Le CEA-LETI souhaite faire l'acquisition d'un équipement d'implantation ionique, destiné à réaliser des étapes d'implantation pour les technologies de composants logiques sur FDSOI aux nœuds 10nm et au-delà, ainsi que les implantations d'ions légers utilisées en pour les transferts de couches. Il devra donc être très versatile, avec la possibilité de réaliser des procédés d’implantation de nombreuses espèces dans des larges gammes d’énergie et de dose. Cet équipement devra être configuré pour traiter des plaques 300mm tout en offrant la possibilité d'opérer aussi sur plaques 200mm sans modifications majeures de l'équipement ni de ses réglages.
Date limite
Le délai de réception des offres était de 2022-09-12.
L'appel d'offres a été publié le 2022-07-25.
Objet Champ d'application du marché
Titre: fourniture d'un implanteur ionique moyen courant
B22-04486-IB
Produits/services: Machines et appareils microélectroniques📦
Brève description:
“Le CEA-LETI souhaite faire l'acquisition d'un équipement d'implantation ionique, destiné à réaliser des étapes d'implantation pour les technologies de...”
Brève description
Le CEA-LETI souhaite faire l'acquisition d'un équipement d'implantation ionique, destiné à réaliser des étapes d'implantation pour les technologies de composants logiques sur FDSOI aux nœuds 10nm et au-delà, ainsi que les implantations d'ions légers utilisées en pour les transferts de couches. Il devra donc être très versatile, avec la possibilité de réaliser des procédés d’implantation de nombreuses espèces dans des larges gammes d’énergie et de dose. Cet équipement devra être configuré pour traiter des plaques 300mm tout en offrant la possibilité d'opérer aussi sur plaques 200mm sans modifications majeures de l'équipement ni de ses réglages.
1️⃣
Lieu d'exécution: Isère🏙️
Site principal ou lieu d'exécution: CEA GRENOBLE-Conditions d'accès réglementées
Description du marché:
“Le CEA-LETI souhaite faire l'acquisition d'un équipement d'implantation ionique, destiné à réaliser des étapes d'implantation pour les technologies de...”
Description du marché
Le CEA-LETI souhaite faire l'acquisition d'un équipement d'implantation ionique, destiné à réaliser des étapes d'implantation pour les technologies de composants logiques sur FDSOI aux nœuds 10nm et au-delà, ainsi que les implantations d'ions légers utilisées en pour les transferts de couches. Il devra donc être très versatile, avec la possibilité de réaliser des procédés d’implantation de nombreuses espèces dans des larges gammes d’énergie et de dose. Cet équipement devra être configuré pour traiter des plaques 300mm tout en offrant la possibilité d'opérer aussi sur plaques 200mm sans modifications majeures de l'équipement ni de ses réglages.
Le présent marché comporte les options obligatoires suivantes :
Option n°1: capacité à effectuer des implantations à chaud
Option n°2: capacité à effectuer des implantations à froid
Le présent marché comporte les options facultatives suivantes :
Option n°3 : échangeurs thermiques et systèmes de refroidissement
Option n°4 : transformateur électrique
Option n°5 : une année supplémentaire de garantie standard en plus de l’année de
garantie légale (12 mois)
Option n°6 : une couverture temporelle d’intervention étendue (cf cahier des charges)
durant l’année de garantie légale (12 mois)
Afficher plus Critères d'attribution
Le prix n'est pas le seul critère d'attribution et tous les critères ne sont énoncés que dans les documents de passation de marchés
Durée du contrat, de l'accord-cadre ou du système d'acquisition dynamique
Le délai ci-dessous est exprimé en nombre de mois.
Description
Durée de l'accord: 12
Informations sur les variantes
Les variantes sont acceptées ✅
Informations juridiques, économiques, financières et techniques Conditions de participation
Liste et brève description des conditions:
“-le formulaire DC1 (Lettre de candidature et habilitation du mandataire par ses cotraitants) ou une lettre de candidature signée par une personne habilitée...”
Liste et brève description des conditions
-le formulaire DC1 (Lettre de candidature et habilitation du mandataire par ses cotraitants) ou une lettre de candidature signée par une personne habilitée à engager le candidat ou habilitant le mandataire d’un groupement à représenter le groupement accompagnée d'une attestation sur l'honneur contenant l'ensemble des informations demandées à la page 3 de ce formulaire.
-le formulaire DC2 (Déclaration du candidat individuel ou du membre du groupement) (ou équivalent).
Ces formulaires sont disponibles sur le site Internet suivant :
http://www.economie.gouv.fr/daj/formulaires-marches-publics
ou un document unique de marché européen (DUME) disponible sur https://ec.europa.eu/tools/espd/filter?lang=fr
-lorsqu’il appartient à un groupe, une attestation certifiant de son autonomie commerciale et de sa situation de concurrence vis à vis des autres entreprises du groupe.
Afficher plus Situation économique et financière
Critères de sélection énoncés dans les documents de passation de marchés
Capacité technique et professionnelle
Critères de sélection énoncés dans les documents de passation de marchés
Procédure Type de procédure
Procédure ouverte
Informations administratives
Délai de réception des offres ou des demandes de participation: 2022-09-12
16:00 📅
Langues dans lesquelles les offres ou les demandes de participation peuvent être présentées: français 🗣️
Conditions d'ouverture des offres: 2022-09-12
16:30 📅
Informations complémentaires Organe de révision
Nom: Tribunal administratif de grenoble
Commune postale: Grenoble
Pays: France 🇫🇷
Téléphone: +33 476429000📞
Courrier électronique: ta-grenoble@juradm.fr📧
Fax: +33 476422269 📠
URL: http://grenoble.tribunal-administratif.fr🌏 Organisme responsable des procédures de médiation
Nom: Tribunal administratif de grenoble
Commune postale: Grenoble
Pays: France 🇫🇷
Téléphone: +33 476429000📞
Courrier électronique: ta-grenoble@juradm.fr📧
Fax: +33 476422269 📠
URL: http://grenoble.tribunal-administratif.fr🌏 Procédure d'examen
Informations précises sur le(s) délai(s) des procédures d'examen:
“— le référé pré-contractuel peut être introduit depuis le début de la procédure de passation jusqu'à la signature du marché,
— le référé contractuel peut...”
Informations précises sur le(s) délai(s) des procédures d'examen
— le référé pré-contractuel peut être introduit depuis le début de la procédure de passation jusqu'à la signature du marché,
— le référé contractuel peut être introduit dans les conditions des articles L. 551-13 et suivants du code de justice administrative,
— le recours en contestation de la validité du marché par un tiers peut être intenté dans un délai de 2 mois à compter des mesures de publicité appropriées.
Afficher plus Service auprès duquel des informations sur la procédure de recours peuvent être obtenues
Nom: Greffe tribunal administratif de grenoble
Commune postale: Grenoble
Pays: France 🇫🇷
Téléphone: +33 476429000📞
Courrier électronique: ta-grenoble@juradm.fr📧
URL: http://grenoble.tribunal-administratif.fr🌏
Source: OJS 2022/S 145-412089 (2022-07-25)
Avis d'attribution de marché (2022-09-20) Objet Critères d'attribution
Critère de qualité (nom): Performance des procédés tels que décrits au §2 du cahier des charges
Critère de qualité (pondération): 30
Critère de qualité (nom): Qualité matérielle et capabilité hardware
Critère de qualité (pondération): 25
Prix (pondération): 45
Procédure Informations administratives
Publication précédente concernant cette procédure: 2022/S 145-412089
Attribution du marché
1️⃣
Titre: fourniture d'un implanteur ionique moyen courant
Informations sur les non-lauréats
Aucune offre ou demande de participation n'a été reçue ou toutes ont été rejetées
Source: OJS 2022/S 184-518897 (2022-09-20)