Fourniture d’un équipement de polissage mécano-chimique avec modules de nettoyage et séchage intégrés

CEA Grenoble

Le CEA-Leti souhaite faire l’acquisition d’un équipement de polissage mécano-chimique avec modules de nettoyage et séchage intégrés. L’équipement vise des applications sans contamination métallique pour être utilisé en début de chaine de fabrication des puces. Les matériaux concernés par ce type de polissage sont l’oxyde de silicium, le nitrure et une nouvelle génération de matériaux. Cet équipement sera installé dans la salle blanche du CEA. Il est destiné à traiter des plaques 300mm pour le développement des technologies avancées FDSOI 7 nm et au-delà. Les options suivantes* sont susceptibles d’être affermies dès la notification du marché : • Options* avec chiffrage obligatoire : o Option n°1 : Capacité de purge azote des Foups (page 16 du cahier des charges) o Option n°2 : Formation maintenance niveau 1 pour deux personnes o Option n°3 : Formation maintenance avancée pour deux personnes • Options* avec chiffrage facultatif : o Option n°4 : Echangeurs de chaleur et systèmes de refroidissement o Option n°5 : Transformateur électrique o Option n°6 : Deuxième année de garantie o Option n°7 : Le transport, assurance comprise, selon les conditions DAP CEA Grenoble (Convention Incoterms ICC 2020)

Date limite

Le délai de réception des offres était de 2024-09-23. L'appel d'offres a été publié le 2024-08-07.

Fournisseurs

Les fournisseurs suivants sont mentionnés dans les décisions d'attribution ou dans d'autres documents relatifs aux marchés publics :

• Applied Materials South East Asia Pte Ltd

Qui ?

• CEA Grenoble

Qu'est-ce que c'est ?

• Machines et appareils microélectroniques et microsystèmes › Machines et appareils microélectroniques

Où ?

• Rhône-Alpes › Isère

Historique des marchés publics

Date	Document
2024-08-07	Avis de marché
2025-07-28	Avis d'attribution de marché

Avis de marché (2024-08-07)
Objet
Champ d'application du marché
Titre: Fourniture d’un équipement de polissage mécano-chimique avec modules de nettoyage et séchage intégrés
Numéro de référence: B24-01773-AT
Brève description:

Type de contrat: Fournitures
Produits/services: Machines et appareils microélectroniques 📦
Description
Identifiant interne: B24-01773-AT
Informations complémentaires: La durée de 12 mois est une durée donnée à titre indicatif.
Durée de l'accord: 12 mois
Informations sur les variantes
Les variantes sont acceptées ✅
Informations sur les limites du nombre de candidats à inviter
Nombre minimum envisagé: 3
Critères d'attribution
Prix ✅
Titre
Numéro d'identification du lot: LOT-0001

Procédure
Type de procédure
Procédure négociée avec mise en concurrence préalable ✅
Base juridique: Directive 2014/24/UE
Informations administratives
Délai de réception des offres ou des demandes de participation: 2024-09-23 16:00:00 📅
Langues dans lesquelles les offres ou les demandes de participation peuvent être présentées: français 🗣️
anglais 🗣️
Informations sur les négociations
Le pouvoir adjudicateur se réserve le droit d'attribuer le marché sur la base des offres initiales sans mener de négociations ✅
Informations sur la réduction du nombre de solutions ou d'offres au cours de la négociation ou du dialogue
Recours à une procédure par étapes pour réduire progressivement le nombre de solutions à discuter ou d'offres à négocier ✅
Conditions de passation du marché
Facturation électronique: Autorisée
Les commandes électroniques seront utilisées ✅
Le paiement électronique sera utilisé ✅

Informations juridiques, économiques, financières et techniques
Situation économique et financière
Liste et brève description des critères de sélection:

- Déclaration concernant le chiffre d'affaires global du candidat et, le cas échéant, le chiffre d'affaires du domaine d'activité faisant l'objet du marché public, portant au maximum sur les trois derniers exercices disponibles en fonction de la date de création de l'entreprise ou du début d'activité de l'opérateur économique, dans la mesure où les informations sur ces chiffres d'affaires sont disponibles ; - Déclarations appropriées de banques ou, le cas échéant, preuve d'une assurance des risques professionnels pertinents ; Si, pour une raison justifiée, l'opérateur économique n'est pas en mesure de produire les renseignements et documents demandés, il est autorisé à prouver sa capacité économique et financière par tout autre moyen.

Capacité technique et professionnelle

- Une liste des principales livraisons effectuées ou des principaux services fournis au cours des trois dernières années, indiquant le montant, la date et le destinataire public ou privé. Les livraisons et les prestations de services sont prouvées par des attestations du destinataire ou, à défaut, par une déclaration de l'opérateur économique ; - Des descriptions ou photographies des fournitures ;

Conditions de participation
Liste et brève description des conditions:

- le formulaire DC1 (Lettre de candidature et habilitation du mandataire par ses cotraitants) ou une lettre de candidature signée par une personne habilitée à engager le candidat ou habilitant le mandataire d’un groupement à représenter le groupement accompagnée d'une attestation sur l'honneur contenant l'ensemble des informations demandées à la page 3 de ce formulaire. - le formulaire DC2 (Déclaration du candidat individuel ou du membre du groupement) ou équivalent. Ces formulaires sont disponibles sur le site Internet suivant : http://www.economie.gouv.fr/daj/formulaires-marches-publics ou un document unique de marché européen (DUME) disponible sur https://ec.europa.eu/tools/espd/filter?lang=fr - lorsqu’il appartient à un groupe, une attestation certifiant de son autonomie commerciale et de sa situation de concurrence vis à vis des autres entreprises du groupe. Les documents suivants seront à produire par les candidats sélectionnés avant l’envoi de l’invitation à soumissionner par le CEA et dans le délai fixé par ce dernier : - attestations et certificats délivrés par les administrations et organismes compétents prouvant que le candidat a satisfait à ses obligations fiscales et sociales ou documents équivalents en cas de candidat étrangers, datant de moins de six mois.

Motif d'exclusion: Motifs d’exclusion purement nationaux
Description des motifs d'exclusion:

Les cas d’exclusion de la procédure sont prévus aux articles L. 21411 à L. 21415 et aux articles L. 21417 à L. 214110 du code de la commande publique.

Pouvoir adjudicateur
Nom et adresse
Nom: CEA Grenoble
Numéro d'enregistrement national: 775 685 019 00298
Adresse postale: 17 rue des Martyrs
Code postal: 38054
Commune postale: Grenoble
Région: Isère 🏙️
Pays: France 🇫🇷
Point de contact: M. Anguéran Thirion
Courrier électronique: angueran.thirion@cea.fr 📧
Téléphone: 0659450565 📞
Adresse du profil d'acheteur: https://www.marches-publics.gouv.fr 🌏
Type de pouvoir adjudicateur
Organisme de droit public
Activité principale
Enseignement
Communication
URL des documents: https://www.marchespublics.gouv.fr 🌏
URL de participation: https://www.marchespublics.gouv.fr 🌏
Identifiant des fonds de l’UE: Fames - pilot line
Les critères seront appliqués pour sélectionner les candidats à inviter pour la seconde étape de la procédure ✅
Soumission par voie électronique: Autorisée

Informations complémentaires
Informations complémentaires

« Présentation des candidatures : Le candidat fournira à l’appui de sa candidature : le formulaire DC1 (Lettre de candidature et désignation du mandataire par ses cotraitants) ou équivalent ; le formulaire DC2 (Déclaration du candidat individuel ou du membre du groupement), ou équivalent. Ces formulaires sont disponibles sur le site Internet du Ministère de l'Economie, de l'Industrie et de l'Emploi : http://www.economie.gouv.fr/daj/formulairesdeclarationducandidat la copie du ou des jugements prononcés s’il est en redressement judiciaire ou dans une procédure étrangère équivalente ». Le candidat peut présenter sa candidature sous la forme d’un document unique de marché européen (DUME), en lieu et place des documents mentionnés à l’article R.21433 du code de la commande publique téléchargeable à l’adresse suivante : https://ec.europa.eu/tools/espd/filter?lang=fr. 7/39 Il est interdit de cumuler les candidatures : en tant que candidat individuel et membre d’un ou plusieurs groupements y compris en tant que mandataire ; en tant que membre d’un groupement et mandataire d’un autre. Les entreprises nouvellement créées sont autorisées à présenter leur candidature. Si elles ne sont pas en mesure de produire certains des documents demandés dans le présent avis de marché, elles peuvent justifier de leurs capacités financières et professionnelles par d’autres moyens que ceux indiqués dans le présent avis et notamment par la présentation de titres ou de l’expérience professionnelle du ou de leurs responsables ».

Organe de révision
Nom: Greffe Tribunal administratif de Grenoble
Numéro d'enregistrement national: 173800053
Adresse postale: 2 Place de Verdun Boîte Postale 1135
Code postal: 38022
Commune postale: Grenoble Cedex
Région: Isère 🏙️
Pays: France 🇫🇷
Courrier électronique: greffe.ta-grenoble@juradm.fr 📧
Téléphone: +33 476429000 📞
URL: https://grenoble.tribunaladministratif.fr/ 🌏
Procédure d'examen
Informations précises sur le(s) délai(s) des procédures d'examen:

Le référé précontractuel peut être introduit depuis le début de la procédure de passation jusqu’à la signature du marché. Le référé contractuel peut être introduit dans les conditions des articles L.55113 et suivants du Code de justice administrative. Le recours en contestation de la validité du marché par un tiers peut être intenté dans un délai de deux mois à compter des mesures de publicité appropriées.

Informations sur les flux de travail électroniques
La facturation électronique sera acceptée
Source: OJS 2024/S 154-479572 (2024-08-07)

Avis d'attribution de marché (2025-07-28)
Objet
Champ d'application du marché
Valeur totale du marché (hors TVA): 1 USD 💰
Description
Adresse postale: CEA Grenoble / 17 rue des Martyrs
Code postal: 38054
Ville: Grenoble
Pays: France 🇫🇷
Lieu d'exécution: Isère 🏙️
Critères d'attribution
Prix (pondération): 1

Procédure
Type de pondération: Pondération (décimal, valeur exacte)

Attribution du marché
Un contrat/lot est attribué ✅
Numéro d'identification du lot: LOT-0001
Numéro de contrat: B24-01773-AT
Date de conclusion du contrat: 2025-07-17 📅
Informations sur les appels d'offres
Nombre d'offres reçues par voie électronique: 1
Information sur la valeur du contrat/lot (hors TVA)
Valeur totale du contrat/lot: 1 USD 💰
Identifiant de l’offre: B24-01173-AT
Identifiant du lot ou groupe de lots: LOT-0001
Informations sur les appels d'offres
Nom de la partie soumissionnaire: Amat
Nom et adresse du contractant
Nom: Applied materials south east asia pte ltd
Numéro d'enregistrement national: 38512486200033
Adresse postale: 8 Upper Changi Road North
Code postal: 506906
Commune postale: Singapour
Pays: Singapour 🇸🇬
Taille de l’opérateur économique: Grande

Pouvoir adjudicateur
Communication
Identifiant de l’avis antérieur: 479572-2024
Source: OJS 2025/S 143-493619 (2025-07-28)

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