Acquisition, livraison, installation et mise en service d’un système de gravure par Difluorure de Xénon XeF2 en phase vapeur pour la gravure du Silicium pour le laboratoire IEMN

CNRS délégation régionale Hauts-de-France

Le marché a pour objet l’acquisition, livraison, installation et mise en service d'un système de gravure par difluorure de Xénon XeF2 en phase vapeur pour la gravure du Silicium pour le laboratoire IEMN. Le marché est un marché de fournitures.

Date limite

Le délai de réception des offres était de 2024-10-21. L'appel d'offres a été publié le 2024-09-19.

Fournisseurs

Les fournisseurs suivants sont mentionnés dans les décisions d'attribution ou dans d'autres documents relatifs aux marchés publics :

• KLA Corporation

Qui ?

• CNRS délégation régionale Hauts-de-France

Qu'est-ce que c'est ?

• Plaques ou cylindres d'impression, autre matériel d'imprimerie › Matériel de gravure sèche

Où ?

• Luxembourg › Luxembourg
• Nord-Pas de Calais › Nord

Historique des marchés publics

Date	Document
2024-09-19	Avis de marché
2024-12-16	Avis d'attribution de marché

Avis de marché (2024-09-19)
Objet
Champ d'application du marché
Titre: Acquisition, livraison, installation et mise en service d’un système de gravure par Difluorure de Xénon XeF2 en phase vapeur pour la gravure du Silicium pour le laboratoire IEMN
Numéro de référence: 202405071010
Brève description:

Type de contrat: Fournitures
Produits/services: Matériel de gravure sèche 📦
Description
Identifiant interne: 202405071010
Titre: Acquisition, livraison, installation et mise en service d'un système de gravure par difluorure de Xénon XeF2 en phase vapeur pour la gravure du Silicium pour le laboratoire IEMN.
Valeur estimée hors TVA: 300 000 EUR 💰
Le marché en question convient aussi aux petites et moyennes entreprises (PME) ✅
Description du marché:

Informations complémentaires:

Variante n°1 : Le titulaire peut proposer un échéancier de paiement pour le paiement des prestations. Le paiement des acomptes n'a pas de caractère définitif et ne peut excéder la valeur des prestations auxquelles il se rapporte. L’avance (taux et modalités de versement) n’est pas concernée par la présente variante. Dans l’absence de présentation d’un échéancier de paiement, le paiement sera réalisé après service fait (suite à l’admission définitive de l’équipement)

Méthode utilisée pour réduire l’incidence environnementale: La prévention et la réduction de la pollution
Adresse postale: Avenue Poincaré, Cité Scientifique
Code postal: 596552
Ville: Villeneuve d'Ascq
Pays: France 🇫🇷
Lieu d'exécution: Nord 🏙️
Durée de l'accord: 14 mois
Informations sur les options
Options ✅
Description des options:

Dans le cadre de la présente consultation, les prestations éventuelles suivantes (PSE) sont demandées : - PSE n°1 (facultative) : pompe primaire avec le tombac, livré et connecté au bâti. - PSE n°2 (obligatoire) : Microscope avec une caméra - PSE n°3 (facultative) : Outil de suivi de la gravure 1 - PSE n°4 (facultative) : Outil de suivi de la gravure 2 - PSE n°5 (facultative) : Onduleur pour alimenter le PC du réacteur et l’écran en cas de coupure de courant, configuré pour arrêter le PC en cas de coupure. - PSE n°6 (facultative) : Extension de la durée de la garantie d’une (1) année supplémentaire - PSE n°7 (facultative) : Extension de la durée de la garantie de deux (2) années supplémentaires - PSE n°8 (facultative) : Contrat de maintenance d’une (1) année à l’issue de la période de garantie - PSE n°9 (facultative) : Contrat de maintenance de deux (2) années à l’issue de la période de garantie - PSE n°10 (facultative) : Contrat de maintenance de trois (3) années à l’issue de la période de garantie La réponse à la PSE n°2 est obligatoire ; faute de réponse du soumissionnaire, l’offre sera éliminée. La réponse aux autres PSE est facultative.

Informations sur les variantes
Les variantes sont acceptées ✅
Critères d'attribution
Prix ✅
Prix (pondération): 35
Critère de qualité (nom): Valeur technique
Critère de qualité (pondération): 40
Critère de qualité (nom): Délai, installation, formation
Critère de qualité (pondération): 10
Critère de qualité (nom): Garantie, SAV et procédés
Valeur environnementale
Critère de qualité (pondération): 5
Titre
Numéro d'identification du lot: LOT-0001
Description
Site principal ou lieu d'exécution:

Aucune caution, ni garantie ne sont exigées. Prix ferme. Paiement à 30 jours conformément à l'article R.2192-10 du code de la commande publique. Une avance pourra être versée au titulaire conformément à l’article R.2191-3 du code de la commande publique. Les candidats peuvent présenter leur offre sous forme de groupement conjoint ou solidaire, conformément aux dispositions des articles R2142-19 et R2142-20 du code de la commande publique.

Adresse postale: Installation dans la salle blanche
Iemn

Procédure
Type de procédure
Procédure ouverte ✅
Base juridique: Directive 2014/24/UE
Informations administratives
Délai de réception des offres ou des demandes de participation: 2024-10-21 14:00:00 📅
Conditions d'ouverture des offres: 2024-10-21 14:15:00 📅
Conditions d'ouverture des offres (Informations sur les personnes autorisées et la procédure d'ouverture): L'ouverture des plis n'est pas publique, les candidats ne peuvent pas y assister
Langues dans lesquelles les offres ou les demandes de participation peuvent être présentées: français 🗣️
Délai minimum pendant lequel le soumissionnaire doit maintenir l'offre: 3 mois
Conditions de passation du marché
Date d'ouverture: 2024-10-21 14:15:00 📅
Informations complémentaires: L'ouverture des plis n'est pas publique, les candidats ne peuvent pas y assister
Facturation électronique: Requise
Critères d'attribution
Type de pondération: Pondération (pourcentage, valeur exacte)

Pouvoir adjudicateur
Nom et adresse
Nom: CNRS Délégation Régionale Hauts-de-France
Numéro d'enregistrement national: 180 089 013 03894
Département: Nord
Adresse postale: 43 avenue le Corbusier
BP 30123
Code postal: 59001
Commune postale: Lille Cedex
Région: Nord 🏙️
Pays: France 🇫🇷
Point de contact: Pôle Achats et Marchés Publics
Courrier électronique: dr18.liste.poleachats@dr18.cnrs.fr 📧
Téléphone: 0320125800 📞
URL: https://www.cnrs.fr 🌏
Adresse du profil d'acheteur: https://www.marches-publics.gouv.fr 🌏
Type de pouvoir adjudicateur
Organisme de droit public
Activité principale
Enseignement
Communication
URL des documents: https://www.marches-publics.gouv.fr/?page=Entreprise.EntrepriseAdvancedSearch&AllCons&id=2583280&orgAcronyme=f2h 🌏
URL de participation: https://www.marches-publics.gouv.fr/?page=Entreprise.EntrepriseAdvancedSearch&AllCons&id=2583280&orgAcronyme=f2h 🌏
Soumission par voie électronique: Requise

Informations complémentaires
Organe de révision
Nom: Tribunal administratif de Lille
Numéro d'enregistrement national: 17590003400026
Adresse postale: 5 Rue Geoffroy Saint-Hilaire
CS 6203
Code postal: 59000
Commune postale: Lille
Région: Nord 🏙️
Pays: France 🇫🇷
Courrier électronique: greffe.ta-lille@juradm.fr 📧
Téléphone: 0359542342 📞
Service auprès duquel des informations sur la procédure de recours peuvent être obtenues
Identique à : Organe de révision
Procédure d'examen
Informations précises sur le(s) délai(s) des procédures d'examen:

Précisions concernant les recours susceptibles d’être introduits à l’encontre de la procédure ou du marché, ainsi que sur les délais d’introduction de ces recours : • Référé précontractuel prévu aux articles L. 551-1à L. 551-12 du code de justice administrative (CJA), pouvant être introduit depuis le début de la procédure de passation jusqu’à la signature du marché ; • Référé contractuel prévu aux articles L. 551-13 à L. 551-23 du CJA, pouvant être exercé dans les délais prévus à l'article R. 551-7 du CJA ; • Recours de pleine juridiction contestant la validité du marché dans un délai de 2 mois à compter de l'accomplissement des mesures de publicité appropriées au sens de la décision Département de Tarn-et-Garonne (CE, Ass., 4 avril 2014, n°358994). Ce recours en contestation de validité peut être assorti d'une demande tendant, sur le fondement de l'article L. 521-1 du code de justice administrative, à la suspension de l'exécution du contrat.

Informations sur les flux de travail électroniques
La facturation électronique sera acceptée
Source: OJS 2024/S 184-568104 (2024-09-19)

Avis d'attribution de marché (2024-12-16)
Objet
Champ d'application du marché
Valeur totale du marché (hors TVA): 318 898 EUR 💰
Description
Valeur estimée hors TVA: 300 000 EUR 💰

Attribution du marché
Un contrat/lot est attribué ✅
Numéro d'identification du lot: LOT-0001
Numéro de contrat:

2029332 - Acquisition, livraison, installation et mise en service d’un système de gravure par difluorure de Xénon XeF2 en phase vapeur pour la gravure du Silicium pour le laboratoire IEMN

Date de conclusion du contrat: 2024-12-11 📅
Informations sur les appels d'offres
Nombre d'offres reçues: 2
Information sur la valeur du contrat/lot (hors TVA)
Valeur totale du contrat/lot: 318 898 EUR 💰
L’offre a été classée
Rang de classement du candidat/lauréat: 1
L’offre est une variante ✅
Identifiant de l’offre: Offre de KLA Corporation
Identifiant du lot ou groupe de lots: LOT-0001
Informations sur les appels d'offres
Nom de la partie soumissionnaire: KLA Corporation
Nom et adresse du contractant
Nom: KLA Corporation
Numéro d'enregistrement national: 0425641110
Adresse postale: 1, Technology Drive
Code postal: 95035
Commune postale: Milpitas
Pays: États-Unis 🇺🇸

Informations complémentaires
Procédure d'examen
Informations précises sur le(s) délai(s) des procédures d'examen:

Les recours susceptibles d’être introduits à l’encontre de la procédure ou du marché, ainsi que sur les délais d’introduction de ces recours figurent à la rubrique 5.1.12 de l’AAP (formulaire européen). La date de signature du marché est le 11.12.2024 et la date de notification du marché au titulaire est le 11.12.2024. Le présent avis d'attribution correspond à l'accomplissement des mesures de publicité appropriées au sens de la décision Département de Tarn-et-Garonne (CE, Ass., 4 avril 2014, n°358994). Le contrat est consultable dans le respect des secrets protégés par la loi n°78-753 du 17 juillet 1978 codifiée dans le livre III du code des relations entre le public et l'administration, sur place à l'adresse indiquée à la rubrique 1.1, après une demande écrite adressée par courriel ( dr18.liste.poleachats@cnrs.fr) au service financier et comptable de la délégation et uniquement sur prise de rendez-vous du lundi au vendredi de 9:30 à 11:30 et de 14:30 à 16:00, hors jours fériés et jours de fermeture du site.

Source: OJS 2024/S 245-773217 (2024-12-16)

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