Le présent appel d'offres a pour objet la fourniture des équipements de dépôt - DEP, pour le compte du CEA/LETI, suivants :
o Lot n°1 : Equipement de dépôt métaux par PVD pour empilement de grille
o Lot n°2 : Equipement de dépôt électrochimique de cuivre pour damascene BEOL
o Lot n°3 : Equipement de dépôt diélectriques conformes pour applications FEOLMOL
o Lot n° 4 : Equipement de dépôt diélectriques par PECVD pour remplissage FEOL
o Lot n° 5 : Equipement de dépôt diélectriques low-k pour damascene BEOL
Ces équipements seront installés dans les salles blanches du CEA LETI où ils seront utilisés 7jours /7.
Date limite
Le délai de réception des offres était de 2022-09-19.
L'appel d'offres a été publié le 2022-08-08.
Fournisseurs
Les fournisseurs suivants sont mentionnés dans les décisions d'attribution ou dans d'autres documents relatifs aux marchés publics :
Objet Champ d'application du marché
Titre:
“Fourniture d'équipements de dépôt - DEP pour le compte du CEA Grenoble
B22-04861-LS”
Produits/services: Machines et appareils microélectroniques📦
Brève description:
“Le présent appel d'offres a pour objet la fourniture des équipements de dépôt - DEP, pour le compte du CEA/LETI, suivants :
o Lot n°1 : Equipement de dépôt...”
Brève description
Le présent appel d'offres a pour objet la fourniture des équipements de dépôt - DEP, pour le compte du CEA/LETI, suivants :
o Lot n°1 : Equipement de dépôt métaux par PVD pour empilement de grille
o Lot n°2 : Equipement de dépôt électrochimique de cuivre pour damascene BEOL
o Lot n°3 : Equipement de dépôt diélectriques conformes pour applications FEOLMOL
o Lot n° 4 : Equipement de dépôt diélectriques par PECVD pour remplissage FEOL
o Lot n° 5 : Equipement de dépôt diélectriques low-k pour damascene BEOL
Ces équipements seront installés dans les salles blanches du CEA LETI où ils seront utilisés 7jours /7.
Afficher plus Informations sur les lots
Des offres peuvent être soumises pour tous les lots
1️⃣ Champ d'application du marché
Titre: Equipement de dépôt métaux par PVD pour empilement de grille
Titre
Numéro d'identification du lot: 1
Description
Produits/services supplémentaires: Machines et appareils microélectroniques📦
Lieu d'exécution: Isère🏙️
Description du marché:
“Le CEA-LETI souhaite faire l'acquisition d'un équipement 300mm de dépôt PVD de couches métalliques pour la réalisation de grilles de transistors FDSOI aux...”
Description du marché
Le CEA-LETI souhaite faire l'acquisition d'un équipement 300mm de dépôt PVD de couches métalliques pour la réalisation de grilles de transistors FDSOI aux nœuds technologiques 10nm et au-delà. Cet équipement comportera au moins trois chambres de pulvérisation pour réaliser des dépôts ultra-fins avec des exigences élevées en termes d'uniformité. Les chambres devront permettre l'injection de gaz réactifs et pouvoir fonctionner en mode plasma RF/DC.
Afficher plus Critères d'attribution
Le prix n'est pas le seul critère d'attribution et tous les critères ne sont énoncés que dans les documents de passation de marchés
Durée du contrat, de l'accord-cadre ou du système d'acquisition dynamique
Le délai ci-dessous est exprimé en nombre de mois.
Description
Durée de l'accord: 24
Informations sur les variantes
Les variantes sont acceptées ✅
2️⃣ Champ d'application du marché
Titre: Equipement de dépôt électrochimique de cuivre pour damascene BEOL
Titre
Numéro d'identification du lot: 2
Description
Description du marché:
“Le CEA-LETI souhaite faire l'acquisition d'un équipement 300mm de dépôt électrolytique de cuivre. Cet équipement est destiné au remplissage de lignes et...”
Description du marché
Le CEA-LETI souhaite faire l'acquisition d'un équipement 300mm de dépôt électrolytique de cuivre. Cet équipement est destiné au remplissage de lignes et vias, en simple et double damascene, dans les interconnexions de transistors FDSOI 10nm.
- Options obligatoires :
• Purge azote des FOUP
• Chambre preclean sous vide avant dépôt cobalt
• Chambre de dépôt électrolytique pour remplissage cobalt
3️⃣ Champ d'application du marché
Titre: Equipement de dépôt diélectriques conformes pour applications FEOL/MOL
Titre
Numéro d'identification du lot: 3
Description
Description du marché:
“Le CEA-LETI souhaite faire l'acquisition d'un équipement 300mm de dépôt de matériaux diélectriques conformes pour différents niveaux FEOL et MOL des...”
Description du marché
Le CEA-LETI souhaite faire l'acquisition d'un équipement 300mm de dépôt de matériaux diélectriques conformes pour différents niveaux FEOL et MOL des transistors FDSOI au nœud technologique 10nm et au-delà. Au regard des spécifications exigées pour ces dépôts, il est attendu que les procédés soient basés sur la technique de PEALD.
- Options obligatoires :
• Un réacteur de dépôt SiO2 dense et conforme
• Un réacteur de dépôt SiN conforme
4️⃣ Champ d'application du marché
Titre: Equipement de dépôt diélectriques par PECVD pour remplissage FEOL
Titre
Numéro d'identification du lot: 4
Description
Description du marché:
“Le CEA-LETI souhaite faire l'acquisition d'un équipement 300mm de dépôt de diélectriques pour le remplissage de structures FEOL. Les procédés de dépôts...”
Description du marché
Le CEA-LETI souhaite faire l'acquisition d'un équipement 300mm de dépôt de diélectriques pour le remplissage de structures FEOL. Les procédés de dépôts utilisés devront permettre le remplissage sans vide de tranchées aux facteurs de forme agressifs, tels que requis pour les noeuds technologiques 10nm et au-delà.
5️⃣ Champ d'application du marché
Titre: Equipement de dépôt diélectriques low-k pour damascene BEOL
Titre
Numéro d'identification du lot: 5
Description
Description du marché:
“Le CEA-LETI souhaite faire l'acquisition d'un équipement 300mm de dépôt de matériaux à faible constante diélectrique (low-k) pour la réalisation des...”
Description du marché
Le CEA-LETI souhaite faire l'acquisition d'un équipement 300mm de dépôt de matériaux à faible constante diélectrique (low-k) pour la réalisation des interconnexions de transistors FDSOI au nœud technologique 10nm et au-delà. L'équipement devra comporter plusieurs chambres afin de réaliser l'empilement diélectrique complet nécessaire dans cette intégration : matériau low-k mais aussi couche de barrière de diffusion et couche d'encapsulation.
- Options obligatoires :
• Purge azote des FOUP
Informations juridiques, économiques, financières et techniques Conditions de participation
Liste et brève description des conditions:
“Le candidat fournira à l’appui de sa candidature :
- le formulaire DC1 (Lettre de candidature et habilitation du mandataire par ses cotraitants) ou...”
Liste et brève description des conditions
Le candidat fournira à l’appui de sa candidature :
- le formulaire DC1 (Lettre de candidature et habilitation du mandataire par ses cotraitants) ou équivalent,
- le formulaire DC2 (Déclaration du candidat individuel ou du membre du groupement) ou équivalent.
Ces formulaires sont disponibles sur le site Internet suivant :
http://www.economie.gouv.fr/daj/formulaires-declaration-du-candidat
- la copie du ou des jugements prononcés s’il est en redressement judiciaire ou dans une procédure étrangère
équivalente.
- lorsqu’il appartient à un groupe, une attestation certifiant de son autonomie commerciale et de sa situation de
concurrence vis à vis des autres entreprises du groupe.
Les opérateurs économiques ont l’obligation de déposer leurs candidatures et offres par voie électronique sur
PLACE, sauf dans les cas prévus par l’article R2132-12 du CCP..
Le candidat peut présenter sa candidature sous la forme d’un document unique de marché européen
(DUME), en lieu et place des documents mentionnés à l’article R2143-3 du Code de la commande publique,
téléchargeable à l’adresse suivante : https://ec.europa.eu/tools/espd/filter?lang=fr
Afficher plus Situation économique et financière
Critères de sélection énoncés dans les documents de passation de marchés
Capacité technique et professionnelle
Critères de sélection énoncés dans les documents de passation de marchés
Procédure Type de procédure
Procédure ouverte
Informations administratives
Délai de réception des offres ou des demandes de participation: 2022-09-19
16:00 📅
Langues dans lesquelles les offres ou les demandes de participation peuvent être présentées: anglais 🗣️
Langues dans lesquelles les offres ou les demandes de participation peuvent être présentées: français 🗣️
Conditions d'ouverture des offres: 2022-09-19
16:30 📅
Informations complémentaires Organe de révision
Nom: Tribunal administratif de grenoble
Adresse postale: 2 Place de Verdun
Commune postale: Grenoble
Code postal: 38000
Pays: France 🇫🇷
Téléphone: +4 76429000📞
Courrier électronique: greffe.ta-grenoble@juradm.fr📧
Fax: +4 76422269 📠
URL: http://grenoble.tribunal-administratif.fr/🌏 Procédure d'examen
Informations précises sur le(s) délai(s) des procédures d'examen:
“Le référé précontractuel peut être introduit depuis le début de la procédure de passation jusqu’à la signature du marché.
Le référé contractuel peut être...”
Informations précises sur le(s) délai(s) des procédures d'examen
Le référé précontractuel peut être introduit depuis le début de la procédure de passation jusqu’à la signature du marché.
Le référé contractuel peut être introduit dans les conditions des articles L.551-13 et suivants du Code de justice administrative.
Le recours en contestation de la validité du marché par un tiers peut être intenté dans un délai de deux mois à compter des mesures de publicité appropriées.
Afficher plus Service auprès duquel des informations sur la procédure de recours peuvent être obtenues
Nom: Greffe tribunal administratif de grenoble
Adresse postale: 2 Place de Verdun
Commune postale: Grenoble
Code postal: 38000
Pays: France 🇫🇷
Téléphone: +4 76429000📞
Courrier électronique: greffe.ta-grenoble@juradm.fr📧
Fax: +4 76422269 📠
URL: http://grenoble.tribunal-administratif.fr/🌏
Source: OJS 2022/S 155-440481 (2022-08-08)
Avis d'attribution de marché (2022-09-27) Objet Informations sur les lots
Ce contrat est divisé en lots ✅ Critères d'attribution
Critère de qualité (nom): Performances des process
Critère de qualité (pondération): 35%
Critère de qualité (nom): Qualité matérielle et capabilité hardware
Critère de qualité (pondération): 20%
Prix (pondération): 45%
Critère de qualité (nom): Performance des process
Procédure Informations administratives
Publication précédente concernant cette procédure: 2022/S 155-440481
Attribution du marché
1️⃣
Numéro d'identification du lot: 1
Titre: Equipement de dépôt métaux par PVD pour empilement de grille
Informations sur les non-lauréats
Aucune offre ou demande de participation n'a été reçue ou toutes ont été rejetées
2️⃣
Numéro de contrat: 2
Numéro d'identification du lot: 2
Titre: Equipement de dépôt électrochimique de cuivre pour damascene BEOL
3️⃣
Numéro de contrat: 3
Numéro d'identification du lot: 3
Titre: Equipement de dépôt diélectriques conformes pour applications FEOL/MOL
4️⃣
Numéro de contrat: 4
Numéro d'identification du lot: 4
Titre: Equipement de dépôt diélectriques par PECVD pour remplissage FEOL
5️⃣
Numéro de contrat: 5
Numéro d'identification du lot: 5
Titre: Equipement de dépôt diélectriques low-k pour damascene BEOL
Source: OJS 2022/S 189-533139 (2022-09-27)
Avis d'attribution de marché (2023-01-17) Objet Champ d'application du marché
Titre:
“Fourniture de l'équipement de dépôt diélectriques conformes pour applications FEOL/MOL
B22-05671-LS”
Brève description:
“La procédure a pour objet la fourniture d'un équipement de dépôt diélectriques conformes pour applications FEOL/MOL”
Valeur totale du marché (hors TVA): EUR 1 💰
Description
Description du marché:
“La procédure a pour objet la fourniture d'un équipement de dépôt diélectriques conformes pour applications FEOL/MOL.
Options obligatoires :
- Un réacteur de...”
Description du marché
La procédure a pour objet la fourniture d'un équipement de dépôt diélectriques conformes pour applications FEOL/MOL.
Options obligatoires :
- Un réacteur de dépôt SiO2 dense et conforme
- Un réacteur de dépôt SiN conforme
Options facultatives :
- Echangeurs de chaleur et systèmes de refroidissement
- Transformateur électrique
- Seconde année de garantie
- Garantie avec couverture temporelle étendue
Afficher plus Critères d'attribution
Critère de qualité (nom): Procédé 1
Critère de qualité (pondération): 10%
Critère de qualité (nom): Procédé 2
Critère de qualité (nom): Procédé 3
Critère de qualité (pondération): 6%
Critère de qualité (nom): Autres procédés
Critère de qualité (pondération): 9%
Procédure Type de procédure
Procédure concurrentielle avec négociation
Informations administratives
Publication précédente concernant cette procédure: 2022/S 189-533139
Attribution du marché
Date de conclusion du contrat: 2022-12-21 📅
Informations sur les appels d'offres
Nombre d'offres reçues: 1
Nom et adresse du contractant
Nom: LAM RESEARCH, International Sdn. Bhd
Commune postale: Penang
Pays: Malaisie 🇲🇾
Région: my 🏙️
Le contractant est une PME
Information sur la valeur du contrat/lot (hors TVA)
Valeur totale du contrat/lot: EUR 1 💰
“Modalités de consultation du marché : un exemplaire du marché est disponible auprès du CEA dont les coordonnées sont précisées à la section I du présent...”
Modalités de consultation du marché : un exemplaire du marché est disponible auprès du CEA dont les coordonnées sont précisées à la section I du présent avis. La consultation s’effectue dans le respect des secrets protégés par la loi.
Les cases relatives au montant du marché ont été complétées au II.1.7 et au V.2.4 par la valeur "1,00" uniquement pour pouvoir valider et publier l'avis d'attribution. Les valeurs indiquées dans ces champs ne sont donc pas à prendre en compte.
Afficher plus
Source: OJS 2023/S 015-036821 (2023-01-17)
Avis d'attribution de marché (2023-01-17) Objet Champ d'application du marché
Titre:
“Fourniture de l’équipement de dépôt diélectriques par PECVD pour remplissage FEOL
B22-05674-LS”
Brève description:
“La procédure a pour objet la fourniture de l’équipement de dépôt diélectriques par PECVD pour remplissage FEOL”
Valeur totale du marché (hors TVA): EUR 1 💰
Description
Description du marché:
“La procédure a pour objet la fourniture de l’équipement de dépôt diélectriques par PECVD pour remplissage FEOL.
Options facultatives :
- Echangeurs de...”
Description du marché
La procédure a pour objet la fourniture de l’équipement de dépôt diélectriques par PECVD pour remplissage FEOL.
Options facultatives :
- Echangeurs de chaleur et systèmes de refroidissement
- Transformateur électrique
- Seconde année de garantie
- Garantie avec couverture temporelle étendue
- Le prix du transport, assurance comprise, selon les conditions DAP
CEA Grenoble (Convention Incoterms ICC 2020)
Afficher plus Critères d'attribution
Critère de qualité (pondération): 25%
Attribution du marché
Date de conclusion du contrat: 2022-12-22 📅
Nom et adresse du contractant
Nom: Applied materials south east asia pte ltd
Commune postale: Singapour
Pays: Singapour 🇸🇬
Région: sg 🏙️ Information sur la valeur du contrat/lot (hors TVA)
Valeur totale du contrat/lot: EUR 1 💰
Source: OJS 2023/S 015-037468 (2023-01-17)
Avis d'attribution de marché (2023-01-17) Objet Champ d'application du marché
Titre:
“Fourniture de l'équipement de dépôt diélectriques low-k pour damascene BEOL
B22-05674-LS”
Brève description:
“La procédure a pour objet la fourniture de l'équipement de dépôt diélectriques low-k pour damascene BEOL”
Valeur totale du marché (hors TVA): EUR 1 💰
Description
Description du marché:
“La procédure a pour objet la fourniture de l'équipement de dépôt diélectriques low-k pour damascene BEOL.
Option obligatoire :
- Purge azote des...”
Description du marché
La procédure a pour objet la fourniture de l'équipement de dépôt diélectriques low-k pour damascene BEOL.
Option obligatoire :
- Purge azote des FOUP
Options facultatives :
- Echangeurs de chaleur et systèmes de refroidissement
- Transformateur électrique
- Seconde année de garantie
- Garantie avec couverture temporelle étendue
- Le prix du transport, assurance comprise, selon les conditions DAP
CEA Grenoble (Convention Incoterms ICC 2020)
Afficher plus Critères d'attribution
Critère de qualité (nom): Procédé 5
Critère de qualité (pondération): 14%
Attribution du marché Information sur la valeur du contrat/lot (hors TVA)
Valeur totale du contrat/lot: EUR 1 💰
Source: OJS 2023/S 015-038829 (2023-01-17)
Avis d'attribution de marché (2023-01-17) Objet Champ d'application du marché
Titre:
“Fourniture d’un équipement de dépôt électrochimique de cuivre damascene BEOL.
B22-05671-LS”
Brève description:
“La procédure a pour objet la fourniture d'un équipement de dépôt électrochimique de cuivre damascene BEOL”
Valeur totale du marché (hors TVA): EUR 1 💰
Description
Description du marché:
“La procédure a pour objet la fourniture d'un équipement de dépôt électrochimique de cuivre damascene BEOL.
Options obligatoires :
- Purge azote des FOUP
-...”
Description du marché
La procédure a pour objet la fourniture d'un équipement de dépôt électrochimique de cuivre damascene BEOL.
Options obligatoires :
- Purge azote des FOUP
- Chambre preclean sous vide avant dépôt Cobalt
- Chambre de dépôt électrolytique pour remplissage Cobalt
Options facultatives :
- Echangeurs de chaleur et systèmes de refroidissement
- Transformateur électrique
- Seconde année de garantie
- Garantie avec couverture temporelle étendue
- Système de dosage des constituants du bain d’électrolyte
Afficher plus Critères d'attribution
Critère de qualité (pondération): 15%
Attribution du marché Nom et adresse du contractant
Nom: LAM RESEARCH, International Sdn. Bhd,
Information sur la valeur du contrat/lot (hors TVA)
Valeur totale du contrat/lot: EUR 1 💰
Source: OJS 2023/S 015-040660 (2023-01-17)
Avis d'attribution de marché (2023-01-17) Objet Champ d'application du marché
Titre:
“Fourniture d'un équipement de dépôt métaux par PVD pour empilement de grille
B22-05664-LS”
Brève description:
“La procédure a pour objet la fourniture d'un équipement de dépôt métaux par PVD pour empilement de grille.”
Valeur totale du marché (hors TVA): EUR 1 💰
Description
Description du marché:
“La procédure a pour objet la fourniture d'un équipement de dépôt métaux par PVD pour empilement de grille.
Options facultatives :
- Interfaçage avec un...”
Description du marché
La procédure a pour objet la fourniture d'un équipement de dépôt métaux par PVD pour empilement de grille.
Options facultatives :
- Interfaçage avec un module de transfert sous vide Adixen
- Echangeurs de chaleur et systèmes de refroidissement
- Transformateur électrique
- Seconde année de garantie
- Garantie avec couverture temporelle étendue
Afficher plus Critères d'attribution
Critère de qualité (pondération): 4%
Critère de qualité (pondération): 27%
Attribution du marché Nom et adresse du contractant
Nom: Canon europa n.v.
Commune postale: Amstelveen
Pays: Pays-Bas 🇳🇱
Région: Friesland (NL) 🏙️ Information sur la valeur du contrat/lot (hors TVA)
Valeur totale du contrat/lot: EUR 1 💰
Source: OJS 2023/S 015-041827 (2023-01-17)