Fourniture d'un équipement de nettoyage avancé en immersion 200mm

CEA/Grenoble

Le CEA/LETI souhaite acquérir un équipement capable de gérer des plaquettes de silicium standard de 200 mm et de faire fonctionner 50 plaquettes simultanément à travers différentes séquences chimiques humides dans différents réservoirs. L'équipement sera utilisé pour le nettoyage ultra-FEND pour la fabrication avancée de CMOS ainsi que pour la technologie de collage de plaquettes (spécifications de particules inférieures à 90nm ou 70nm pour des séquences spécifiques). Le CEA/LETI recherche un équipement neuf ou d'occasion.

Date limite
Le délai de réception des offres était de 2021-11-04. L'appel d'offres a été publié le 2021-10-04.

Fournisseurs
Les fournisseurs suivants sont mentionnés dans les décisions d'attribution ou dans d'autres documents relatifs aux marchés publics :
Qui ?

Qu'est-ce que c'est ?

Où ?

Historique des marchés publics
Date Document
2021-10-04 Avis de marché
2021-12-14 Avis d'attribution de marché
Avis de marché (2021-10-04)
Pouvoir adjudicateur
Nom et adresse
Nom: CEA/Grenoble
Adresse postale: 17 avenue des martyrs
Commune postale: Grenoble
Code postal: 38054
Pays: France 🇫🇷
Personne de contact: Sophie Nègre
Téléphone: +33 438786771 📞
Courrier électronique: sophie.negre@cea.fr 📧
Région: Isère 🏙️
URL: www.cea.fr 🌏
Adresse du profil d'acheteur: https://www.marches-publics.gouv.fr 🌏
Communication
URL des documents: https://www.marches-publics.gouv.fr 🌏
URL de participation: https://www.marches-publics.gouv.fr 🌏

Objet
Champ d'application du marché
Titre: Fourniture d'un équipement de nettoyage avancé en immersion 200mm B21-05502-SN
Produits/services: Machines et appareils microélectroniques 📦
Brève description:
“Le CEA/LETI souhaite acquérir un équipement capable de gérer des plaquettes de silicium standard de 200 mm et de faire fonctionner 50 plaquettes...”    Afficher plus

1️⃣
Produits/services supplémentaires: Fournitures électroniques 📦
Lieu d'exécution: Isère 🏙️
Site principal ou lieu d'exécution: CEA Grenoble - Conditions d'accès règlementées
Description du marché:
“Le CEA/LETI souhaite acquérir un équipement capable de gérer des plaquettes de silicium standard de 200 mm et de faire fonctionner 50 plaquettes...”    Afficher plus
Critères d'attribution
Le prix n'est pas le seul critère d'attribution et tous les critères ne sont énoncés que dans les documents de passation de marchés
Durée du contrat, de l'accord-cadre ou du système d'acquisition dynamique
Le délai ci-dessous est exprimé en nombre de mois.
Description
Durée de l'accord: 12
Informations sur les variantes
Les variantes sont acceptées

Informations juridiques, économiques, financières et techniques
Conditions de participation
Liste et brève description des conditions:
“Le candidat fournira à l’appui de sa candidature : - le formulaire DC1 (Lettre de candidature et habilitation du mandataire par ses cotraitants) ou...”    Afficher plus
Situation économique et financière
Critères de sélection énoncés dans les documents de passation de marchés
Capacité technique et professionnelle
Critères de sélection énoncés dans les documents de passation de marchés

Procédure
Type de procédure
Procédure ouverte
Informations administratives
Délai de réception des offres ou des demandes de participation: 2021-11-04 12:00 📅
Langues dans lesquelles les offres ou les demandes de participation peuvent être présentées: anglais 🗣️
Langues dans lesquelles les offres ou les demandes de participation peuvent être présentées: français 🗣️
Le délai ci-dessous est exprimé en nombre de mois.
Délai minimum pendant lequel le soumissionnaire doit maintenir l'offre: 4
Conditions d'ouverture des offres: 2021-11-04 13:00 📅
Conditions d'ouverture des offres (Informations sur les personnes autorisées et la procédure d'ouverture):
“Cette date est indicative au regard de l'absence d'obligation, en droit français, de le renseigner”

Informations complémentaires
Informations complémentaires

“Les entreprises nouvellement créées sont autorisées à présenter leur candidature. Si elles ne sont pas en mesure de produire certains des documents demandés...”    Afficher plus
Organe de révision
Nom: Tribunal administratif de grenoble
Adresse postale: 2 Place de Verdun
Commune postale: Grenoble
Code postal: 38000
Pays: France 🇫🇷
Téléphone: +33 476429000 📞
Courrier électronique: greffe.ta-grenoble@juradm.fr 📧
Fax: +33 476422269 📠
URL: http://grenoble.tribunal-administratif.fr/ 🌏
Procédure d'examen
Informations précises sur le(s) délai(s) des procédures d'examen:
“Le référé précontractuel peut être introduit depuis le début de la procédure de passation jusqu’à la signature du marché. Le référé contractuel peut être...”    Afficher plus
Service auprès duquel des informations sur la procédure de recours peuvent être obtenues
Nom: Greffe tribunal administratif de grenoble
Adresse postale: 2 Place de Verdun
Commune postale: Grenoble
Code postal: 38000
Pays: France 🇫🇷
Téléphone: +33 476429000 📞
Courrier électronique: greffe.ta-grenoble@juradm.fr 📧
Fax: +33 476422269 📠
URL: http://grenoble.tribunal-administratif.fr/ 🌏
Source: OJS 2021/S 196-508171 (2021-10-04)
Avis d'attribution de marché (2021-12-14)
Objet
Champ d'application du marché
Valeur totale du marché (hors TVA): EUR 1 💰
Critères d'attribution
Critère de qualité (nom):
“Performances en HF-last dans le module de séchage assisté par IPA (procédés B et H)”
Critère de qualité (pondération): 20
Critère de qualité (nom): Performances particulaires autres procédés
Critère de qualité (pondération): 10
Critère de qualité (nom):
“Configuration de l’équipement et capacité de l’équipement à atteindre les concentrations demandées des chimies listées”
Critère de qualité (nom):
“Délais d’intervention sur site / support à distance dans le cadre de la garantie”
Critère de qualité (pondération): 5
Prix (pondération): 55

Procédure
Informations administratives
Publication précédente concernant cette procédure: 2021/S 196-508171

Attribution du marché

1️⃣
Titre: Fourniture d'un équipement de nettoyage avancé en immersion 200mm
Date de conclusion du contrat: 2021-12-13 📅
Informations sur les appels d'offres
Nombre d'offres reçues: 1
Nom et adresse du contractant
Nom: SCREEN SPE GERMANY Gmbh
Adresse postale: Fraunhoferstrasse 7
Commune postale: Ismaning
Code postal: D-85737
Pays: Allemagne 🇩🇪
Région: Bayern 🏙️
Le contractant est une PME
Information sur la valeur du contrat/lot (hors TVA)
Valeur totale du contrat/lot: EUR 1 💰

Informations complémentaires
Informations complémentaires

“Modalités de consultation du marché : un exemplaire du marché est disponible auprès du CEA dont les coordonnées sont précisées à la section I du présent...”    Afficher plus
Source: OJS 2021/S 245-644532 (2021-12-14)