Le CEA-LETI souhaite acquérir un équipement de four de recuit rapide dans le cadre de ses activités
de recherche et développement en microélectronique. L’équipement souhaité sera capable de réaliser des recuits thermiques rapides sur des plaques Silicium ou III-V, allant de l’échantillon aux plaques de diamètre 200 et 300mm. Il sera constitué d’un réacteur unique avec chargement manuel par défaut. Une configuration optionnelle inclura un robot pour chargement automatique et une station de refroidissement pour les plaques de diamètre 200 et 300mm. L’équipement sera capable de faire des recuits dans la gamme de température 200 – 1200°C. Les rampes de température seront des rampes de montée et descente typique de celles d’un RTP, avec des valeurs de chauffage / refroidissement de 10°C/min à 100°C/s. Les durées des paliers seront d’une 1s (spike) à 5minutes.
Date limite
Le délai de réception des offres était de 2022-04-18.
L'appel d'offres a été publié le 2022-03-14.
Objet Champ d'application du marché
Titre: Equipement de four de recuit rapide (RTP)
B22-01418-ST
Produits/services: Machines et appareils microélectroniques et microsystèmes📦
Brève description:
“Le CEA-LETI souhaite acquérir un équipement de four de recuit rapide dans le cadre de ses activités
de recherche et développement en microélectronique....”
Brève description
Le CEA-LETI souhaite acquérir un équipement de four de recuit rapide dans le cadre de ses activités
de recherche et développement en microélectronique. L’équipement souhaité sera capable de réaliser des recuits thermiques rapides sur des plaques Silicium ou III-V, allant de l’échantillon aux plaques de diamètre 200 et 300mm. Il sera constitué d’un réacteur unique avec chargement manuel par défaut. Une configuration optionnelle inclura un robot pour chargement automatique et une station de refroidissement pour les plaques de diamètre 200 et 300mm. L’équipement sera capable de faire des recuits dans la gamme de température 200 – 1200°C. Les rampes de température seront des rampes de montée et descente typique de celles d’un RTP, avec des valeurs de chauffage / refroidissement de 10°C/min à 100°C/s. Les durées des paliers seront d’une 1s (spike) à 5minutes.
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Lieu d'exécution: Isère🏙️
Description du marché:
“Le CEA-LETI souhaite acquérir un équipement de four de recuit rapide dans le cadre de ses activités
de recherche et développement en microélectronique....”
Description du marché
Le CEA-LETI souhaite acquérir un équipement de four de recuit rapide dans le cadre de ses activités
de recherche et développement en microélectronique. L’équipement souhaité sera capable de réaliser des recuits thermiques rapides sur des plaques Silicium ou III-V, allant de l’échantillon aux plaques de diamètre 200 et 300mm. Il sera constitué d’un réacteur unique avec chargement manuel par défaut. Une configuration optionnelle inclura un robot pour chargement automatique et une station de refroidissement pour les plaques de diamètre 200 et 300mm. L’équipement sera capable de faire des recuits dans la gamme de température 200 – 1200°C. Les rampes de température seront des rampes de montée et descente typique de celles d’un RTP, avec des valeurs de chauffage / refroidissement de 10°C/min à 100°C/s. Les durées des paliers seront d’une 1s (spike) à 5minutes.
Afficher plus Critères d'attribution
Le prix n'est pas le seul critère d'attribution et tous les critères ne sont énoncés que dans les documents de passation de marchés
Durée de l'accord
Date de début: 2022-06-01 📅
Informations juridiques, économiques, financières et techniques Conditions de participation
Liste et brève description des conditions:
“Liste et description succincte des conditions:
- le formulaire DC1 (Lettre de candidature et habilitation du mandataire par ses cotraitants) ou une lettre...”
Liste et brève description des conditions
Liste et description succincte des conditions:
- le formulaire DC1 (Lettre de candidature et habilitation du mandataire par ses cotraitants) ou une lettre de candidature signée par une personne habilitée à engager le candidat ou habilitant le mandataire d’un groupement à représenter le groupement accompagnée d'une attestation sur l'honneur contenant l'ensemble des informations demandées à la page 3 de ce formulaire.
- le formulaire DC2 (Déclaration du candidat individuel ou du membre du groupement) (ou équivalent).
Ces formulaires sont disponibles sur le site Internet suivant :
http://www.economie.gouv.fr/daj/formulaires-marches-publics
ou un document unique de marché européen (DUME) disponible sur https://ec.europa.eu/tools/espd/filter?lang=fr
-lorsqu’il appartient à un groupe, une attestation certifiant de son autonomie commerciale et de sa situation de concurrence vis à vis des autres entreprises du groupe.
Afficher plus Situation économique et financière
Critères de sélection énoncés dans les documents de passation de marchés
Capacité technique et professionnelle
Critères de sélection énoncés dans les documents de passation de marchés
Procédure Type de procédure
Procédure ouverte
Informations administratives
Délai de réception des offres ou des demandes de participation: 2022-04-18
12:00 📅
Langues dans lesquelles les offres ou les demandes de participation peuvent être présentées: anglais 🗣️
Langues dans lesquelles les offres ou les demandes de participation peuvent être présentées: français 🗣️
Conditions d'ouverture des offres: 2022-04-18
12:00 📅
Informations complémentaires Organe de révision
Nom: Tribunal administratif de grenoble
Adresse postale: 2 Place de Verdun
Commune postale: Grenoble
Code postal: 38000
Pays: France 🇫🇷
Téléphone: +33 476429000📞
Courrier électronique: greffe.ta-grenoble@juradm.fr📧
Fax: +33 476422269 📠
URL: http://grenoble.tribunal-administratif.fr/🌏 Service auprès duquel des informations sur la procédure de recours peuvent être obtenues
Nom: Greffe tribunal administratif de grenoble
Adresse postale: 2 Place de Verdun
Commune postale: Grenoble
Code postal: 38000
Pays: France 🇫🇷
Téléphone: +33 476429000📞
Courrier électronique: greffe.ta-grenoble@juradm.fr📧
Fax: +33 476422269 📠
URL: http://grenoble.tribunal-administratif.fr/🌏
Source: OJS 2022/S 055-140827 (2022-03-14)
Avis d'attribution de marché (2022-05-25) Objet Critères d'attribution
Critère de qualité (nom): Performances process / chapitre 3
Critère de qualité (pondération): 20
Critère de qualité (nom): Compatibilité multi-tailles (telle que mentionnée au chapitres 1 et 4.3.1)
Critère de qualité (pondération): 5
Critère de qualité (nom): Sécurité pour le traitement de matériaux III-V et Pb (chapitre 4.1.3)
Critère de qualité (nom): Configuration hardware (chapitres 1 et 4)
Critère de qualité (nom):
“Compatibilité industrielle de l’équipement proposé (références demandées au chapitre 1)”
Critère de qualité (nom): Automatisation de l’équipement en 200 et 300mm (chapitre 1)
Critère de qualité (nom): Délais
Prix (pondération): 50
Procédure Informations administratives
Publication précédente concernant cette procédure: 2022/S 055-140827
Attribution du marché
1️⃣
Titre: Equipement de four de recuit rapide (RTP)
Informations sur les non-lauréats
Aucune offre ou demande de participation n'a été reçue ou toutes ont été rejetées
Informations complémentaires Informations complémentaires
Le CEA relance une procédure avec négociation référencée B22-03443-ST
Source: OJS 2022/S 103-288960 (2022-05-25)