Fourniture d'un équipement de gravure par plasma pour applications contact et BEOL pour le compte du CEA Grenoble

CEA/Grenoble

Le CEA-LETI souhaite faire l'acquisition d'un équipement de gravure par plasma de masques durs métalliques et de matériaux diélectriques, chalcogénures,...Cet équipement est destiné à traiter des plaques 300mm pour la réalisation des niveaux contact et BEOL des transistors FDSOI au nœud 10nm et au-delà.

Date limite
Le délai de réception des offres était de 2022-11-03. L'appel d'offres a été publié le 2022-09-30.

Qui ?

Qu'est-ce que c'est ?

Où ?

Historique des marchés publics
Date Document
2022-09-30 Avis de marché
2022-11-10 Avis d'attribution de marché
Avis de marché (2022-09-30)
Objet
Champ d'application du marché
Titre: Machines et appareils microélectroniques
Numéro de référence: B22-05673-LS
Brève description:
“Le CEA-LETI souhaite faire l'acquisition d'un équipement de gravure par plasma de masques durs métalliques et de matériaux diélectriques,...”    Afficher plus
Métadonnées de l'avis
Langue originale: français 🗣️
Type de document: Avis de marché
Nature du marché: Fournitures
Réglementation: Union européenne, avec participation des pays de l'AMP
Vocabulaire commun pour les marchés publics (CPV)
Code: Machines et appareils microélectroniques 📦
Lieu d'exécution
NUTS region: Isère 🏙️

Procédure
Type de procédure: Procédure ouverte
Type de soumission: Soumission pour tous les lots
Critères d'attribution
Offre la plus économique

Pouvoir adjudicateur
Identité
Pays: France 🇫🇷
Type de pouvoir adjudicateur: Organisme de droit public
Nom du pouvoir adjudicateur: CEA/Grenoble
Adresse postale: 17 Rue des Martyrs
Code postal: 38054
Commune postale: GRENOBLE CEDEX 9
Contact
Adresse Internet: http://www.cea.fr 🌏
Courrier électronique: louisa.sidhoumi@cea.fr 📧
Téléphone: +33 438783522 📞
Fax: +33 438785060 📠
URL des documents: https://www.marches-publics.gouv.fr 🌏
URL pour la participation: https://www.marches-publics.gouv.fr 🌏

Référence
Dates
Date d'envoi: 2022-09-30 📅
Date limite de soumission: 2022-11-03 📅
Date de publication: 2022-10-05 📅
Identifiants
Numéro d'avis: 2022/S 192-542915
Numéro JO-S: 192
Source: OJS 2022/S 192-542915 (2022-09-30)
Avis d'attribution de marché (2022-11-10)
Objet
Métadonnées de l'avis
Type de document: Avis d'attribution de marché

Procédure
Type de soumission: Sans objet

Référence
Dates
Date d'envoi: 2022-11-10 📅
Date de publication: 2022-11-15 📅
Identifiants
Numéro d'avis: 2022/S 220-633794
Se réfère à l'avis: 2022/S 192-542915
Numéro JO-S: 220
Source: OJS 2022/S 220-633794 (2022-11-10)