Le présent appel d'offres a pour objet la fourniture des équipements de métrologie suivants pour le compte du CEA/LETI :
LOT n°1 : Equipement de caractérisation FTIR
LOT n°2 : Equipement de mesure de défectivité non-patternée
LOT n°3 : Microscope électronique à balayage pour contrôle dimensionnel CD-SEM
LOT n°4 : Equipement d’analyse physique de contamination métallique TXRF
LOT n°5 : Plateforme de préparation d’échantillons FIB et d’observation par TEM
Ces équipements seront installés dans les salles blanches du CEA LETI où ils seront utilisés 7jours /7.
Date limite
Le délai de réception des offres était de 2022-09-26.
L'appel d'offres a été publié le 2022-08-23.
Fournisseurs
Les fournisseurs suivants sont mentionnés dans les décisions d'attribution ou dans d'autres documents relatifs aux marchés publics :
Objet Champ d'application du marché
Titre: Fourniture d'équipements de METROLOGIE
B22-05043-ST
Produits/services: Machines et appareils microélectroniques📦
Brève description:
“Le présent appel d'offres a pour objet la fourniture des équipements de métrologie suivants pour le compte du CEA/LETI :
LOT n°1 : Equipement de...”
Brève description
Le présent appel d'offres a pour objet la fourniture des équipements de métrologie suivants pour le compte du CEA/LETI :
LOT n°1 : Equipement de caractérisation FTIR
LOT n°2 : Equipement de mesure de défectivité non-patternée
LOT n°3 : Microscope électronique à balayage pour contrôle dimensionnel CD-SEM
LOT n°4 : Equipement d’analyse physique de contamination métallique TXRF
LOT n°5 : Plateforme de préparation d’échantillons FIB et d’observation par TEM
Ces équipements seront installés dans les salles blanches du CEA LETI où ils seront utilisés 7jours /7.
Afficher plus Informations sur les lots
Des offres peuvent être soumises pour tous les lots
1️⃣ Champ d'application du marché
Titre: Equipement de caractérisation FTIR
Titre
Numéro d'identification du lot: 1
Description
Produits/services supplémentaires: Machines et appareils microélectroniques📦
Lieu d'exécution: Isère🏙️
Description du marché:
“Le CEA-LETI souhaite faire l'acquisition d'un équipement de caractérisation de matériaux par infra-rouge par Transformée de Fourier (FTIR). Il devra...”
Description du marché
Le CEA-LETI souhaite faire l'acquisition d'un équipement de caractérisation de matériaux par infra-rouge par Transformée de Fourier (FTIR). Il devra fonctionner en modes réflexion et transmission et devra offrir une gamme spectrale couvrant au moins la gamme 4000cm-1 to 400cm-1. Cet équipement sera utilisé pour des applications de microélectronique sur des plaques de diamètre 300 mm, et devra en complément offrir la possibilité d'effectuer des mesures en 200 mm.
Afficher plus Critères d'attribution
Le prix n'est pas le seul critère d'attribution et tous les critères ne sont énoncés que dans les documents de passation de marchés
Durée du contrat, de l'accord-cadre ou du système d'acquisition dynamique
Le délai ci-dessous est exprimé en nombre de mois.
Description
Durée de l'accord: 24
Informations sur les variantes
Les variantes sont acceptées ✅
2️⃣ Champ d'application du marché
Titre: Equipement de mesure de défectivité non-patternée
Titre
Numéro d'identification du lot: 2
Description
Description du marché:
“Le CEA-LETI souhaite faire acquisition d'un équipement d'inspection optique de plaques non-patternées destinés à quantifier la défectivité de surface....”
Description du marché
Le CEA-LETI souhaite faire acquisition d'un équipement d'inspection optique de plaques non-patternées destinés à quantifier la défectivité de surface. L'équipement devra être capable de mesurer la défectivité sur des plaques de silicium ou de SOI de diamètre 300 mm, ainsi que sur différentes surfaces résultant des étapes de procédés classiques en microélectronique (couches déposées, résines photosensibles, couchers implantées etc...). La sensibilité de l'équipement devra permettre de détecter des défauts jusqu'à une talle minimale de 15nm et permettre la classification automatique des défauts détectés par la typologie des images des défauts collectés lors de l'analyse des plaques.
3️⃣ Champ d'application du marché
Titre: Microscope électronique à balayage pour contrôle dimensionnel CD-SEM
Titre
Numéro d'identification du lot: 3
Description
Description du marché:
“Le CEA-LETI souhaite faire l'acquisition d'un microscope électronique à balayage pour réaliser des contrôles dimensionnels (CD-SEM). Cet équipement est...”
Description du marché
Le CEA-LETI souhaite faire l'acquisition d'un microscope électronique à balayage pour réaliser des contrôles dimensionnels (CD-SEM). Cet équipement est destiné à réaliser des mesures de motifs dont la taille variera de quelques nanomètres à quelques microns, sur des plaques de silicium 300 mm.
4️⃣ Champ d'application du marché
Titre: Equipement d’analyse physique de contamination métallique TXRF
Titre
Numéro d'identification du lot: 4
Description
Description du marché:
“Le CEA-LETI souhaite faire l'acquisition d'un équipement de mesure de contamination métallique de surface par TXRF. Il devra être équipé de plusieurs...”
Description du marché
Le CEA-LETI souhaite faire l'acquisition d'un équipement de mesure de contamination métallique de surface par TXRF. Il devra être équipé de plusieurs faisceaux de rayons X permettant de quantifier les éléments du 11Na jusqu'au 92U. Cet équipement devra être capable de traiter des plaques de diamètre de 150 mm, 200 mm et 300 mm sans exclusion de bord, avec chargement automatique des plaques disposées dans un FOUP 300 mm ayant des inserts 200 et 150 mm.
5️⃣ Champ d'application du marché
Titre: Plateforme de préparation d’échantillons FIB et d’observation par TEM
Titre
Numéro d'identification du lot: 5
Description
Description du marché:
“Le CEA-LETI souhaite s'équiper d'une plateforme de préparations d'échantillons et d'observation par microscopie électronique pour opérer sur des plaques de...”
Description du marché
Le CEA-LETI souhaite s'équiper d'une plateforme de préparations d'échantillons et d'observation par microscopie électronique pour opérer sur des plaques de silicium 300 mm. La plateforme devra inclure une capacité d'abrasion par FIB pour générer localement des zones d'observation par SEM et extraire des lames ultra-fines, destinées à être observées en microscopie électronique en transmission (TEM). La plateforme devra proposer une inter-opérabilité poussée entre FIB, SEM et TEM afin de permettre des observations rapides et efficaces.
Le LOT n°5 est dévolu selon l'une des deux possibilités suivantes :
o un marché d'achat de l'équipement
o un marché de location-maintenance de l'équipement pour une durée de 8 ans
Le choix du mode de dévolution sera librement arbitré par le CEA avant notification.
Informations juridiques, économiques, financières et techniques Conditions de participation
Liste et brève description des conditions:
“Le candidat fournira à l’appui de sa candidature :
- le formulaire DC1 (Lettre de candidature et habilitation du mandataire par ses cotraitants) ou...”
Liste et brève description des conditions
Le candidat fournira à l’appui de sa candidature :
- le formulaire DC1 (Lettre de candidature et habilitation du mandataire par ses cotraitants) ou équivalent,
- le formulaire DC2 (Déclaration du candidat individuel ou du membre du groupement) ou équivalent.
Ces formulaires sont disponibles sur le site Internet suivant :
http://www.economie.gouv.fr/daj/formulaires-declaration-du-candidat
- la copie du ou des jugements prononcés s’il est en redressement judiciaire ou dans une procédure étrangère équivalente.
- lorsqu’il appartient à un groupe, une attestation certifiant de son autonomie commerciale et de sa situation de concurrence vis à vis des autres entreprises du groupe.
Les opérateurs économiques ont l’obligation de déposer leurs candidatures et offres par voie électronique sur PLACE, sauf dans les cas prévus par l’article R2132-12 du CCP..
Le candidat peut présenter sa candidature sous la forme d’un document unique de marché européen (DUME), en lieu et place des documents mentionnés à l’article R2143-3 du Code de la commande publique,
téléchargeable à l’adresse suivante : https://ec.europa.eu/tools/espd/filter?lang=fr
Afficher plus Situation économique et financière
Critères de sélection énoncés dans les documents de passation de marchés
Capacité technique et professionnelle
Critères de sélection énoncés dans les documents de passation de marchés
Procédure Type de procédure
Procédure ouverte
Informations administratives
Délai de réception des offres ou des demandes de participation: 2022-09-26
16:00 📅
Langues dans lesquelles les offres ou les demandes de participation peuvent être présentées: anglais 🗣️
Langues dans lesquelles les offres ou les demandes de participation peuvent être présentées: français 🗣️
Conditions d'ouverture des offres: 2022-09-26
16:00 📅
Informations complémentaires Organe de révision
Nom: Tribunal administratif de grenoble
Adresse postale: 2 Place de Verdun
Commune postale: Grenoble
Code postal: 38000
Pays: France 🇫🇷
Téléphone: +33 476429000📞
Courrier électronique: greffe.ta-grenoble@juradm.fr📧
Fax: +33 476422269 📠
URL: http://grenoble.tribunal-administratif.fr/🌏 Service auprès duquel des informations sur la procédure de recours peuvent être obtenues
Nom: Greffe tribunal administratif de grenoble
Adresse postale: 2 Place de Verdun
Commune postale: Grenoble
Code postal: 38000
Pays: France 🇫🇷
Téléphone: +33 476429000📞
Courrier électronique: greffe.ta-grenoble@juradm.fr📧
Fax: +33 476422269 📠
URL: http://grenoble.tribunal-administratif.fr/🌏
Source: OJS 2022/S 164-463847 (2022-08-23)
Avis d'attribution de marché (2022-09-08) Objet Informations sur les lots
Ce contrat est divisé en lots ✅ Critères d'attribution
Critère de qualité (nom): pour FIB/SEM
Critère de qualité (pondération): 17,5
Critère de qualité (nom): pour TEM
Critère de qualité (nom): Qualité matérielle et capabilité hardware
Critère de qualité (pondération): 20
Critère de coût (nom):
“sur la base du prix de l’équipement de base et des options avec chiffrage obligatoire mais hors options facultatives”
Critère de coût (pondération): 45
Procédure Informations administratives
Publication précédente concernant cette procédure: 2022/S 164-463847
Attribution du marché
1️⃣
Numéro d'identification du lot: 5
Titre: Plateforme de préparation d’échantillons FIB et d’observation par TEM
Informations sur les non-lauréats
Autres raisons (interruption de la procédure)
“En application de l’article R.2185-1 du code de la commande publique, le LOT n°5 de l'appel d'offres B22-05043-ST, est déclaré sans suite pour motif...”
En application de l’article R.2185-1 du code de la commande publique, le LOT n°5 de l'appel d'offres B22-05043-ST, est déclaré sans suite pour motif d'intérêt général, le CEA souhaitant redéfinir son besoin quant à la solution d'achat ou de location de l'équipement.
Afficher plus
Source: OJS 2022/S 176-498161 (2022-09-08)
Avis d'attribution de marché (2022-10-24) Objet Critères d'attribution
Critère de qualité (nom):
“Capacités de mesure (Items Chapitre 2.1 : 1.1, 1.2, 1.4, 1.5, 1.9, 2.2, 2.4, 2.5) :”
Critère de qualité (pondération): 17%
Critère de qualité (nom): Classification de défauts (Items Chapitre 2.1 : 1.7 ; 1.11):
Critère de qualité (pondération): 5%
Critère de qualité (nom): Traitement de données off-line (Items Chapitre 2.1 ; 3.1 ; 3.2):
Critère de qualité (pondération): 6%
Critère de qualité (nom): Autres items du Chapitre 2.1 :
Critère de qualité (pondération): 7%
Critère de qualité (nom): Qualité matérielle et capabilité hardware :
Critère de qualité (pondération): 20%
Critère de coût (nom):
“sur la base du prix de l’équipement de base et des options avec chiffrage obligatoire mais hors options facultatives:”
Critère de coût (pondération): 45%
Attribution du marché
Numéro d'identification du lot: 2
Titre: Equipement de mesure de défectivité non-patternée
Informations sur les non-lauréats
Aucune offre ou demande de participation n'a été reçue ou toutes ont été rejetées
Source: OJS 2022/S 209-595310 (2022-10-24)
Avis d'attribution de marché (2022-10-27) Objet Critères d'attribution
Critère de qualité (nom): Performance des process : Pour les tests 2.2.1 à 2.2.6 :
Critère de qualité (pondération): 27
Critère de qualité (nom): Performance des process : Pour les tests 2.2.7 et 2.2.8
Critère de qualité (pondération): 5
Critère de qualité (nom): Performance des process: Pour les tests 2.2.9 et 2.2.10
Critère de qualité (pondération): 3
Attribution du marché
Numéro d'identification du lot: 3
Titre: Microscope électronique à balayage pour contrôle dimensionnel CD-SEM
Source: OJS 2022/S 210-601955 (2022-10-27)
Avis d'attribution de marché (2023-12-19) Objet Champ d'application du marché
Valeur totale du marché (hors TVA): EUR 1 💰
Critères d'attribution
Critère de qualité (nom): Performance des process
Critère de qualité (pondération): 35
Prix (pondération): 45
Description
Informations complémentaires:
“Il a été indiqué 1.00 à la rubrique "montant" uniquement parce que le champ est bloquant pour la publication de l'avis d'attribution et que le CEA ne peut...”
Informations complémentaires
Il a été indiqué 1.00 à la rubrique "montant" uniquement parce que le champ est bloquant pour la publication de l'avis d'attribution et que le CEA ne peut pas indiquer le véritable prix de l'équipement sans violer le secret des affaires.
Attribution du marché
Numéro de contrat: 4000985333
Numéro d'identification du lot: 4
Titre: Equipement d’analyse physique de contamination métallique TXRF
Date de conclusion du contrat: 2022-12-19 📅
Informations sur les appels d'offres
Nombre d'offres reçues: 1
Nom et adresse du contractant
Nom: MILEXIA France SAS
Adresse postale:
“Espace Technologique de Saint Aubin, Bâtiment Mercury, Route de l'Orme des Merisiers”
Commune postale: Saint-Aubin
Code postal: 91190
Pays: France 🇫🇷
Région: Ile-de-France🏙️
Le contractant est une PME
Information sur la valeur du contrat/lot (hors TVA)
Valeur totale du contrat/lot: EUR 1 💰
“Modalités de consultation du marché : un exemplaire du marché est disponible auprès du CEA dont les coordonnées sont précisées à la section I) du présent...”
Modalités de consultation du marché : un exemplaire du marché est disponible auprès du CEA dont les coordonnées sont précisées à la section I) du présent avis. La consultation s'effectue dans le respect des secrets protégés par la loi.
Afficher plus
Source: OJS 2023/S 247-779242 (2023-12-19)
Avis d'attribution de marché (2023-12-19) Objet Champ d'application du marché
Valeur totale du marché (hors TVA): EUR 1 💰
Description
Informations complémentaires:
“Il a été indiqué 1.00 EUR à la rubrique "montant" uniquement parce que le champ est bloquant pour la publication de l'avis d'attribution et que le CEA ne...”
Informations complémentaires
Il a été indiqué 1.00 EUR à la rubrique "montant" uniquement parce que le champ est bloquant pour la publication de l'avis d'attribution et que le CEA ne peut pas indiquer le véritable prix de l'équipement sans violer le secret des affaires.
Attribution du marché
Numéro de contrat: 4000987514
Numéro d'identification du lot: 1
Titre: Equipement de caractérisation FTIR
Date de conclusion du contrat: 2023-01-12 📅
Informations sur les appels d'offres
Nombre d'offres reçues: 2
Nom et adresse du contractant
Nom: ONTO Innovation Inc
Adresse postale: 16 Jospin Road Wilmington
Commune postale: Massachussetts
Code postal: 01887
Pays: États-Unis 🇺🇸
Région: us 🏙️ Information sur la valeur du contrat/lot (hors TVA)
Valeur totale du contrat/lot: EUR 1 💰
Source: OJS 2023/S 247-779635 (2023-12-19)