Objet Champ d'application du marché
Titre:
“Fourniture d'un équipement de dépôt de métaux par PVD pour le Middle of Line (MoL)
B22-07459-LS”
Produits/services: Machines et appareils microélectroniques📦
Brève description:
“Le CEA-LETI souhaite faire l'acquisition d'un équipement de dépôt de métaux par PVD pour le Middle of Line (MoL).”
1️⃣
Lieu d'exécution: Isère🏙️
Description du marché:
“Le CEA-LETI souhaite faire l'acquisition d'un équipement 300mm de dépôt PVD de couches métalliques pour le réalisation du niveau contact des transistors...”
Description du marché
Le CEA-LETI souhaite faire l'acquisition d'un équipement 300mm de dépôt PVD de couches métalliques pour le réalisation du niveau contact des transistors FDSOI aux nœuds technologiques 10nm et au-delà. Cet équipement comportera au moins trois chambres de dépôt par pulvérisation et deux chambres de dépôt par CVD, pour réaliser des dépôts de films métalliques avec des exigences élevées en termes de propriétés physico-chimiques.
Afficher plus Critères d'attribution
Le prix n'est pas le seul critère d'attribution et tous les critères ne sont énoncés que dans les documents de passation de marchés
Durée du contrat, de l'accord-cadre ou du système d'acquisition dynamique
Le délai ci-dessous est exprimé en nombre de mois.
Description
Durée de l'accord: 24
Informations sur les variantes
Les variantes sont acceptées ✅
Informations juridiques, économiques, financières et techniques Conditions de participation
Liste et brève description des conditions:
“Liste et description succincte des conditions:Le candidat fournira à l’appui de sa candidature :
- le formulaire DC1 (Lettre de candidature et habilitation...”
Liste et brève description des conditions
Liste et description succincte des conditions:Le candidat fournira à l’appui de sa candidature :
- le formulaire DC1 (Lettre de candidature et habilitation du mandataire par ses cotraitants) ou équivalent,
- le formulaire DC2 (Déclaration du candidat individuel ou du membre du groupement) ou équivalent.
Ces formulaires sont disponibles sur le site Internet suivant :
http://www.economie.gouv.fr/daj/formulaires-declaration-du-candidat
- la copie du ou des jugements prononcés s’il est en redressement judiciaire ou dans une procédure étrangère
équivalente.
- lorsqu’il appartient à un groupe, une attestation certifiant de son autonomie commerciale et de sa situation de
concurrence vis à vis des autres entreprises du groupe.
Les opérateurs économiques ont l’obligation de déposer leurs candidatures et offres par voie électronique sur
PLACE, sauf dans les cas prévus par l’article R2132-12 du CCP..
Le candidat peut présenter sa candidature sous la forme d’un document unique de marché européen
(DUME), en lieu et place des documents mentionnés à l’article R2143-3 du Code de la commande publique,
téléchargeable à l’adresse suivante : https://ec.europa.eu/tools/espd/filter?lang=fr
Afficher plus Situation économique et financière
Critères de sélection énoncés dans les documents de passation de marchés
Capacité technique et professionnelle
Critères de sélection énoncés dans les documents de passation de marchés
Procédure Type de procédure
Procédure ouverte
Informations administratives
Délai de réception des offres ou des demandes de participation: 2023-01-13
16:00 📅
Langues dans lesquelles les offres ou les demandes de participation peuvent être présentées: anglais 🗣️
Langues dans lesquelles les offres ou les demandes de participation peuvent être présentées: français 🗣️
Conditions d'ouverture des offres: 2023-01-13
16:30 📅
Informations complémentaires Organe de révision
Nom: Tribunal administratif de grenoble
Adresse postale: 2 Place de Verdun
Commune postale: Grenoble
Code postal: 38000
Pays: France 🇫🇷
Téléphone: +4 76429000📞
Courrier électronique: greffe.ta-grenoble@juradm.fr📧
Fax: +4 76422269 📠
URL: http://grenoble.tribunal-administratif.fr/🌏 Procédure d'examen
Informations précises sur le(s) délai(s) des procédures d'examen:
“Le référé précontractuel peut être introduit depuis le début de la procédure de passation jusqu’à la signature du marché.
Le référé contractuel peut être...”
Informations précises sur le(s) délai(s) des procédures d'examen
Le référé précontractuel peut être introduit depuis le début de la procédure de passation jusqu’à la signature du marché.
Le référé contractuel peut être introduit dans les conditions des articles L.551-13 et suivants du Code de justice administrative.
Le recours en contestation de la validité du marché par un tiers peut être intenté dans un délai de deux mois à compter des mesures de publicité appropriées.
Afficher plus Service auprès duquel des informations sur la procédure de recours peuvent être obtenues
Nom: Greffe tribunal administratif de grenoble
Adresse postale: 2 Place de Verdun
Commune postale: Grenoble
Code postal: 38000
Pays: France 🇫🇷
Téléphone: +4 76429000📞
Courrier électronique: greffe.ta-grenoble@juradm.fr📧
Fax: +4 76422269 📠
URL: http://grenoble.tribunal-administratif.fr/🌏
Source: OJS 2022/S 244-705222 (2022-12-14)
Avis d'attribution de marché (2023-01-18) Objet Critères d'attribution
Critère de qualité (nom): Procédé 1 – Chambre 1 Chauffage des plaquettes dans la chambre de dégazage
Critère de qualité (pondération): 5%
Critère de qualité (nom): Procédé 2 – Chambre 2 de pré-nettoyage des oxydes de métal et de Si
Critère de qualité (nom): Procédé 3 – Chambre 3 de pré-nettoyage à l'oxyde de silicium
Critère de qualité (nom): Procédé 4 – Chambre 4 Masque dur TiN pour MOL / BEOL
Critère de qualité (nom): Procédé 5 – Chambre 5 PVD Siliciure de Ti
Critère de qualité (nom): Procédé 6 – Chambre 6 Revêtement CVD TiN
Critère de qualité (pondération): 4%
Critère de qualité (nom): Procédé 7 – Chambre 7 Couche d'ancrage en PVD Co
Critère de qualité (nom): Procédé 8 – Chambre 8 CVD Co Liner / Remplissage
Critère de qualité (pondération): 2%
Critère de qualité (nom): Qualité matérielle et capabilité hardware
Critère de qualité (pondération): 20%
Prix (pondération): 45%
Procédure Informations administratives
Publication précédente concernant cette procédure: 2022/S 244-705222
Attribution du marché
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Titre:
“Fourniture d'un équipement de dépôt de métaux par PVD pour le Middle of Line (MoL)” Informations sur les non-lauréats
Aucune offre ou demande de participation n'a été reçue ou toutes ont été rejetées
Source: OJS 2023/S 016-044805 (2023-01-18)