Dans le cadre de ses activités de R&D pour différents projets sur les semi-conducteurs, le CEA Leti souhaite acquérir un nouvel équipement de gravure par plasma. Cet équipement manipulera des wafers au format 200mm dans un premier temps, mais doit être conçu pour permettre un upgrade vers un mode de fonctionnement en 300mm à l’avenir. Il doit être capable de graver, sur une même plateforme, différents types de matériaux : des diélectriques classiquement utilisés dans l’industrie de la microélectronique, comme des alliages de matériaux moins conventionnels (GaN, LNO, AlNSc…)
Deux chambres supplémentaires de gravure sont en option.
Date limite
Le délai de réception des offres était de 2022-04-04.
L'appel d'offres a été publié le 2022-03-02.
Objet Champ d'application du marché
Titre: Fourniture d’un équipement de Gravure multi-matériaux
B22-1454-SN
Produits/services: Machines et appareils microélectroniques📦
Brève description:
“Dans le cadre de ses activités de R&D pour différents projets sur les semi-conducteurs, le CEA Leti souhaite acquérir un nouvel équipement de gravure par...”
Brève description
Dans le cadre de ses activités de R&D pour différents projets sur les semi-conducteurs, le CEA Leti souhaite acquérir un nouvel équipement de gravure par plasma. Cet équipement manipulera des wafers au format 200mm dans un premier temps, mais doit être conçu pour permettre un upgrade vers un mode de fonctionnement en 300mm à l’avenir. Il doit être capable de graver, sur une même plateforme, différents types de matériaux : des diélectriques classiquement utilisés dans l’industrie de la microélectronique, comme des alliages de matériaux moins conventionnels (GaN, LNO, AlNSc…)
Deux chambres supplémentaires de gravure sont en option.
1️⃣
Lieu d'exécution: Isère🏙️
Site principal ou lieu d'exécution: CEA Grenoble - Conditions d'accès règlementé
Description du marché:
“Dans le cadre de ses activités de R&D pour différents projets sur les semi-conducteurs, le CEA Leti souhaite acquérir un nouvel équipement de gravure par...”
Description du marché
Dans le cadre de ses activités de R&D pour différents projets sur les semi-conducteurs, le CEA Leti souhaite acquérir un nouvel équipement de gravure par plasma. Cet équipement manipulera des wafers au format 200mm dans un premier temps, mais doit être conçu pour permettre un upgrade vers un mode de fonctionnement en 300mm à l’avenir. Il doit être capable de graver, sur une même plateforme, différents types de matériaux : des diélectriques classiquement utilisés dans l’industrie de la microélectronique, comme des alliages de matériaux moins conventionnels (GaN, LNO, AlNSc…)
Deux chambres supplémentaires de gravure sont en option.
Afficher plus Critères d'attribution
Le prix n'est pas le seul critère d'attribution et tous les critères ne sont énoncés que dans les documents de passation de marchés
Durée du contrat, de l'accord-cadre ou du système d'acquisition dynamique
Le délai ci-dessous est exprimé en nombre de mois.
Description
Durée de l'accord: 12
Informations sur les variantes
Les variantes sont acceptées ✅ Description
Informations complémentaires:
“La présente procédure fait suite à la procédure B21-5380-SN déclarée sans suite pour motif d'intérêt général.”
Informations juridiques, économiques, financières et techniques Conditions de participation
Liste et brève description des conditions:
“Le candidat fournira à l’appui de sa candidature :
- le formulaire DC1 (Lettre de candidature et habilitation du mandataire par ses cotraitants) ou...”
Liste et brève description des conditions
Le candidat fournira à l’appui de sa candidature :
- le formulaire DC1 (Lettre de candidature et habilitation du mandataire par ses cotraitants) ou équivalent,
- le formulaire DC2 (Déclaration du candidat individuel ou du membre du groupement) ou équivalent.
Ces formulaires sont disponibles sur le site Internet suivant :
http://www.economie.gouv.fr/daj/formulaires-declaration-du-candidat
- la copie du ou des jugements prononcés s’il est en redressement judiciaire ou dans une procédure étrangère
équivalente.
- lorsqu’il appartient à un groupe, une attestation certifiant de son autonomie commerciale et de sa situation de
concurrence vis à vis des autres entreprises du groupe.
Les opérateurs économiques ont l’obligation de déposer leurs candidatures et offres par voie électronique sur
PLACE, sauf dans les cas prévus par l’article R2132-12 du CCP..
Le candidat peut présenter sa candidature sous la forme d’un document unique de marché européen
(DUME), en lieu et place des documents mentionnés à l’article R2143-3 du Code de la commande publique,
téléchargeable à l’adresse suivante : https://ec.europa.eu/tools/espd/filter?lang=fr
Afficher plus Situation économique et financière
Critères de sélection énoncés dans les documents de passation de marchés
Capacité technique et professionnelle
Critères de sélection énoncés dans les documents de passation de marchés
Procédure Type de procédure
Procédure ouverte
Informations administratives
Publication précédente concernant cette procédure: 2022/S 032-081851
Délai de réception des offres ou des demandes de participation: 2022-04-04
12:00 📅
Langues dans lesquelles les offres ou les demandes de participation peuvent être présentées: anglais 🗣️
Langues dans lesquelles les offres ou les demandes de participation peuvent être présentées: français 🗣️
Le délai ci-dessous est exprimé en nombre de mois.
Délai minimum pendant lequel le soumissionnaire doit maintenir l'offre: 6
Conditions d'ouverture des offres: 2022-04-04
12:00 📅
Conditions d'ouverture des offres (Informations sur les personnes autorisées et la procédure d'ouverture):
“Cette date est indicative au regard de l'absence d'obligation, en droit français, de la renseigner.”
“Les entreprises nouvellement créées sont autorisées à présenter leur candidature. Si elles ne sont pas en
mesure de produire certains des documents demandés...”
Les entreprises nouvellement créées sont autorisées à présenter leur candidature. Si elles ne sont pas en
mesure de produire certains des documents demandés dans le présent avis de marché, elles peuvent justifier
de leurs capacités financières et professionnelles par d’autres moyens que ceux indiqués dans le présent avis
et notamment par la présentation de titres ou de l’expérience professionnelle du ou de leurs responsables.
Le présent avis et/ou les documents de la consultation doivent être retirés sur https://www.marchespublics.
gouv.fr .
Modalités d’obtention du Dossier de Consultation :
Pour obtenir le dossier de consultation des entreprises, le candidat devra le télécharger via la plateforme de
dématérialisation des procédures de passation des marchés du CEA accessible sur l’URL suivante : https://
www.marches-publics.gouv.fr
Modalités de transmission des candidatures et des offres :
Les modalités de dépôt des candidatures et des offres sont précisées dans le règlement de consultation.
Après examen de la conformité administrative du dossier de candidature, le CEA procédera à l'analyse et à la
sélection des candidatures conformément aux critères de jugement des candidatures suivants :
- capacité professionnelle : aptitude technique, organisation en matière d’assurance qualité, références sur des
prestations similaires/des fournitures similaires
- capacité financière.
Afficher plus Organe de révision
Nom: Tribunal administratif de grenoble
Adresse postale: 2 Place de Verdun
Commune postale: Grenoble
Code postal: 38000
Pays: France 🇫🇷
Téléphone: +33 476429000📞
Courrier électronique: greffe.ta-grenoble@juradm.fr📧
Fax: +33 476422269 📠
URL: http://grenoble.tribunal-administratif.fr/🌏 Procédure d'examen
Informations précises sur le(s) délai(s) des procédures d'examen:
“Le référé précontractuel peut être introduit depuis le début de la procédure de passation jusqu’à la signature du marché.
Le référé contractuel peut être...”
Informations précises sur le(s) délai(s) des procédures d'examen
Le référé précontractuel peut être introduit depuis le début de la procédure de passation jusqu’à la signature du marché.
Le référé contractuel peut être introduit dans les conditions des articles L.551-13 et suivants du Code de justice administrative.
Le recours en contestation de la validité du marché par un tiers peut être intenté dans un délai de deux mois à compter des mesures de publicité appropriées.
Afficher plus Service auprès duquel des informations sur la procédure de recours peuvent être obtenues
Nom: Greffe tribunal administratif de grenoble
Adresse postale: 2 Place de Verdun
Commune postale: Grenoble
Code postal: 38000
Pays: France 🇫🇷
Téléphone: +33 476429000📞
Courrier électronique: greffe.ta-grenoble@juradm.fr📧
Fax: +33 476422269 📠
URL: http://grenoble.tribunal-administratif.fr/🌏
Source: OJS 2022/S 046-118932 (2022-03-02)
Avis d'attribution de marché (2022-04-08) Objet Critères d'attribution
Critère de qualité (nom): - Performance pour le process 2 (GaN)
Critère de qualité (pondération): 15
Critère de qualité (nom): - Capabilité de l’upgrade en 300mm
Critère de qualité (nom):
“- Qualité matérielle et capabilité hardware Cf. paragraphes 4.1 & 4.3 du cahier des charges (capabilité bias pulsing, plaques fort bow, Low power bias)”
Critère de qualité (pondération): 5
Critère de qualité (nom):
“- Performance des process 1 et 3 (gravure Poly Si référence chambre ICP & stripping résine)”
Critère de qualité (nom): - Performance process 4,5,6 et 7 (gravure SiO2, Si3N4, LNO/LTO, AlNSc)
Critère de qualité (nom): - Optimisation du délai de livraison de l’équipement
Prix (pondération): 50
Procédure Informations administratives
Publication précédente concernant cette procédure: 2022/S 046-118932
Attribution du marché
1️⃣
Titre: Fourniture d’un équipement de Gravure multi-matériaux
Informations sur les non-lauréats
Aucune offre ou demande de participation n'a été reçue ou toutes ont été rejetées
Source: OJS 2022/S 073-194955 (2022-04-08)