Le présent appel d'offres a pour objet la fourniture des équipements de dépôt - DEP, pour le compte du CEA/LETI, suivants :
o Lot n°1 : Equipement de dépôt métaux par PVD pour empilement de grille
o Lot n°2 : Equipement de dépôt électrochimique de cuivre pour damascene BEOL
o Lot n°3 : Equipement de dépôt diélectriques conformes pour applications FEOLMOL
o Lot n° 4 : Equipement de dépôt diélectriques par PECVD pour remplissage FEOL
o Lot n° 5 : Equipement de dépôt diélectriques low-k pour damascene BEOL
Ces équipements seront installés dans les salles blanches du CEA LETI où ils seront utilisés 7jours /7.
Date limite
Le délai de réception des offres était de 2022-09-19.
L'appel d'offres a été publié le 2022-08-08.
Fournisseurs
Les fournisseurs suivants sont mentionnés dans les décisions d'attribution ou dans d'autres documents relatifs aux marchés publics :
Avis de marché (2022-08-08) Objet Champ d'application du marché
Titre: Machines et appareils microélectroniques
Numéro de référence: B22-04861-LS
Brève description:
“Le présent appel d'offres a pour objet la fourniture des équipements de dépôt - DEP, pour le compte du CEA/LETI, suivants :” Métadonnées de l'avis
Langue originale: français 🗣️
Type de document: Avis de marché
Nature du marché: Fournitures
Réglementation: Union européenne, avec participation des pays de l'AMP
Vocabulaire commun pour les marchés publics (CPV)
Code: Machines et appareils microélectroniques📦
Code CPV supplémentaire: Machines et appareils microélectroniques📦 Lieu d'exécution
Région NUTS: Isère🏙️
Procédure
Type de procédure: Procédure ouverte
Type de soumission: Soumission pour tous les lots
Critères d'attribution
Offre la plus économique
Pouvoir adjudicateur Identité
Pays: France 🇫🇷
Type de pouvoir adjudicateur: Organisme de droit public
Nom du pouvoir adjudicateur: CEA/Grenoble
Adresse postale: 17 Rue des Martyrs
Code postal: 38054
Commune postale: GRENOBLE CEDEX 9
Contact
Adresse Internet: http://www.cea.fr🌏
Courrier électronique: louisa.sidhoumi@cea.fr📧
Téléphone: +33 438783522📞
Fax: +33 438785060 📠
URL des documents: https://www.marches-publics.gouv.fr🌏
URL pour la participation: https://www.marches-publics.gouv.fr🌏
Référence Dates
Date d'envoi: 2022-08-08 📅
Date limite de soumission: 2022-09-19 📅
Date de publication: 2022-08-12 📅
Identifiants
Numéro d'avis: 2022/S 155-440481
Numéro JO-S: 155
Source: OJS 2022/S 155-440481 (2022-08-08)
Avis d'attribution de marché (2022-09-27) Objet Métadonnées de l'avis
Type de document: Avis d'attribution de marché
Procédure
Type de soumission: Sans objet
Référence Dates
Date d'envoi: 2022-09-27 📅
Date de publication: 2022-09-30 📅
Identifiants
Numéro d'avis: 2022/S 189-533139
Se réfère à l'avis: 2022/S 155-440481
Numéro JO-S: 189
Source: OJS 2022/S 189-533139 (2022-09-27)
Avis d'attribution de marché (2023-01-17) Objet Champ d'application du marché
Numéro de référence: B22-05671-LS
Brève description:
“La procédure a pour objet la fourniture d'un équipement de dépôt diélectriques conformes pour applications FEOL/MOL”
Valeur totale du marché: 1 EUR 💰
Procédure
Type de procédure: Procédure concurrentielle avec négociation
Référence Dates
Date d'envoi: 2023-01-17 📅
Date de publication: 2023-01-20 📅
Identifiants
Numéro d'avis: 2023/S 015-036821
Se réfère à l'avis: 2022/S 189-533139
Numéro JO-S: 15
Informations complémentaires
“Modalités de consultation du marché : un exemplaire du marché est disponible auprès du CEA dont les coordonnées sont précisées à la section I du présent...”
Modalités de consultation du marché : un exemplaire du marché est disponible auprès du CEA dont les coordonnées sont précisées à la section I du présent avis. La consultation s’effectue dans le respect des secrets protégés par la loi.
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Source: OJS 2023/S 015-036821 (2023-01-17)
Avis d'attribution de marché (2023-01-17) Objet Champ d'application du marché
Numéro de référence: B22-05674-LS
Brève description:
“La procédure a pour objet la fourniture de l’équipement de dépôt diélectriques par PECVD pour remplissage FEOL”
Valeur totale du marché: 1 EUR 💰
Avis d'attribution de marché (2023-01-17) Objet Champ d'application du marché
Brève description:
“La procédure a pour objet la fourniture de l'équipement de dépôt diélectriques low-k pour damascene BEOL”
Valeur totale du marché: 1 EUR 💰
Avis d'attribution de marché (2023-01-17) Objet Champ d'application du marché
Brève description:
“La procédure a pour objet la fourniture d'un équipement de dépôt électrochimique de cuivre damascene BEOL”
Valeur totale du marché: 1 EUR 💰
Avis d'attribution de marché (2023-01-17) Objet Champ d'application du marché
Numéro de référence: B22-05664-LS
Brève description:
“La procédure a pour objet la fourniture d'un équipement de dépôt métaux par PVD pour empilement de grille.”
Valeur totale du marché: 1 EUR 💰