Fourniture d’un équipement de Gravure multi-matériaux 200mm

CEA/Grenoble

Dans le cadre de ses activités de R&D pour différents projets sur les semi-conducteurs, le CEA Leti souhaite acquérir un nouvel équipement de gravure par plasma. Cet équipement manipulera des wafers au format 200mm, et doit être capable de graver, sur une même plateforme, différents types de matériaux : des diélectriques classiquement utilisés dans l’industrie de la microélectronique, comme des alliages de matériaux moins conventionnels (GaN, LNO, AlNSc…)

Date limite
Le délai de réception des offres était de 2021-11-22. L'appel d'offres a été publié le 2021-10-22.

Qui ?

Qu'est-ce que c'est ?

Où ?

Historique des marchés publics
Date Document
2021-10-22 Avis de marché
2021-11-19 Informations complémentaires
2022-02-10 Avis d'attribution de marché
Avis de marché (2021-10-22)
Pouvoir adjudicateur
Nom et adresse
Nom: CEA/Grenoble
Adresse postale: 17 avenue des martyrs
Commune postale: Grenoble
Code postal: 38054
Pays: France 🇫🇷
Personne de contact: Sophie Nègre
Téléphone: +33 438786771 📞
Courrier électronique: sophie.negre@cea.fr 📧
Région: Isère 🏙️
URL: www.cea.fr 🌏
Adresse du profil d'acheteur: https://www.marches-publics.gouv.fr 🌏
Communication
URL des documents: https://www.marches-publics.gouv.fr 🌏
URL de participation: https://www.marches-publics.gouv.fr 🌏

Objet
Champ d'application du marché
Titre: Fourniture d’un équipement de Gravure multi-matériaux 200mm B21-05380-SN
Produits/services: Machines et appareils microélectroniques 📦
Brève description:
“Dans le cadre de ses activités de R&D pour différents projets sur les semi-conducteurs, le CEA Leti souhaite acquérir un nouvel équipement de gravure par...”    Afficher plus

1️⃣
Lieu d'exécution: Isère 🏙️
Site principal ou lieu d'exécution: CEA Grenoble - Conditions d'accès règlementé
Description du marché:
“Dans le cadre de ses activités de R&D pour différents projets sur les semi-conducteurs, le CEA Leti souhaite acquérir un nouvel équipement de gravure par...”    Afficher plus
Critères d'attribution
Le prix n'est pas le seul critère d'attribution et tous les critères ne sont énoncés que dans les documents de passation de marchés
Durée du contrat, de l'accord-cadre ou du système d'acquisition dynamique
Le délai ci-dessous est exprimé en nombre de mois.
Description
Durée de l'accord: 12
Informations sur les variantes
Les variantes sont acceptées

Informations juridiques, économiques, financières et techniques
Conditions de participation
Liste et brève description des conditions:
“Le candidat fournira à l’appui de sa candidature : - le formulaire DC1 (Lettre de candidature et habilitation du mandataire par ses cotraitants) ou...”    Afficher plus
Situation économique et financière
Critères de sélection énoncés dans les documents de passation de marchés
Capacité technique et professionnelle
Critères de sélection énoncés dans les documents de passation de marchés

Procédure
Type de procédure
Procédure ouverte
Informations administratives
Délai de réception des offres ou des demandes de participation: 2021-11-22 16:00 📅
Langues dans lesquelles les offres ou les demandes de participation peuvent être présentées: anglais 🗣️
Langues dans lesquelles les offres ou les demandes de participation peuvent être présentées: français 🗣️
Le délai ci-dessous est exprimé en nombre de mois.
Délai minimum pendant lequel le soumissionnaire doit maintenir l'offre: 6
Conditions d'ouverture des offres: 2021-11-22 16:00 📅
Conditions d'ouverture des offres (Informations sur les personnes autorisées et la procédure d'ouverture):
“Cette date est indicative au regard de l'absence d'obligation, en droit français de la renseigner.”

Informations complémentaires
Informations complémentaires

“Les entreprises nouvellement créées sont autorisées à présenter leur candidature. Si elles ne sont pas en mesure de produire certains des documents demandés...”    Afficher plus
Organe de révision
Nom: Tribunal administratif de grenoble
Adresse postale: 2 Place de Verdun
Commune postale: Grenoble
Code postal: 38000
Pays: France 🇫🇷
Téléphone: +33 476429000 📞
Courrier électronique: greffe.ta-grenoble@juradm.fr 📧
Fax: +33 476422269 📠
URL: http://grenoble.tribunal-administratif.fr/ 🌏
Procédure d'examen
Informations précises sur le(s) délai(s) des procédures d'examen:
“Le référé précontractuel peut être introduit depuis le début de la procédure de passation jusqu’à la signature du marché. Le référé contractuel peut être...”    Afficher plus
Service auprès duquel des informations sur la procédure de recours peuvent être obtenues
Nom: Greffe tribunal administratif de grenoble
Adresse postale: 2 Place de Verdun
Commune postale: Grenoble
Code postal: 38000
Pays: France 🇫🇷
Téléphone: +33 476429000 📞
Courrier électronique: greffe.ta-grenoble@juradm.fr 📧
Fax: +33 476422269 📠
URL: http://grenoble.tribunal-administratif.fr/ 🌏
Source: OJS 2021/S 209-546556 (2021-10-22)
Informations complémentaires (2021-11-19)

Informations complémentaires
Référence de l'avis original
Numéro de l'avis au JO S: 2021/S 209-546556

Changements
Texte à corriger dans l'avis original
Numéro de section: IV.2.2
Ancienne valeur
Date: 2021-11-22 📅
L'heure: 16:00
Nouvelle valeur
Date: 2021-12-06 📅
L'heure: 16:00
Texte à corriger dans l'avis original
Numéro de section: IV.2.7
Ancienne valeur
Date: 2021-11-22 📅
L'heure: 16:00
Nouvelle valeur
Date: 2021-12-06 📅
L'heure: 16:00
Source: OJS 2021/S 228-600316 (2021-11-19)
Avis d'attribution de marché (2022-02-10)
Objet
Critères d'attribution
Critère de qualité (nom): Performance pour le process 5 (GaN)
Critère de qualité (pondération): 20
Critère de qualité (nom):
“Performance pour les process 3 et 4 (gravure Poly Si référence chambre ICP & stripping résine)”
Critère de qualité (pondération): 10
Critère de qualité (nom):
“Qualité matérielle et capabilité hardware (capabilité bias pulsing, plaques fort bow, Low power bias)”
Critère de qualité (nom):
“Qualité du support équipementier pendant période de garantie (notamment les délais d’intervention en cas de panne)”
Critère de qualité (pondération): 5
Critère de qualité (nom):
“- Optimisation du délai de livraison de l’équipement : le soumissionnaire qui aura l’optimisation la plus performante aura la notation la plus élevée pour...”    Afficher plus
Prix (pondération): 50

Procédure
Informations administratives
Publication précédente concernant cette procédure: 2021/S 209-546556

Attribution du marché

1️⃣
Titre: Fourniture d’un équipement de Gravure multi-matériaux 200mm
Informations sur les non-lauréats
Autres raisons (interruption de la procédure)

Informations complémentaires
Informations complémentaires
La présente procédure a été déclarée sans suite pour motif d'intérêt général.
Source: OJS 2022/S 032-081851 (2022-02-10)