Le CEA/LETI souhaite acheter un équipement de stripping en phase liquide pour des applications microélectroniques en salle blanche.
L’équipement devra traiter des plaques 200mm par lots et fonctionner par aspersion (équipement de type « batch spray »).
Il sera destiné à retirer des résines photosensibles et à nettoyer des polymères de gravure en utilisant une chimie à base d’acide sulfurique et de peroxyde d’hydrogène (acide de Caro ou SPM) et une solution de nettoyage dite « SC1 » (mélange eau désionisée / ammoniaque / peroxyde d’hydrogène), après des procédés courants tels que la photolithographie, l’implantation ionique, la gravure plasma ou l’élimination de résines photosensibles par plasma.
Afin d’assurer la sécurité des opérateurs et la qualité des plaques traitées, la préparation des chimie et les procédés sur plaques devront être entièrement automatisés.
Cet équipement sera installé dans la salle blanche du bâtiment 4101 au LETI et sera opéré en service continu 24/24.
Date limite
Le délai de réception des offres était de 2021-11-29.
L'appel d'offres a été publié le 2021-10-27.
Fournisseurs
Les fournisseurs suivants sont mentionnés dans les décisions d'attribution ou dans d'autres documents relatifs aux marchés publics :
Objet Champ d'application du marché
Titre: Fourniture d’un équipement de stripping wet batch spray 200mm
B21-06332-SN
Produits/services: Machines et appareils microélectroniques📦
Brève description:
“Le CEA/LETI souhaite acheter un équipement de stripping en phase liquide pour des applications microélectroniques en salle blanche.
L’équipement devra...”
Brève description
Le CEA/LETI souhaite acheter un équipement de stripping en phase liquide pour des applications microélectroniques en salle blanche.
L’équipement devra traiter des plaques 200mm par lots et fonctionner par aspersion (équipement de type « batch spray »).
Il sera destiné à retirer des résines photosensibles et à nettoyer des polymères de gravure en utilisant une chimie à base d’acide sulfurique et de peroxyde d’hydrogène (acide de Caro ou SPM) et une solution de nettoyage dite « SC1 » (mélange eau désionisée / ammoniaque / peroxyde d’hydrogène), après des procédés courants tels que la photolithographie, l’implantation ionique, la gravure plasma ou l’élimination de résines photosensibles par plasma.
Afin d’assurer la sécurité des opérateurs et la qualité des plaques traitées, la préparation des chimie et les procédés sur plaques devront être entièrement automatisés.
Cet équipement sera installé dans la salle blanche du bâtiment 4101 au LETI et sera opéré en service continu 24/24.
1️⃣
Lieu d'exécution: Isère🏙️
Site principal ou lieu d'exécution: CEA Grenoble - Conditions d'accès règlementées
Description du marché:
“Le CEA/LETI souhaite acheter un équipement de stripping en phase liquide pour des applications microélectroniques en salle blanche.
L’équipement devra...”
Description du marché
Le CEA/LETI souhaite acheter un équipement de stripping en phase liquide pour des applications microélectroniques en salle blanche.
L’équipement devra traiter des plaques 200mm par lots et fonctionner par aspersion (équipement de type « batch spray »).
Il sera destiné à retirer des résines photosensibles et à nettoyer des polymères de gravure en utilisant une chimie à base d’acide sulfurique et de peroxyde d’hydrogène (acide de Caro ou SPM) et une solution de nettoyage dite « SC1 » (mélange eau désionisée / ammoniaque / peroxyde d’hydrogène), après des procédés courants tels que la photolithographie, l’implantation ionique, la gravure plasma ou l’élimination de résines photosensibles par plasma.
Afin d’assurer la sécurité des opérateurs et la qualité des plaques traitées, la préparation des chimie et les procédés sur plaques devront être entièrement automatisés.
Cet équipement sera installé dans la salle blanche du bâtiment 4101 au LETI et sera opéré en service continu 24/24.
Afficher plus Critères d'attribution
Le prix n'est pas le seul critère d'attribution et tous les critères ne sont énoncés que dans les documents de passation de marchés
Durée du contrat, de l'accord-cadre ou du système d'acquisition dynamique
Le délai ci-dessous est exprimé en nombre de mois.
Description
Durée de l'accord: 12
Informations sur les variantes
Les variantes sont acceptées ✅
Informations juridiques, économiques, financières et techniques Conditions de participation
Liste et brève description des conditions:
“Le candidat fournira à l’appui de sa candidature :
- le formulaire DC1 (Lettre de candidature et habilitation du mandataire par ses cotraitants) ou...”
Liste et brève description des conditions
Le candidat fournira à l’appui de sa candidature :
- le formulaire DC1 (Lettre de candidature et habilitation du mandataire par ses cotraitants) ou équivalent,
- le formulaire DC2 (Déclaration du candidat individuel ou du membre du groupement) ou équivalent.
Ces formulaires sont disponibles sur le site Internet suivant :
http://www.economie.gouv.fr/daj/formulaires-declaration-du-candidat
- la copie du ou des jugements prononcés s’il est en redressement judiciaire ou dans une procédure étrangère équivalente.
- lorsqu’il appartient à un groupe, une attestation certifiant de son autonomie commerciale et de sa situation de concurrence vis à vis des autres entreprises du groupe.
Les opérateurs économiques ont l’obligation de déposer leurs candidatures et offres par voie électronique sur PLACE, sauf dans les cas prévus par l’article R2132-12 du CCP..
Le candidat peut présenter sa candidature sous la forme d’un document unique de marché européen (DUME), en lieu et place des documents mentionnés à l’article R2143-3 du Code de la commande publique, téléchargeable à l’adresse suivante : https://ec.europa.eu/tools/espd/filter?lang=fr
Afficher plus Situation économique et financière
Critères de sélection énoncés dans les documents de passation de marchés
Capacité technique et professionnelle
Critères de sélection énoncés dans les documents de passation de marchés
Procédure Type de procédure
Procédure ouverte
Informations administratives
Délai de réception des offres ou des demandes de participation: 2021-11-29
12:00 📅
Langues dans lesquelles les offres ou les demandes de participation peuvent être présentées: anglais 🗣️
Langues dans lesquelles les offres ou les demandes de participation peuvent être présentées: français 🗣️
Le délai ci-dessous est exprimé en nombre de mois.
Délai minimum pendant lequel le soumissionnaire doit maintenir l'offre: 4
Conditions d'ouverture des offres: 2021-11-29
12:00 📅
Conditions d'ouverture des offres (Informations sur les personnes autorisées et la procédure d'ouverture):
“Cette date est facultative au regard de l'absence d'obligation, en droit français de la renseigner.”
“Les entreprises nouvellement créées sont autorisées à présenter leur candidature. Si elles ne sont pas en mesure de produire certains des documents demandés...”
Les entreprises nouvellement créées sont autorisées à présenter leur candidature. Si elles ne sont pas en mesure de produire certains des documents demandés dans le présent avis de marché, elles peuvent justifier de leurs capacités financières et professionnelles par d’autres moyens que ceux indiqués dans le présent avis et notamment par la présentation de titres ou de l’expérience professionnelle du ou de leurs responsables.
Le présent avis et/ou les documents de la consultation doivent être retirés sur https://www.marches-publics.gouv.fr .
Modalités d’obtention du Dossier de Consultation :
Pour obtenir le dossier de consultation des entreprises, le candidat devra le télécharger via la plateforme de dématérialisation des procédures de passation des marchés du CEA accessible sur l’URL suivante : https://www.marches-publics.gouv.fr
Modalités de transmission des candidatures et des offres :
Les modalités de dépôt des candidatures et des offres sont précisées dans le règlement de consultation.
Après examen de la conformité administrative du dossier de candidature, le CEA procédera à l'analyse et à la sélection des candidatures conformément aux critères de jugement des candidatures suivants :
- capacité professionnelle : aptitude technique, organisation en matière d’assurance qualité, références sur des prestations similaires/des fournitures similaires
- capacité financière.
Afficher plus Organe de révision
Nom: Tribunal administratif de grenoble
Adresse postale: 2 Place de Verdun
Commune postale: Grenoble
Code postal: 38000
Pays: France 🇫🇷
Téléphone: +33 476429000📞
Courrier électronique: greffe.ta-grenoble@juradm.fr📧
Fax: +33 476422269 📠
URL: http://grenoble.tribunal-administratif.fr/🌏 Procédure d'examen
Informations précises sur le(s) délai(s) des procédures d'examen:
“Le référé précontractuel peut être introduit depuis le début de la procédure de passation jusqu’à la signature du marché.
Le référé contractuel peut être...”
Informations précises sur le(s) délai(s) des procédures d'examen
Le référé précontractuel peut être introduit depuis le début de la procédure de passation jusqu’à la signature du marché.
Le référé contractuel peut être introduit dans les conditions des articles L.551-13 et suivants du Code de justice administrative.
Le recours en contestation de la validité du marché par un tiers peut être intenté dans un délai de deux mois à compter des mesures de publicité appropriées.
Afficher plus Service auprès duquel des informations sur la procédure de recours peuvent être obtenues
Nom: Greffe tribunal administratif de grenoble
Adresse postale: 2 Place de Verdun
Commune postale: Grenoble
Code postal: 38000
Pays: France 🇫🇷
Téléphone: +33 476429000📞
Courrier électronique: greffe.ta-grenoble@juradm.fr📧
Fax: +33 476422269 📠
URL: http://grenoble.tribunal-administratif.fr/🌏
Source: OJS 2021/S 211-550988 (2021-10-27)
Avis d'attribution de marché (2021-12-22) Objet Champ d'application du marché
Valeur totale du marché (hors TVA): EUR 1 💰
Critères d'attribution
Critère de qualité (nom):
“Atteinte des performances process de l’équipement par rapport aux spécifications cibles reprises au $3 du cahier des charges”
Critère de qualité (pondération): 30
Critère de qualité (nom): Délais d’intervention pendant la période de garantie
Critère de qualité (pondération): 10
Critère de qualité (nom): Délais de livraison de l’équipement
Critère de qualité (pondération): 20
Prix (pondération): 40
Procédure Informations administratives
Publication précédente concernant cette procédure: 2021/S 211-550988
Attribution du marché
1️⃣
Titre: Fourniture d’un équipement de stripping wet batch spray 200mm
Date de conclusion du contrat: 2021-12-16 📅
Informations sur les appels d'offres
Nombre d'offres reçues: 2
Nom et adresse du contractant
Nom: SICONNEX SOLUTIONS SERVICE Gmbh
Adresse postale: Gewerbestrasse 2
Commune postale: Salzbourg
Code postal: 5322
Pays: Autriche 🇦🇹
Région: Salzburg 🏙️
Le contractant est une PME
Information sur la valeur du contrat/lot (hors TVA)
Valeur totale du contrat/lot: EUR 1 💰
“Modalités de consultation du marché : un exemplaire du marché est disponible auprès du CEA dont les coordonnées sont précisées à la section I du présent...”
Modalités de consultation du marché : un exemplaire du marché est disponible auprès du CEA dont les coordonnées sont précisées à la section I du présent avis. La consultation s’effectue dans le respect des secrets protégés par la loi.
Les cases relatives au montant du marché ont été complétées au II.1.7 et au V.2.4 par la valeur "1,00" uniquement pour pouvoir valider et publier l'avis d'attribution. Les valeurs indiquées dans ces champs ne sont donc pas à prendre en compte.
Afficher plus
Source: OJS 2021/S 251-666749 (2021-12-22)