Le CEA LETI souhaite acquérir les trois équipements suivants :
Lot 1 : Equipement traitement thermique pour des procédés LPCVD (Low-Pressure Chemical Vapor Deposition), en mode batch pour des applications microélectroniques aux nœuds technologiques 10nm et au-delà, sur des plaques de silicium 300mm.
Lot 2 : Equipement de traitements thermiques rapides (RTP) pour l'ingénierie de grille de transistors aux nœuds technologiques 10nm et au-delà.
Lot 3 : Equipement de traitement thermique pour réaliser des recuits en mode batch sur les briques BEOL de transistors FDSOI au nœud technologique 10nm.
Ces équipements seront installés dans les salles blanches du CEA LETI où ils seront utilisés 7jours /7.
Date limite
Le délai de réception des offres était de 2022-09-15.
L'appel d'offres a été publié le 2022-08-05.
Fournisseurs
Les fournisseurs suivants sont mentionnés dans les décisions d'attribution ou dans d'autres documents relatifs aux marchés publics :
Objet Champ d'application du marché
Titre: Fourniture d’équipements de traitement thermique.
AOO-B22-04827-TZ
Produits/services: Machines et appareils microélectroniques📦
Brève description:
“Le CEA LETI souhaite acquérir les trois équipements suivants :
Lot 1 : Equipement traitement thermique pour des procédés LPCVD (Low-Pressure Chemical Vapor...”
Brève description
Le CEA LETI souhaite acquérir les trois équipements suivants :
Lot 1 : Equipement traitement thermique pour des procédés LPCVD (Low-Pressure Chemical Vapor Deposition), en mode batch pour des applications microélectroniques aux nœuds technologiques 10nm et au-delà, sur des plaques de silicium 300mm.
Lot 2 : Equipement de traitements thermiques rapides (RTP) pour l'ingénierie de grille de transistors aux nœuds technologiques 10nm et au-delà.
Lot 3 : Equipement de traitement thermique pour réaliser des recuits en mode batch sur les briques BEOL de transistors FDSOI au nœud technologique 10nm.
Ces équipements seront installés dans les salles blanches du CEA LETI où ils seront utilisés 7jours /7.
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Valeur estimée hors TVA: EUR 1 💰
Informations sur les lots
Des offres peuvent être soumises pour tous les lots
1️⃣ Champ d'application du marché
Titre: Four de traitement thermique pour procédés LPCVD en mode batch
Titre
Numéro d'identification du lot: 1
Description
Produits/services supplémentaires: Machines et appareils microélectroniques📦
Lieu d'exécution: Isère🏙️
Site principal ou lieu d'exécution: CEA GRENOBLE-Conditions d'accès réglementées
Description du marché:
“Lot 1 : Four de traitement thermique pour procédés LPCVD en mode batch
Le CEA-LETI souhaite faire l'acquisition d'un équipement de traitement thermique pour...”
Description du marché
Lot 1 : Four de traitement thermique pour procédés LPCVD en mode batch
Le CEA-LETI souhaite faire l'acquisition d'un équipement de traitement thermique pour réaliser des procédés LPCVD (Low-Pressure Chemical Vapor Deposition) en mode batch pour des applications microélectroniques aux nœuds technologiques 10nm et au-delà, sur des plaques de silicium 300mm. Deux tubes verticaux seront nécessaires pour réaliser l'ensemble des procédés identifiés au cahier des charges, tout en garantissant que la cohabitation des différents procédés n'induit pas d'effets préjudiciables sur les performances de l'équipement.
Afficher plus Critères d'attribution
Le prix n'est pas le seul critère d'attribution et tous les critères ne sont énoncés que dans les documents de passation de marchés
Durée du contrat, de l'accord-cadre ou du système d'acquisition dynamique
Le délai ci-dessous est exprimé en nombre de mois.
Description
Durée de l'accord: 12
Informations sur les variantes
Les variantes sont acceptées ✅
2️⃣ Champ d'application du marché
Titre: Equipement de traitements thermiques rapides RTP pour empilement de grille
Titre
Numéro d'identification du lot: 2
Description
Description du marché:
“Le CEA-LETI souhaite faire l'acquisition d'un équipement de traitements thermiques rapides (RTP) pour l'ingénierie de grille de transistors aux nœuds...”
Description du marché
Le CEA-LETI souhaite faire l'acquisition d'un équipement de traitements thermiques rapides (RTP) pour l'ingénierie de grille de transistors aux nœuds technologiques 10nm et au-delà. Cet équipement sera doté de quatre chambres différentes permettant de réaliser des opérations d'oxydation, de nitruration et de traitement de l'empilement de grille selon différents modes (thermique, plasma), à des gammes de températures variées et sous différentes ambiances gazeuses. Il devra traiter des plaques de silicium 300mm.
3️⃣ Champ d'application du marché
Titre: Four de recuit pour applications BEOL
Titre
Numéro d'identification du lot: 3
Description
Description du marché:
“Le CEA-LETI souhaite faire l'acquisition d'un équipement de traitement thermique pour réaliser des recuits en mode batch sur les briques BEOL de transistors...”
Description du marché
Le CEA-LETI souhaite faire l'acquisition d'un équipement de traitement thermique pour réaliser des recuits en mode batch sur les briques BEOL de transistors FDSOI au nœud technologique 10nm. L'équipement devra fonctionner sous une ambiance exempte de toute trace d'oxygène, à pression ambiante ou réduite et dans une gamme de température de 100°C à 800°C. Cet équipement devra traiter des plaques de silicium 300mm.
Informations juridiques, économiques, financières et techniques Conditions de participation
Liste et brève description des conditions:
“-le formulaire DC1 (Lettre de candidature et habilitation du mandataire par ses cotraitants) ou une lettre de candidature signée par une personne habilitée...”
Liste et brève description des conditions
-le formulaire DC1 (Lettre de candidature et habilitation du mandataire par ses cotraitants) ou une lettre de candidature signée par une personne habilitée à engager le candidat ou habilitant le mandataire d’un groupement à représenter le groupement accompagnée d'une attestation sur l'honneur contenant l'ensemble des informations demandées à la page 3 de ce formulaire.
-le formulaire DC2 (Déclaration du candidat individuel ou du membre du groupement) (ou équivalent).
Ces formulaires sont disponibles sur le site Internet suivant :
http://www.economie.gouv.fr/daj/formulaires-marches-publics
ou un document unique de marché européen (DUME) disponible sur https://ec.europa.eu/tools/espd/filter?lang=fr
-lorsqu’il appartient à un groupe, une attestation certifiant de son autonomie commerciale et de sa situation de concurrence vis à vis des autres entreprises du groupe.
Afficher plus Situation économique et financière
Liste et brève description des critères de sélection: Critères de sélection tels que mentionnés dans les documents de la consultation
Capacité technique et professionnelle
Liste et brève description des critères de sélection: Critères de sélection tels que mentionnés dans les documents de la consultation
Procédure Type de procédure
Procédure ouverte
Informations administratives
Délai de réception des offres ou des demandes de participation: 2022-09-15
16:00 📅
Langues dans lesquelles les offres ou les demandes de participation peuvent être présentées: anglais 🗣️
Langues dans lesquelles les offres ou les demandes de participation peuvent être présentées: français 🗣️
Conditions d'ouverture des offres: 2022-09-15
17:00 📅
Informations complémentaires Organe de révision
Nom: Tribunal administratif de grenoble
Adresse postale: 2 Place de Verdun
Commune postale: Grenoble
Code postal: 38000
Pays: France 🇫🇷
Téléphone: +33 476429000📞
Courrier électronique: greffe.ta-grenoble@juradm.fr📧
Fax: +334 76422269 📠
URL: http://grenoble.tribunal-administratif.fr/🌏 Procédure d'examen
Informations précises sur le(s) délai(s) des procédures d'examen:
“Le référé précontractuel peut être introduit depuis le début de la procédure de passation jusqu’à la signature du marché.
Le référé contractuel peut être...”
Informations précises sur le(s) délai(s) des procédures d'examen
Le référé précontractuel peut être introduit depuis le début de la procédure de passation jusqu’à la signature du marché.
Le référé contractuel peut être introduit dans les conditions des articles L.551-13 et suivants du Code de justice administrative.
Le recours en contestation de la validité du marché par un tiers peut être intenté dans un délai de deux mois à compter des mesures de publicité appropriées.
Afficher plus Service auprès duquel des informations sur la procédure de recours peuvent être obtenues
Nom: Greffe tribunal administratif de grenoble
Adresse postale: 2 Place de Verdun
Commune postale: Grenoble
Code postal: 38000
Pays: France 🇫🇷
Téléphone: +33 476429000📞
Courrier électronique: greffe.ta-grenoble@juradm.fr📧
Fax: +334 76422269 📠
URL: http://grenoble.tribunal-administratif.fr/🌏
Source: OJS 2022/S 153-436760 (2022-08-05)
Avis d'attribution de marché (2022-09-23) Objet Informations sur les lots
Ce contrat est divisé en lots ✅ Critères d'attribution
Prix
Procédure Informations administratives
Publication précédente concernant cette procédure: 2022/S 153-436760
Attribution du marché
1️⃣
Numéro d'identification du lot: 1
Titre: Four de traitement thermique pour procédés LPCVD en mode batch
Informations sur les non-lauréats
Aucune offre ou demande de participation n'a été reçue ou toutes ont été rejetées
2️⃣
Numéro de contrat: 2
Numéro d'identification du lot: 2
Titre: Equipement de traitements thermiques rapides RTP pour empilement de grille
3️⃣
Numéro de contrat: 3
Numéro d'identification du lot: 3
Titre: Four de recuit pour applications BEOL
Source: OJS 2022/S 187-529167 (2022-09-23)
Avis d'attribution de marché (2023-01-18) Objet Champ d'application du marché
Titre: Fourniture d'équipements de traitement thermique - TTH
Brève description:
“Lot 1 : Equipement traitement thermique pour des procédés LPCVD (Low-Pressure Chemical Vapor Deposition), en mode batch pour des applications...”
Brève description
Lot 1 : Equipement traitement thermique pour des procédés LPCVD (Low-Pressure Chemical Vapor Deposition), en mode batch pour des applications microélectroniques aux noeuds technologiques 10nm et au-delà, sur des plaques de silicium 300mm.
Lot 2 : Equipement de traitements thermiques rapides (RTP) pour l'ingénierie de grille de transistors aux noeuds technologiques 10nm et au-delà.
Lot 3 : Equipement de traitement thermique pour réaliser des recuits en mode batch sur les briques BEOL de transistors FDSOI au noeud technologique 10nm.
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Valeur totale du marché (hors TVA): EUR 1 💰
Titre:
“Equipement traitement thermique pour des procédés LPCVD (Low-Pressure Chemical Vapor Deposition), en mode batch pour des applications microélectroniques aux...”
Titre
Equipement traitement thermique pour des procédés LPCVD (Low-Pressure Chemical Vapor Deposition), en mode batch pour des applications microélectroniques aux noeuds technologiques 10nm et au-delà, sur
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Description du marché:
“Equipement traitement thermique pour des procédés LPCVD (Low-Pressure Chemical Vapor Deposition), en mode batch pour des applications microélectroniques aux...”
Description du marché
Equipement traitement thermique pour des procédés LPCVD (Low-Pressure Chemical Vapor Deposition), en mode batch pour des applications microélectroniques aux noeuds technologiques 10nm et au-delà, sur des plaques de silicium 300mm
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Titre:
“Equipement de traitements thermiques rapides (RTP) pour l'ingénierie de grille de transistors aux nœuds technologiques 10nm et au-delà” Description
Description du marché:
“Equipement de traitements thermiques rapides (RTP) pour l'ingénierie de grille de transistors aux noeuds technologiques 10nm et au-delà” Champ d'application du marché
Titre:
“Equipement de traitement thermique pour réaliser des recuits en mode batch sur les briques BEOL de transistors FDSOI au noeud technologique 10nm.” Description
Description du marché:
“Equipement de traitement thermique pour réaliser des recuits en mode batch sur les briques BEOL de transistors FDSOI au noeud technologique 10nm.”
Procédure Type de procédure
Procédure concurrentielle avec négociation
Informations administratives
Publication précédente concernant cette procédure: 2022/S 187-529167
Attribution du marché
Titre:
“Equipement traitement thermique pour des procédés LPCVD (Low-Pressure Chemical Vapor Deposition), en mode batch pour des applications microélectroniques aux...”
Titre
Equipement traitement thermique pour des procédés LPCVD (Low-Pressure Chemical Vapor Deposition), en mode batch pour des applications microélectroniques aux noeuds technologiques 10nm et au-delà, sur
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Date de conclusion du contrat: 2022-12-15 📅
Informations sur les appels d'offres
Nombre d'offres reçues: 2
Nom et adresse du contractant
Nom: ASM Europe B.V
Commune postale: Versterkerstraat
Pays: Pays-Bas 🇳🇱
Région: Noord-Nederland 🏙️
Le contractant est une PME
Information sur la valeur du contrat/lot (hors TVA)
Valeur totale du contrat/lot: EUR 1 💰
Titre:
“Equipement de traitements thermiques rapides (RTP) pour l'ingénierie de grille de transistors aux noeuds technologiques 10nm et au-delà”
Date de conclusion du contrat: 2022-12-07 📅
Informations sur les appels d'offres
Nombre d'offres reçues: 1
Nom et adresse du contractant
Nom: Applied materials south east asia
Commune postale: Singapour
Pays: Singapour 🇸🇬
Région: sg 🏙️ Information sur la valeur du contrat/lot (hors TVA)
Valeur totale du contrat/lot: EUR 1 💰
Titre:
“Equipement de traitement thermique pour réaliser des recuits en mode batch sur les briques BEOL de transistors FDSOI au noeud technologique 10nm”
Date de conclusion du contrat: 2022-12-09 📅
Nom et adresse du contractant
Nom: Tokyo electron europe limited
Commune postale: Crawley
Pays: Royaume-Uni 🇬🇧
Région: Surrey, East and West Sussex 🏙️ Information sur la valeur du contrat/lot (hors TVA)
Valeur totale du contrat/lot: EUR 1 💰
“Modalités de consultation du marché : un exemplaire du marché est disponible auprès du CEA dont les coordonnées sont précisées à la section I du présent...”
Modalités de consultation du marché : un exemplaire du marché est disponible auprès du CEA dont les coordonnées sont précisées à la section I du présent avis. La consultation s’effectue dans le respect des secrets protégés par la loi.
Les cases relatives au montant du marché ont été complétées au II.1.7 et au V.2.4 par la valeur "1,00" uniquement pour pouvoir valider et publier l'avis d'attribution. Les valeurs indiquées dans ces champs ne sont donc pas à prendre en compte.
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Source: OJS 2023/S 016-042497 (2023-01-18)