Le CEA/LETI souhaite acquérir un équipement capable de gérer des plaquettes de silicium standard de 200 mm et de faire fonctionner 50 plaquettes simultanément à travers différentes séquences chimiques humides dans différents réservoirs. L'équipement sera utilisé pour le nettoyage ultra-FEND pour la fabrication avancée de CMOS ainsi que pour la technologie de collage de plaquettes (spécifications de particules inférieures à 90nm ou 70nm pour des séquences spécifiques). Le CEA/LETI recherche un équipement neuf ou d'occasion.
Date limite
Le délai de réception des offres était de 2021-11-04.
L'appel d'offres a été publié le 2021-10-04.
Fournisseurs
Les fournisseurs suivants sont mentionnés dans les décisions d'attribution ou dans d'autres documents relatifs aux marchés publics :
Objet Champ d'application du marché
Titre: Fourniture d'un équipement de nettoyage avancé en immersion 200mm
B21-05502-SN
Produits/services: Machines et appareils microélectroniques📦
Brève description:
“Le CEA/LETI souhaite acquérir un équipement capable de gérer des plaquettes de silicium standard de 200 mm et de faire fonctionner 50 plaquettes...”
Brève description
Le CEA/LETI souhaite acquérir un équipement capable de gérer des plaquettes de silicium standard de 200 mm et de faire fonctionner 50 plaquettes simultanément à travers différentes séquences chimiques humides dans différents réservoirs. L'équipement sera utilisé pour le nettoyage ultra-FEND pour la fabrication avancée de CMOS ainsi que pour la technologie de collage de plaquettes (spécifications de particules inférieures à 90nm ou 70nm pour des séquences spécifiques). Le CEA/LETI recherche un équipement neuf ou d'occasion.
1️⃣
Produits/services supplémentaires: Fournitures électroniques📦
Lieu d'exécution: Isère🏙️
Site principal ou lieu d'exécution: CEA Grenoble - Conditions d'accès règlementées
Description du marché:
“Le CEA/LETI souhaite acquérir un équipement capable de gérer des plaquettes de silicium standard de 200 mm et de faire fonctionner 50 plaquettes...”
Description du marché
Le CEA/LETI souhaite acquérir un équipement capable de gérer des plaquettes de silicium standard de 200 mm et de faire fonctionner 50 plaquettes simultanément à travers différentes séquences chimiques humides dans différents réservoirs. L'équipement sera utilisé pour le nettoyage ultra-FEND pour la fabrication avancée de CMOS ainsi que pour la technologie de collage de plaquettes (spécifications de particules inférieures à 90nm ou 70nm pour des séquences spécifiques). Le CEA/LETI recherche un équipement neuf ou d'occasion.
Afficher plus Critères d'attribution
Le prix n'est pas le seul critère d'attribution et tous les critères ne sont énoncés que dans les documents de passation de marchés
Durée du contrat, de l'accord-cadre ou du système d'acquisition dynamique
Le délai ci-dessous est exprimé en nombre de mois.
Description
Durée de l'accord: 12
Informations sur les variantes
Les variantes sont acceptées ✅
Informations juridiques, économiques, financières et techniques Conditions de participation
Liste et brève description des conditions:
“Le candidat fournira à l’appui de sa candidature :
- le formulaire DC1 (Lettre de candidature et habilitation du mandataire par ses cotraitants) ou...”
Liste et brève description des conditions
Le candidat fournira à l’appui de sa candidature :
- le formulaire DC1 (Lettre de candidature et habilitation du mandataire par ses cotraitants) ou équivalent,
- le formulaire DC2 (Déclaration du candidat individuel ou du membre du groupement) ou équivalent.
Ces formulaires sont disponibles sur le site Internet suivant :
http://www.economie.gouv.fr/daj/formulaires-declaration-du-candidat
- la copie du ou des jugements prononcés s’il est en redressement judiciaire ou dans une procédure étrangère équivalente.
- lorsqu’il appartient à un groupe, une attestation certifiant de son autonomie commerciale et de sa situation de concurrence vis à vis des autres entreprises du groupe.
Les opérateurs économiques ont l’obligation de déposer leurs candidatures et offres par voie électronique sur PLACE, sauf dans les cas prévus par l’article R2132-12 du CCP..
Le candidat peut présenter sa candidature sous la forme d’un document unique de marché européen (DUME), en lieu et place des documents mentionnés à l’article R2143-3 du Code de la commande publique, téléchargeable à l’adresse suivante : https://ec.europa.eu/tools/espd/filter?lang=fr
Afficher plus Situation économique et financière
Critères de sélection énoncés dans les documents de passation de marchés
Capacité technique et professionnelle
Critères de sélection énoncés dans les documents de passation de marchés
Procédure Type de procédure
Procédure ouverte
Informations administratives
Délai de réception des offres ou des demandes de participation: 2021-11-04
12:00 📅
Langues dans lesquelles les offres ou les demandes de participation peuvent être présentées: anglais 🗣️
Langues dans lesquelles les offres ou les demandes de participation peuvent être présentées: français 🗣️
Le délai ci-dessous est exprimé en nombre de mois.
Délai minimum pendant lequel le soumissionnaire doit maintenir l'offre: 4
Conditions d'ouverture des offres: 2021-11-04
13:00 📅
Conditions d'ouverture des offres (Informations sur les personnes autorisées et la procédure d'ouverture):
“Cette date est indicative au regard de l'absence d'obligation, en droit français, de le renseigner”
“Les entreprises nouvellement créées sont autorisées à présenter leur candidature. Si elles ne sont pas en mesure de produire certains des documents demandés...”
Les entreprises nouvellement créées sont autorisées à présenter leur candidature. Si elles ne sont pas en mesure de produire certains des documents demandés dans le présent avis de marché, elles peuvent justifier de leurs capacités financières et professionnelles par d’autres moyens que ceux indiqués dans le présent avis et notamment par la présentation de titres ou de l’expérience professionnelle du ou de leurs responsables.
Le présent avis et/ou les documents de la consultation doivent être retirés sur https://www.marches-publics.gouv.fr
Modalités d’obtention du Dossier de Consultation :
Pour obtenir le dossier de consultation des entreprises, le candidat devra le télécharger via la plateforme de dématérialisation des procédures de passation des marchés du CEA accessible sur l’URL suivante : https://www.marches-publics.gouv.fr
Modalités de transmission des candidatures et des offres :
Les modalités de dépôt des candidatures et des offres sont précisées dans le règlement de consultation.
Après examen de la conformité administrative du dossier de candidature, le CEA procédera à l'analyse et à la sélection des candidatures conformément aux critères de jugement des candidatures suivants :
- capacité professionnelle : aptitude technique, organisation en matière d’assurance qualité, références sur des prestations similaires/des fournitures similaires
- capacité financière.
Afficher plus Organe de révision
Nom: Tribunal administratif de grenoble
Adresse postale: 2 Place de Verdun
Commune postale: Grenoble
Code postal: 38000
Pays: France 🇫🇷
Téléphone: +33 476429000📞
Courrier électronique: greffe.ta-grenoble@juradm.fr📧
Fax: +33 476422269 📠
URL: http://grenoble.tribunal-administratif.fr/🌏 Procédure d'examen
Informations précises sur le(s) délai(s) des procédures d'examen:
“Le référé précontractuel peut être introduit depuis le début de la procédure de passation jusqu’à la signature du marché.
Le référé contractuel peut être...”
Informations précises sur le(s) délai(s) des procédures d'examen
Le référé précontractuel peut être introduit depuis le début de la procédure de passation jusqu’à la signature du marché.
Le référé contractuel peut être introduit dans les conditions des articles L.551-13 et suivants du Code de justice administrative.
Le recours en contestation de la validité du marché par un tiers peut être intenté dans un délai de deux mois à compter des mesures de publicité appropriées.
Afficher plus Service auprès duquel des informations sur la procédure de recours peuvent être obtenues
Nom: Greffe tribunal administratif de grenoble
Adresse postale: 2 Place de Verdun
Commune postale: Grenoble
Code postal: 38000
Pays: France 🇫🇷
Téléphone: +33 476429000📞
Courrier électronique: greffe.ta-grenoble@juradm.fr📧
Fax: +33 476422269 📠
URL: http://grenoble.tribunal-administratif.fr/🌏
Source: OJS 2021/S 196-508171 (2021-10-04)
Avis d'attribution de marché (2021-12-14) Objet Champ d'application du marché
Valeur totale du marché (hors TVA): EUR 1 💰
Critères d'attribution
Critère de qualité (nom):
“Performances en HF-last dans le module de séchage assisté par IPA (procédés B et H)”
Critère de qualité (pondération): 20
Critère de qualité (nom): Performances particulaires autres procédés
Critère de qualité (pondération): 10
Critère de qualité (nom):
“Configuration de l’équipement et capacité de l’équipement à atteindre les concentrations demandées des chimies listées”
Critère de qualité (nom):
“Délais d’intervention sur site / support à distance dans le cadre de la garantie”
Critère de qualité (pondération): 5
Prix (pondération): 55
Procédure Informations administratives
Publication précédente concernant cette procédure: 2021/S 196-508171
Attribution du marché
1️⃣
Titre: Fourniture d'un équipement de nettoyage avancé en immersion 200mm
Date de conclusion du contrat: 2021-12-13 📅
Informations sur les appels d'offres
Nombre d'offres reçues: 1
Nom et adresse du contractant
Nom: SCREEN SPE GERMANY Gmbh
Adresse postale: Fraunhoferstrasse 7
Commune postale: Ismaning
Code postal: D-85737
Pays: Allemagne 🇩🇪
Région: Bayern 🏙️
Le contractant est une PME
Information sur la valeur du contrat/lot (hors TVA)
Valeur totale du contrat/lot: EUR 1 💰
“Modalités de consultation du marché : un exemplaire du marché est disponible auprès du CEA dont les coordonnées sont précisées à la section I du présent...”
Modalités de consultation du marché : un exemplaire du marché est disponible auprès du CEA dont les coordonnées sont précisées à la section I du présent avis. La consultation s’effectue dans le respect des secrets protégés par la loi.
Les cases relatives au montant du marché ont été complétées au II.1.7 et au V.2.4 par la valeur "1,00" uniquement pour pouvoir valider et publier l'avis d'attribution. Les valeurs indiquées dans ces champs ne sont donc pas à prendre en compte.
Afficher plus
Source: OJS 2021/S 245-644532 (2021-12-14)