Le CEA-LETI souhaite faire l'acquisition de deux équipements de nettoyage en phase liquide - WET, dont l'allotissement est décrit ci-dessous:
- lot 1 : un équipement de retrait particules par nettoyage chimique/mécanique pour le développement des nœuds technologiques 10nm et au delà.
- lot 2 : un équipement de nettoyages chimique en phase liquide sur plaques 300mm pour des applications FEOL et MEOL sur les nœuds technologiques 10nm et au delà.
Ces équipements seront installés dans les salles blanches du CEA-LETI, où ils seront utilisés 7 jours/ 7
Date limite
Le délai de réception des offres était de 2022-09-19.
L'appel d'offres a été publié le 2022-08-11.
Objet Champ d'application du marché
Titre:
“Fourniture de deux équipements de nettoyage en phase liquide - WET
AOO-B22-04605-VD”
Produits/services: Machines et appareils microélectroniques📦
Brève description:
“Le CEA-LETI souhaite faire l'acquisition de deux équipements de nettoyage en phase liquide - WET, dont l'allotissement est décrit ci-dessous:
- lot 1 : un...”
Brève description
Le CEA-LETI souhaite faire l'acquisition de deux équipements de nettoyage en phase liquide - WET, dont l'allotissement est décrit ci-dessous:
- lot 1 : un équipement de retrait particules par nettoyage chimique/mécanique pour le développement des nœuds technologiques 10nm et au delà.
- lot 2 : un équipement de nettoyages chimique en phase liquide sur plaques 300mm pour des applications FEOL et MEOL sur les nœuds technologiques 10nm et au delà.
Ces équipements seront installés dans les salles blanches du CEA-LETI, où ils seront utilisés 7 jours/ 7
Afficher plus Informations sur les lots
Des offres peuvent être soumises pour tous les lots
1️⃣ Champ d'application du marché
Titre: Fourniture d'un équipement de retrait particules par nettoyage mono-face
Titre
Numéro d'identification du lot: 1
Description
Produits/services supplémentaires: Machines et appareils microélectroniques📦
Lieu d'exécution: Rhône-Alpes🏙️
Site principal ou lieu d'exécution: Grenoble
Description du marché:
“Le CEA-LETI souhaite faire l'acquisition d'un équipement de retrait particules par nettoyage chimique / mécanique pour le développement de noeuds...”
Description du marché
Le CEA-LETI souhaite faire l'acquisition d'un équipement de retrait particules par nettoyage chimique / mécanique pour le développement de noeuds technologiques 10nm et au-delà. Cet équipement devra assurer le traitement mono-face de plaques silicium 300mm en assurant une protection intégrale de la face non-traitée à l'aide d'un vecteur neutre. Il devra être capable de nettoyer aussi bien les faces avant que les faces arrières en combinant action chimique et mécanique (brosses, jets haute-pression). Cet équipement devra proposer un fonctionnement en parallèle et sans aucun élément partagé de manière à permettre le traitement de plaques FEOL et BEOL sans le moindre risque de transfert de contamination métallique.
Le présent lot n°1 comporte les options obligatoires suivantes :
• Option n°1 : une capacité de purge azote des FOUP
le présent lot n°1 comporte les options facultatives suivantes :
• Option n°2 : échangeurs de chaleur et systèmes de refroidissement
• Option n°3 : un transformateur électrique
• Option n°4 : une année supplémentaire de garantie standard en plus de l’année de garantie légale (12 mois)
• Option n°5 : une couverture temporelle d’intervention étendue (cf cahier des charges) durant l’année de garantie légale (12 mois),
Afficher plus Critères d'attribution
Le prix n'est pas le seul critère d'attribution et tous les critères ne sont énoncés que dans les documents de passation de marchés
Durée du contrat, de l'accord-cadre ou du système d'acquisition dynamique
Le délai ci-dessous est exprimé en nombre de mois.
Description
Durée de l'accord: 24
Informations sur les variantes
Les variantes sont acceptées ✅
2️⃣ Champ d'application du marché
Titre: Fourniture d'un équipement de nettoyages chimiques FEOL/MEOL
Titre
Numéro d'identification du lot: 2
Description
Produits/services supplémentaires: Fournitures électroniques, électromécaniques et électrotechniques📦
Lieu d'exécution: Auvergne-Rhône-Alpes🏙️
Description du marché:
“Le CEA-LETI souhaite faire l'acquisition d'un équipement de nettoyages chimiques en phase liquide sur plaques 300mm pour des applications FEOL et MEOL sur...”
Description du marché
Le CEA-LETI souhaite faire l'acquisition d'un équipement de nettoyages chimiques en phase liquide sur plaques 300mm pour des applications FEOL et MEOL sur les noeuds technologiques 10nm et au-delà. Cet équipement devra assurer des opérations de nettoyages classiques en microélectronique, des étapes d'élimination de résines photosensibles ou de couches métalliques ainsi que des traitements sélectifs en face arrière ou en bord de plaques. Cet équipement devra offrir une grande flexibilité pour répondre aux besoins très larges qui doivent être couverts tout en offrant un haut niveau de performances compatible avec les technologies visées.
Le présent lot n°2 comporte les options facultatives suivantes :
• Option n°1 : échangeurs de chaleur et systèmes de refroidissement
• Option n°2 : un transformateur électrique
• Option n°3 : une année supplémentaire de garantie standard en plus de l’année de garantie légale (12 mois)
• Option n°4 : une couverture temporelle d’intervention étendue (cf cahier des charges) durant l’année de garantie légale (12 mois),
Informations juridiques, économiques, financières et techniques Conditions de participation
Liste et brève description des conditions:
“- le formulaire DC1 (Lettre de candidature et habilitation du mandataire par ses cotraitants) ou une lettre de candidature signée par une personne habilitée...”
Liste et brève description des conditions
- le formulaire DC1 (Lettre de candidature et habilitation du mandataire par ses cotraitants) ou une lettre de candidature signée par une personne habilitée à engager le candidat ou habilitant le mandataire d’un groupement à représenter le groupement accompagnée d'une attestation sur l'honneur contenant l'ensemble des informations demandées à la page 3 de ce formulaire.
- le formulaire DC2 (Déclaration du candidat individuel ou du membre du groupement) (ou équivalent).
Ces formulaires sont disponibles sur le site Internet suivant :
http://www.economie.gouv.fr/daj/formulaires-marches-publics
ou un document unique de marché européen (DUME) disponible sur https://ec.europa.eu/tools/espd/filter?lang=fr
- lorsqu’il appartient à un groupe, une attestation certifiant de son autonomie commerciale et de sa situation de concurrence vis à vis des autres entreprises du groupe.
Afficher plus Situation économique et financière
Critères de sélection énoncés dans les documents de passation de marchés
Capacité technique et professionnelle
Critères de sélection énoncés dans les documents de passation de marchés
Procédure Type de procédure
Procédure ouverte
Informations administratives
Délai de réception des offres ou des demandes de participation: 2022-09-19
12:00 📅
Langues dans lesquelles les offres ou les demandes de participation peuvent être présentées: anglais 🗣️
Langues dans lesquelles les offres ou les demandes de participation peuvent être présentées: français 🗣️
Le délai ci-dessous est exprimé en nombre de mois.
Délai minimum pendant lequel le soumissionnaire doit maintenir l'offre: 6
Conditions d'ouverture des offres: 2022-09-19
12:00 📅
Informations complémentaires Organe de révision
Nom: Tribunal administratif de grenoble
Adresse postale: 2 Place de Verdun
Commune postale: Grenoble
Code postal: 38000
Pays: France 🇫🇷
Téléphone: +334 76429000📞
Courrier électronique: greffe.ta-grenoble@juradm.fr📧
Fax: +334 76422269 📠
URL: http://grenoble.tribunal-administratif.fr/🌏 Procédure d'examen
Informations précises sur le(s) délai(s) des procédures d'examen:
“Le référé précontractuel peut être introduit depuis le début de la procédure de passation jusqu’à la signature du marché.
Le référé contractuel peut être...”
Informations précises sur le(s) délai(s) des procédures d'examen
Le référé précontractuel peut être introduit depuis le début de la procédure de passation jusqu’à la signature du marché.
Le référé contractuel peut être introduit dans les conditions des articles L.551-13 et suivants du Code de justice administrative.
Le recours en contestation de la validité du marché par un tiers peut être intenté dans un délai de deux mois à compter des mesures de publicité appropriées.
Afficher plus Service auprès duquel des informations sur la procédure de recours peuvent être obtenues
Nom: Greffe tribunal administratif de grenoble
Adresse postale: 2 Place de Verdun
Commune postale: Grenoble
Code postal: 38000
Pays: France 🇫🇷
Téléphone: +334 76429000📞
Courrier électronique: greffe.ta-grenoble@juradm.fr📧
Fax: +334 76422269 📠
URL: http://grenoble.tribunal-administratif.fr/🌏
Source: OJS 2022/S 156-447153 (2022-08-11)
Informations complémentaires (2022-09-01)
Informations complémentaires Référence de l'avis original
Numéro de l'avis au JO S: 2022/S 156-447153
Changements Texte à corriger dans l'avis original
Numéro de section: IV.2.2
Emplacement du texte à modifier: Date limite de réception des offres
Ancienne valeur
Date: 2022-09-19 📅
L'heure: 12:00
Nouvelle valeur
Date: 2022-09-26 📅
L'heure: 12:00
Texte à corriger dans l'avis original
Numéro de section: IV.2.7
Emplacement du texte à modifier: Modalités d'ouverture des offres
Ancienne valeur
Date: 2022-09-19 📅
L'heure: 12:00
Nouvelle valeur
Date: 2022-09-26 📅
L'heure: 12:00
Autres informations complémentaires
“La date limite de remise des offres est reportée d'une semaine, soit jusqu'au lundi 26 septembre 2022 avant 12h00.”
Source: OJS 2022/S 171-484477 (2022-09-01)
Avis d'attribution de marché (2022-11-09) Objet Informations sur les lots
Ce contrat est divisé en lots ✅ Critères d'attribution
Critère de qualité (nom): Performance des process tels que décrits au cahier des charges
Critère de qualité (pondération): 30
Critère de qualité (nom): Qualité matérielle et capacité hardware
Critère de qualité (pondération): 15
Critère de qualité (nom): Qualité du support pendant la période de garantie
Critère de qualité (pondération): 10
Prix (pondération): 45
Procédure Informations administratives
Publication précédente concernant cette procédure: 2022/S 156-447153
Attribution du marché
1️⃣
Numéro d'identification du lot: 1
Titre: Fourniture d'un équipement de retrait particules par nettoyage mono-face
Informations sur les non-lauréats
Aucune offre ou demande de participation n'a été reçue ou toutes ont été rejetées
2️⃣
Numéro de contrat: 2
Numéro d'identification du lot: 2
Titre: Fourniture d'un équipement de nettoyages chimiques FEOL/MEOL
Source: OJS 2022/S 219-629209 (2022-11-09)