Attribution du marché
Un contrat/lot est attribué ✅
Numéro d'identification du lot: LOT-0000
Numéro de contrat: PN-B23-07297-CMF
Date de conclusion du contrat: 2024-09-16 📅
Informations sur les appels d'offres
Nombre d'offres reçues: 1
Information sur la valeur du contrat/lot (hors TVA)
Valeur totale du contrat/lot: 1 EUR 💰
Rang de classement du candidat/lauréat: 1
Identifiant de l’offre: VEECO GmbH
Identifiant du lot ou groupe de lots: LOT-0000
Informations sur les appels d'offres
Nom de la partie soumissionnaire: VEECO GmbH
Nom et adresse du contractant
Nom: VEECO GmbH
Numéro d'enregistrement national: 238239
Adresse postale: Einsteinring 22, D-85609 Aschheim, Germany
Code postal: D-85609
Commune postale: Aschheim
Région: München, Landkreis 🏙️
Pays: Allemagne 🇩🇪
Pouvoir adjudicateur
Nom et adresse
Nom: CEA/Grenoble
Numéro d'enregistrement national: 775 685 019
Département: Isère
Adresse postale: 17 Rue des Martyrs
Code postal: 38054
Commune postale: GRENOBLE CEDEX 9
Région: Isère 🏙️
Pays: France 🇫🇷
Courrier électronique: claire.moreau-flachat@cea.fr 📧
Téléphone: +33 438789943 📞
Fax: +33 438785060 📠
URL: www.cea.fr 🌏
Adresse du profil d'acheteur: https://www.marches-publics.gouv.fr 🌏
Type de pouvoir adjudicateur
Organisme de droit public
Activité principale
Enseignement
Informations complémentaires
Organe de révision
Nom: Tribunal administratif de grenoble
Numéro d'enregistrement national: 173800053
Département: Isère
Adresse postale: 2 Place de Verdun
Code postal: 38000
Commune postale: Grenoble
Région: Isère 🏙️
Pays: France 🇫🇷
Courrier électronique: ta-grenoble@juradm.fr 📧
Téléphone: +33 476429000 📞
Fax: +33 476422269 📠
URL: http://grenoble.tribunal-administratif.fr/ 🌏
Service auprès duquel des informations sur la procédure de recours peuvent être obtenues
Nom: Tribunal administratif de grenoble
Numéro d'enregistrement national: 173800053
Département: Isère
Adresse postale: 2 Place de Verdun
Code postal: 38000
Commune postale: Grenoble
Région: Isère 🏙️
Pays: France 🇫🇷
Courrier électronique: ta-grenoble@juradm.fr 📧
Téléphone: +33 476429000 📞
Fax: +33 476422269 📠
URL: http://grenoble.tribunal-administratif.fr/ 🌏
Procédure d'examen
Informations précises sur le(s) délai(s) des procédures d'examen:
“Le référé précontractuel peut être introduit depuis le début de la procédure de passation jusqu’à la signature du marché. Le référé contractuel peut être...”
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Source: OJS 2024/S 187-575351 (2024-09-23)
Objet
Champ d'application du marché
Titre: Fourniture d’un équipement de recuit millisecondes
Brève description:
“Le CEA-Leti souhaite faire l’acquisition d'un équipement de recuit millisecondes. Cet équipement est destiné à traiter des plaques de 300mm de diamètre et...”
Type de contrat: Fournitures
Produits/services: Machines et appareils microélectroniques 📦
Valeur totale du marché (hors TVA): 1 EUR 💰
Description
Description du marché:
“Fourniture d’un équipement de recuit millisecondes pour le compte du CEA Grenoble. Le marché a pour objet la fourniture d’un équipement de recuit...”
Informations complémentaires:
“Nom du projet européen : FAMES Pilot Line. Modalités de consultation du marché : un exemplaire du marché est disponible auprès du CEA dont les coordonnées...”
Type de contrat: Fournitures
Produits/services: Machines et appareils microélectroniques 📦
Pays: France 🇫🇷
Lieu d'exécution: Isère 🏙️
Durée de l'accord: 12 (MONTH)
Le délai ci-dessous est exprimé en nombre de mois.
Critères d'attribution
Critère de qualité (nom): Performance technique de l’offre pour atteindre les spécifications du Procédé 2 « Dopant activation on blanket wafer », décrit en page 5 du cahier des charges.
Critère de qualité (pondération): -1
Critère de qualité (nom): Performance technique de l’offre pour atteindre les spécifications du Procédé 3 « Ni silicidation », décrit en page 5 du cahier des charges
Performance technique de l’offre pour atteindre les spécifications du Procédé 6 « Multi-condition process capability», décrit en page 6 du cahier des charges.
Performance technique de l’offre pour atteindre les spécifications des autres procédés (Procédé 1 « Platform. Cold handling to control the equipment environment », Procédé 4 « Forming gas anneal on blanket wafer » et Procédé 5) « O2 anneal on blanket wafer », décrit en pages 5 et 6 du cahier des charges.
Qualité de la configuration matérielle et de la capacité hardware
Prix ✅
Prix (pondération): -1
Titre
Numéro d'identification du lot: LOT-0000
Description
Site principal ou lieu d'exécution:
“CEA/Grenoble - Conditions d'accès réglementées”
Procédure
Type de procédure
Procédure négociée avec mise en concurrence préalable ✅
Base juridique: Directive 2014/24/UE
Critères d'attribution
Type de pondération: Pondération (pourcentage, valeur exacte)
Attribution du marché
Un contrat/lot est attribué ✅
Numéro d'identification du lot: LOT-0000
Numéro de contrat: PN-B23-07297-CMF
Date de conclusion du contrat: 2024-09-16 📅
Informations sur les appels d'offres
Nombre d'offres reçues: 1
Information sur la valeur du contrat/lot (hors TVA)
Valeur totale du contrat/lot: 1 EUR 💰
Rang de classement du candidat/lauréat: 1
Identifiant de l’offre: VEECO GmbH
Identifiant du lot ou groupe de lots: LOT-0000
Informations sur les appels d'offres
Nom de la partie soumissionnaire: VEECO GmbH
Nom et adresse du contractant
Nom: VEECO GmbH
Numéro d'enregistrement national: 238239
Adresse postale: Einsteinring 22, D-85609 Aschheim, Germany
Code postal: D-85609
Commune postale: Aschheim
Région: München, Landkreis 🏙️
Pays: Allemagne 🇩🇪
Pouvoir adjudicateur
Nom et adresse
Nom: CEA/Grenoble
Numéro d'enregistrement national: 775 685 019
Département: Isère
Adresse postale: 17 Rue des Martyrs
Code postal: 38054
Commune postale: GRENOBLE CEDEX 9
Région: Isère 🏙️
Pays: France 🇫🇷
Courrier électronique: claire.moreau-flachat@cea.fr 📧
Téléphone: +33 438789943 📞
Fax: +33 438785060 📠
URL: www.cea.fr 🌏
Adresse du profil d'acheteur: https://www.marches-publics.gouv.fr 🌏
Type de pouvoir adjudicateur
Organisme de droit public
Activité principale
Enseignement
Informations complémentaires
Organe de révision
Nom: Tribunal administratif de grenoble
Numéro d'enregistrement national: 173800053
Département: Isère
Adresse postale: 2 Place de Verdun
Code postal: 38000
Commune postale: Grenoble
Région: Isère 🏙️
Pays: France 🇫🇷
Courrier électronique: ta-grenoble@juradm.fr 📧
Téléphone: +33 476429000 📞
Fax: +33 476422269 📠
URL: http://grenoble.tribunal-administratif.fr/ 🌏
Service auprès duquel des informations sur la procédure de recours peuvent être obtenues
Nom: Tribunal administratif de grenoble
Numéro d'enregistrement national: 173800053
Département: Isère
Adresse postale: 2 Place de Verdun
Code postal: 38000
Commune postale: Grenoble
Région: Isère 🏙️
Pays: France 🇫🇷
Courrier électronique: ta-grenoble@juradm.fr 📧
Téléphone: +33 476429000 📞
Fax: +33 476422269 📠
URL: http://grenoble.tribunal-administratif.fr/ 🌏
Procédure d'examen
Informations précises sur le(s) délai(s) des procédures d'examen:
“Le référé précontractuel peut être introduit depuis le début de la procédure de passation jusqu’à la signature du marché. Le référé contractuel peut être...”
Source: OJS 2024/S 187-575351 (2024-09-23)
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