Fourniture d'équipements de dépôt - DEP pour le compte du CEA Grenoble
CEA/Grenoble
Le présent appel d'offres a pour objet la fourniture des équipements de dépôt - DEP, pour le compte du CEA/LETI, suivants :
o Lot n°1 : Equipement de dépôt métaux par PVD pour empilement de grille
o Lot n°2 : Equipement de dépôt électrochimique de cuivre pour damascene BEOL
o Lot n°3 : Equipement de dépôt diélectriques conformes pour applications FEOLMOL
o Lot n° 4 : Equipement de dépôt diélectriques par PECVD pour remplissage FEOL
o Lot n° 5 : Equipement de dépôt diélectriques low-k pour damascene BEOL
Ces équipements seront installés dans les salles blanches du CEA LETI où ils seront utilisés 7jours /7.
Le délai de réception des offres était de 2022-09-19. L'appel d'offres a été publié le 2022-08-08.
FournisseursLes fournisseurs suivants sont mentionnés dans les décisions d'attribution ou dans d'autres documents relatifs aux marchés publics :
- • Applied Materials South East Asia Pte Ltd
- • CANON EUROPA N.V.
- • LAM RESEARCH, International Sdn. Bhd
- • LAM RESEARCH, International Sdn. Bhd,
- • Machines et appareils microélectroniques et microsystèmes › Machines et appareils microélectroniques
- • Rhône-Alpes › Isère
Historique des marchés publics
| Date | Document |
|---|---|
| 2022-08-08 | Avis de marché |
| 2022-09-27 | Avis d'attribution de marché |
| 2023-01-17 | Avis d'attribution de marché |
| 2023-01-17 | Avis d'attribution de marché |
| 2023-01-17 | Avis d'attribution de marché |
| 2023-01-17 | Avis d'attribution de marché |
| 2023-01-17 | Avis d'attribution de marché |
Avis de marché (2022-08-08)
Objet
Champ d'application du marché
Titre: Machines et appareils microélectroniques
Numéro de référence: B22-04861-LS
Brève description:
Métadonnées de l'avis
Langue originale: français 🗣️
Type de document: Avis de marché
Nature du marché: Fournitures
Réglementation: Union européenne, avec participation des pays de l'AMP
Vocabulaire commun pour les marchés publics (CPV)
Code: Machines et appareils microélectroniques 📦
Code CPV supplémentaire: Machines et appareils microélectroniques 📦
Lieu d'exécution
Région NUTS: Isère 🏙️
Procédure
Type de procédure: Procédure ouverte
Type de soumission: Soumission pour tous les lots
Critères d'attribution
Offre la plus économique
Pouvoir adjudicateur
Identité
Pays: France 🇫🇷
Type de pouvoir adjudicateur: Organisme de droit public
Nom du pouvoir adjudicateur: CEA/Grenoble
Adresse postale: 17 Rue des Martyrs
Code postal: 38054
Commune postale: GRENOBLE CEDEX 9
Contact
Adresse Internet: http://www.cea.fr 🌏
Courrier électronique: louisa.sidhoumi@cea.fr 📧
Téléphone: +33 438783522 📞
Fax: +33 438785060 📠
URL des documents: https://www.marches-publics.gouv.fr 🌏
URL pour la participation: https://www.marches-publics.gouv.fr 🌏
Référence
Dates
Date d'envoi: 2022-08-08 📅
Date limite de soumission: 2022-09-19 📅
Date de publication: 2022-08-12 📅
Identifiants
Numéro d'avis: 2022/S 155-440481
Numéro JO-S: 155
Objet
Champ d'application du marché
Brève description:
Intitulé du lot: Equipement de dépôt métaux par PVD pour empilement de grille
Numéro du lot: 1
Brève description:
Durée de l'accord: 24 mois
Intitulé du lot: Equipement de dépôt électrochimique de cuivre pour damascene BEOL
Numéro du lot: 2
Brève description:
Intitulé du lot: Equipement de dépôt diélectriques conformes pour applications FEOL/MOL
Numéro du lot: 3
Brève description:
Intitulé du lot: Equipement de dépôt diélectriques par PECVD pour remplissage FEOL
Numéro du lot: 4
Brève description:
Intitulé du lot: Equipement de dépôt diélectriques low-k pour damascene BEOL
Numéro du lot: 5
Brève description:
Informations juridiques, économiques, financières et techniques
Conditions de participation
Habilitation à exercer l'activité professionnelle:
Procédure
Base juridique: 32014L0024
Heure limite de réception des offres: 16:00
Langues dans lesquelles les offres ou les demandes de participation peuvent être présentées: anglais 🗣️
français 🗣️
Date d'ouverture des offres: 2022-09-19 📅
Heure d'ouverture des offres: 16:30
Pouvoir adjudicateur
Contact
Point de contact: Mme Louisa SIDHOUMI
Adresse Internet: www.cea.fr 🌏
Adresse du profil d'acheteur: https://www.marches-publics.gouv.fr 🌏
URL des documents: https://www.marches-publics.gouv.fr 🌏
Informations complémentaires
Organe de révision
Nom: Tribunal administratif de grenoble
Adresse postale: 2 Place de Verdun
Commune postale: Grenoble
Code postal: 38000
Pays: France 🇫🇷
Téléphone: +4 76429000 📞
Courrier électronique: greffe.ta-grenoble@juradm.fr 📧
Fax: +4 76422269 📠
Adresse Internet: http://grenoble.tribunal-administratif.fr/ 🌏
Informations sur les délais d'introduction des recours:
Service auprès duquel des informations sur la procédure de recours peuvent être obtenues
Nom: Greffe tribunal administratif de grenoble
Source: OJS 2022/S 155-440481 (2022-08-08)
Objet
Champ d'application du marché
Titre: Machines et appareils microélectroniques
Numéro de référence: B22-04861-LS
Brève description:
Le présent appel d'offres a pour objet la fourniture des équipements de dépôt - DEP, pour le compte du CEA/LETI, suivants :
o Lot n°1 : Equipement de dépôt métaux par PVD pour empilement de grille
o Lot n°2 : Equipement de dépôt électrochimique de cuivre pour damascene BEOL
o Lot n°3 : Equipement de dépôt diélectriques conformes pour applications FEOLMOL
o Lot n° 4 : Equipement de dépôt diélectriques par PECVD pour remplissage FEOL
o Lot n° 5 : Equipement de dépôt diélectriques low-k pour damascene BEOL
Ces équipements seront installés dans les salles blanches du CEA LETI où ils seront utilisés 7jours /7.
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Langue originale: français 🗣️
Type de document: Avis de marché
Nature du marché: Fournitures
Réglementation: Union européenne, avec participation des pays de l'AMP
Vocabulaire commun pour les marchés publics (CPV)
Code: Machines et appareils microélectroniques 📦
Code CPV supplémentaire: Machines et appareils microélectroniques 📦
Lieu d'exécution
Région NUTS: Isère 🏙️
Procédure
Type de procédure: Procédure ouverte
Type de soumission: Soumission pour tous les lots
Critères d'attribution
Offre la plus économique
Pouvoir adjudicateur
Identité
Pays: France 🇫🇷
Type de pouvoir adjudicateur: Organisme de droit public
Nom du pouvoir adjudicateur: CEA/Grenoble
Adresse postale: 17 Rue des Martyrs
Code postal: 38054
Commune postale: GRENOBLE CEDEX 9
Contact
Adresse Internet: http://www.cea.fr 🌏
Courrier électronique: louisa.sidhoumi@cea.fr 📧
Téléphone: +33 438783522 📞
Fax: +33 438785060 📠
URL des documents: https://www.marches-publics.gouv.fr 🌏
URL pour la participation: https://www.marches-publics.gouv.fr 🌏
Référence
Dates
Date d'envoi: 2022-08-08 📅
Date limite de soumission: 2022-09-19 📅
Date de publication: 2022-08-12 📅
Identifiants
Numéro d'avis: 2022/S 155-440481
Numéro JO-S: 155
Objet
Champ d'application du marché
Brève description:
Le présent appel d'offres a pour objet la fourniture des équipements de dépôt - DEP, pour le compte du CEA/LETI, suivants :
o Lot n°1 : Equipement de dépôt métaux par PVD pour empilement de grille
o Lot n°2 : Equipement de dépôt électrochimique de cuivre pour damascene BEOL
o Lot n°3 : Equipement de dépôt diélectriques conformes pour applications FEOLMOL
o Lot n° 4 : Equipement de dépôt diélectriques par PECVD pour remplissage FEOL
o Lot n° 5 : Equipement de dépôt diélectriques low-k pour damascene BEOL
Ces équipements seront installés dans les salles blanches du CEA LETI où ils seront utilisés 7jours /7.
Numéro du lot: 1
Brève description:
Le CEA-LETI souhaite faire l'acquisition d'un équipement 300mm de dépôt PVD de couches métalliques pour la réalisation de grilles de transistors FDSOI aux nœuds technologiques 10nm et au-delà. Cet équipement comportera au moins trois chambres de pulvérisation pour réaliser des dépôts ultra-fins avec des exigences élevées en termes d'uniformité. Les chambres devront permettre l'injection de gaz réactifs et pouvoir fonctionner en mode plasma RF/DC.
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Intitulé du lot: Equipement de dépôt électrochimique de cuivre pour damascene BEOL
Numéro du lot: 2
Brève description:
Le CEA-LETI souhaite faire l'acquisition d'un équipement 300mm de dépôt électrolytique de cuivre. Cet équipement est destiné au remplissage de lignes et vias, en simple et double damascene, dans les interconnexions de transistors FDSOI 10nm.
- Options obligatoires :
• Purge azote des FOUP
• Chambre preclean sous vide avant dépôt cobalt
• Chambre de dépôt électrolytique pour remplissage cobalt
Numéro du lot: 3
Brève description:
Le CEA-LETI souhaite faire l'acquisition d'un équipement 300mm de dépôt de matériaux diélectriques conformes pour différents niveaux FEOL et MOL des transistors FDSOI au nœud technologique 10nm et au-delà. Au regard des spécifications exigées pour ces dépôts, il est attendu que les procédés soient basés sur la technique de PEALD.
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• Un réacteur de dépôt SiO2 dense et conforme
• Un réacteur de dépôt SiN conforme
Numéro du lot: 4
Brève description:
Le CEA-LETI souhaite faire l'acquisition d'un équipement 300mm de dépôt de diélectriques pour le remplissage de structures FEOL. Les procédés de dépôts utilisés devront permettre le remplissage sans vide de tranchées aux facteurs de forme agressifs, tels que requis pour les noeuds technologiques 10nm et au-delà.
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Numéro du lot: 5
Brève description:
Le CEA-LETI souhaite faire l'acquisition d'un équipement 300mm de dépôt de matériaux à faible constante diélectrique (low-k) pour la réalisation des interconnexions de transistors FDSOI au nœud technologique 10nm et au-delà. L'équipement devra comporter plusieurs chambres afin de réaliser l'empilement diélectrique complet nécessaire dans cette intégration : matériau low-k mais aussi couche de barrière de diffusion et couche d'encapsulation.
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Informations juridiques, économiques, financières et techniques
Conditions de participation
Habilitation à exercer l'activité professionnelle:
Le candidat fournira à l’appui de sa candidature :
- le formulaire DC1 (Lettre de candidature et habilitation du mandataire par ses cotraitants) ou équivalent,
- le formulaire DC2 (Déclaration du candidat individuel ou du membre du groupement) ou équivalent.
Ces formulaires sont disponibles sur le site Internet suivant :
- la copie du ou des jugements prononcés s’il est en redressement judiciaire ou dans une procédure étrangère
équivalente.
- lorsqu’il appartient à un groupe, une attestation certifiant de son autonomie commerciale et de sa situation de
concurrence vis à vis des autres entreprises du groupe.
Les opérateurs économiques ont l’obligation de déposer leurs candidatures et offres par voie électronique sur
PLACE, sauf dans les cas prévus par l’article R2132-12 du CCP..
Le candidat peut présenter sa candidature sous la forme d’un document unique de marché européen
(DUME), en lieu et place des documents mentionnés à l’article R2143-3 du Code de la commande publique,
téléchargeable à l’adresse suivante : https://ec.europa.eu/tools/espd/filter?lang=fr
Procédure
Base juridique: 32014L0024
Heure limite de réception des offres: 16:00
Langues dans lesquelles les offres ou les demandes de participation peuvent être présentées: anglais 🗣️
français 🗣️
Date d'ouverture des offres: 2022-09-19 📅
Heure d'ouverture des offres: 16:30
Pouvoir adjudicateur
Contact
Point de contact: Mme Louisa SIDHOUMI
Adresse Internet: www.cea.fr 🌏
Adresse du profil d'acheteur: https://www.marches-publics.gouv.fr 🌏
URL des documents: https://www.marches-publics.gouv.fr 🌏
Informations complémentaires
Organe de révision
Nom: Tribunal administratif de grenoble
Adresse postale: 2 Place de Verdun
Commune postale: Grenoble
Code postal: 38000
Pays: France 🇫🇷
Téléphone: +4 76429000 📞
Courrier électronique: greffe.ta-grenoble@juradm.fr 📧
Fax: +4 76422269 📠
Adresse Internet: http://grenoble.tribunal-administratif.fr/ 🌏
Informations sur les délais d'introduction des recours:
Le référé précontractuel peut être introduit depuis le début de la procédure de passation jusqu’à la signature du marché.
Le référé contractuel peut être introduit dans les conditions des articles L.551-13 et suivants du Code de justice administrative.
Le recours en contestation de la validité du marché par un tiers peut être intenté dans un délai de deux mois à compter des mesures de publicité appropriées.
Nom: Greffe tribunal administratif de grenoble
Source: OJS 2022/S 155-440481 (2022-08-08)
Avis d'attribution de marché (2022-09-27)
Objet
Métadonnées de l'avis
Type de document: Avis d'attribution de marché
Procédure
Type de soumission: Sans objet
Référence
Dates
Date d'envoi: 2022-09-27 📅
Date de publication: 2022-09-30 📅
Identifiants
Numéro d'avis: 2022/S 189-533139
Se réfère à l'avis: 2022/S 155-440481
Numéro JO-S: 189
Procédure
Critères d'attribution
Critère de qualité (nom): Performances des process
Critère de qualité (pondération): 35%
Critère de qualité (nom): Qualité matérielle et capabilité hardware
Critère de qualité (pondération): 20%
Prix (pondération): 45%
Critère de qualité (nom): Performance des process
Source: OJS 2022/S 189-533139 (2022-09-27)
Objet
Métadonnées de l'avis
Type de document: Avis d'attribution de marché
Procédure
Type de soumission: Sans objet
Référence
Dates
Date d'envoi: 2022-09-27 📅
Date de publication: 2022-09-30 📅
Identifiants
Numéro d'avis: 2022/S 189-533139
Se réfère à l'avis: 2022/S 155-440481
Numéro JO-S: 189
Procédure
Critères d'attribution
Critère de qualité (nom): Performances des process
Critère de qualité (pondération): 35%
Critère de qualité (nom): Qualité matérielle et capabilité hardware
Critère de qualité (pondération): 20%
Prix (pondération): 45%
Critère de qualité (nom): Performance des process
Source: OJS 2022/S 189-533139 (2022-09-27)
Avis d'attribution de marché (2023-01-17)
Objet
Champ d'application du marché
Numéro de référence: B22-05671-LS
Brève description:
Procédure
Type de procédure: Procédure concurrentielle avec négociation
Référence
Dates
Date d'envoi: 2023-01-17 📅
Date de publication: 2023-01-20 📅
Identifiants
Numéro d'avis: 2023/S 015-036821
Se réfère à l'avis: 2022/S 189-533139
Numéro JO-S: 15
Informations complémentaires
Objet
Champ d'application du marché
Brève description:
Procédure
Critères d'attribution
Critère de qualité (nom): Procédé 1
Critère de qualité (pondération): 10%
Critère de qualité (nom): Procédé 2
Procédé 3
Critère de qualité (pondération): 6%
Critère de qualité (nom): Autres procédés
Critère de qualité (pondération): 9%
Attribution du marché
Date de conclusion du contrat: 2022-12-21 📅
Nom: LAM RESEARCH, International Sdn. Bhd
Commune postale: Penang
Pays: Malaisie 🇲🇾
Valeur totale du marché: 1 EUR 💰
Informations sur les appels d'offres
Nombre d'offres reçues: 1
Référence
Informations complémentaires
Source: OJS 2023/S 015-036821 (2023-01-17)
Objet
Champ d'application du marché
Numéro de référence: B22-05671-LS
Brève description:
La procédure a pour objet la fourniture d'un équipement de dépôt diélectriques conformes pour applications FEOL/MOL
Valeur totale du marché: 1 EUR 💰
Procédure
Type de procédure: Procédure concurrentielle avec négociation
Référence
Dates
Date d'envoi: 2023-01-17 📅
Date de publication: 2023-01-20 📅
Identifiants
Numéro d'avis: 2023/S 015-036821
Se réfère à l'avis: 2022/S 189-533139
Numéro JO-S: 15
Informations complémentaires
Modalités de consultation du marché : un exemplaire du marché est disponible auprès du CEA dont les coordonnées sont précisées à la section I du présent avis. La consultation s’effectue dans le respect des secrets protégés par la loi.
Les cases relatives au montant du marché ont été complétées au II.1.7 et au V.2.4 par la valeur "1,00" uniquement pour pouvoir valider et publier l'avis d'attribution. Les valeurs indiquées dans ces champs ne sont donc pas à prendre en compte.
Afficher plus
Objet
Champ d'application du marché
Brève description:
La procédure a pour objet la fourniture d'un équipement de dépôt diélectriques conformes pour applications FEOL/MOL.
Options obligatoires :
- Un réacteur de dépôt SiO2 dense et conforme
- Un réacteur de dépôt SiN conforme
Options facultatives :
- Echangeurs de chaleur et systèmes de refroidissement
- Transformateur électrique
- Seconde année de garantie
- Garantie avec couverture temporelle étendue
Procédure
Critères d'attribution
Critère de qualité (nom): Procédé 1
Critère de qualité (pondération): 10%
Critère de qualité (nom): Procédé 2
Procédé 3
Critère de qualité (pondération): 6%
Critère de qualité (nom): Autres procédés
Critère de qualité (pondération): 9%
Attribution du marché
Date de conclusion du contrat: 2022-12-21 📅
Nom: LAM RESEARCH, International Sdn. Bhd
Commune postale: Penang
Pays: Malaisie 🇲🇾
Valeur totale du marché: 1 EUR 💰
Informations sur les appels d'offres
Nombre d'offres reçues: 1
Référence
Informations complémentaires
Modalités de consultation du marché : un exemplaire du marché est disponible auprès du CEA dont les coordonnées sont précisées à la section I du présent avis. La consultation s’effectue dans le respect des secrets protégés par la loi.
Les cases relatives au montant du marché ont été complétées au II.1.7 et au V.2.4 par la valeur "1,00" uniquement pour pouvoir valider et publier l'avis d'attribution. Les valeurs indiquées dans ces champs ne sont donc pas à prendre en compte.
Avis d'attribution de marché (2023-01-17)
Objet
Champ d'application du marché
Numéro de référence: B22-05674-LS
Brève description:
Référence
Identifiants
Numéro d'avis: 2023/S 015-037468
Objet
Champ d'application du marché
Brève description:
Procédure
Critères d'attribution
Critère de qualité (pondération): 25%
Attribution du marché
Date de conclusion du contrat: 2022-12-22 📅
Nom: Applied materials south east asia pte ltd
Commune postale: Singapour
Pays: Singapour 🇸🇬
Source: OJS 2023/S 015-037468 (2023-01-17)
Objet
Champ d'application du marché
Numéro de référence: B22-05674-LS
Brève description:
La procédure a pour objet la fourniture de l’équipement de dépôt diélectriques par PECVD pour remplissage FEOL
Valeur totale du marché: 1 EUR 💰
Référence
Identifiants
Numéro d'avis: 2023/S 015-037468
Objet
Champ d'application du marché
Brève description:
La procédure a pour objet la fourniture de l’équipement de dépôt diélectriques par PECVD pour remplissage FEOL.
- Le prix du transport, assurance comprise, selon les conditions DAP
CEA Grenoble (Convention Incoterms ICC 2020)
Procédure
Critères d'attribution
Critère de qualité (pondération): 25%
Attribution du marché
Date de conclusion du contrat: 2022-12-22 📅
Nom: Applied materials south east asia pte ltd
Commune postale: Singapour
Pays: Singapour 🇸🇬
Source: OJS 2023/S 015-037468 (2023-01-17)
Avis d'attribution de marché (2023-01-17)
Objet
Champ d'application du marché
Brève description:
Référence
Identifiants
Numéro d'avis: 2023/S 015-038829
Objet
Champ d'application du marché
Brève description:
Procédure
Critères d'attribution
Critère de qualité (nom): Procédé 5
Critère de qualité (pondération): 14%
Source: OJS 2023/S 015-038829 (2023-01-17)
Objet
Champ d'application du marché
Brève description:
La procédure a pour objet la fourniture de l'équipement de dépôt diélectriques low-k pour damascene BEOL
Valeur totale du marché: 1 EUR 💰
Référence
Identifiants
Numéro d'avis: 2023/S 015-038829
Objet
Champ d'application du marché
Brève description:
La procédure a pour objet la fourniture de l'équipement de dépôt diélectriques low-k pour damascene BEOL.
Option obligatoire :
- Purge azote des FOUP
Procédure
Critères d'attribution
Critère de qualité (nom): Procédé 5
Critère de qualité (pondération): 14%
Source: OJS 2023/S 015-038829 (2023-01-17)
Avis d'attribution de marché (2023-01-17)
Objet
Champ d'application du marché
Brève description:
Référence
Identifiants
Numéro d'avis: 2023/S 015-040660
Objet
Champ d'application du marché
Brève description:
Procédure
Critères d'attribution
Critère de qualité (pondération): 15%
Attribution du marché
Nom: LAM RESEARCH, International Sdn. Bhd,
Source: OJS 2023/S 015-040660 (2023-01-17)
Objet
Champ d'application du marché
Brève description:
La procédure a pour objet la fourniture d'un équipement de dépôt électrochimique de cuivre damascene BEOL
Valeur totale du marché: 1 EUR 💰
Référence
Identifiants
Numéro d'avis: 2023/S 015-040660
Objet
Champ d'application du marché
Brève description:
La procédure a pour objet la fourniture d'un équipement de dépôt électrochimique de cuivre damascene BEOL.
- Chambre preclean sous vide avant dépôt Cobalt
- Chambre de dépôt électrolytique pour remplissage Cobalt
- Système de dosage des constituants du bain d’électrolyte
Procédure
Critères d'attribution
Critère de qualité (pondération): 15%
Attribution du marché
Nom: LAM RESEARCH, International Sdn. Bhd,
Source: OJS 2023/S 015-040660 (2023-01-17)
Avis d'attribution de marché (2023-01-17)
Objet
Champ d'application du marché
Numéro de référence: B22-05664-LS
Brève description:
Référence
Identifiants
Numéro d'avis: 2023/S 015-041827
Objet
Champ d'application du marché
Brève description: - Interfaçage avec un module de transfert sous vide Adixen
Procédure
Critères d'attribution
Critère de qualité (pondération): 4%
27%
Attribution du marché
Nom: Canon europa n.v.
Commune postale: Amstelveen
Pays: Pays-Bas 🇳🇱
Friesland (NL) 🏙️
Source: OJS 2023/S 015-041827 (2023-01-17)
Objet
Champ d'application du marché
Numéro de référence: B22-05664-LS
Brève description:
La procédure a pour objet la fourniture d'un équipement de dépôt métaux par PVD pour empilement de grille.
Valeur totale du marché: 1 EUR 💰
Référence
Identifiants
Numéro d'avis: 2023/S 015-041827
Objet
Champ d'application du marché
Brève description: - Interfaçage avec un module de transfert sous vide Adixen
Procédure
Critères d'attribution
Critère de qualité (pondération): 4%
27%
Attribution du marché
Nom: Canon europa n.v.
Commune postale: Amstelveen
Pays: Pays-Bas 🇳🇱
Friesland (NL) 🏙️
Source: OJS 2023/S 015-041827 (2023-01-17)
Nouveaux marchés dans des catégories connexes 🆕
- Machines, appareils, équipements et consommables électriques; éclairage (>20 nouveaux marchés)