Ellipsomètre/reflecto-mètre spectroscopique automatique

CEA/Grenoble

Le CEA Leti souhaite faire l’acquisition d’un équipement de mesure d’épaisseurs pour plaques silicium de diamètre 300 mm capable en option de traiter des plaques de 200 mm de diamètre.
Cet équipement devra permettre des mesures spectroscopique en réflectivité et en ellipsométrie, afin de déterminer les propriétés optique ainsi que les épaisseurs de couches minces variées (oxydes et nitrures de silicium, matériaux high-k, SiGe, SOI, etc.) et d’empilements de couches. Il devra pouvoir mesurer des plaques comportant ou non des motifs.
L’équipement sera installé dans la salle blanche micro-électronique du CEA-Leti et sera utilisé 24 h/24.

Date limite
Le délai de réception des offres était de 2020-04-08. L'appel d'offres a été publié le 2020-03-12.

Fournisseurs
Les fournisseurs suivants sont mentionnés dans les décisions d'attribution ou dans d'autres documents relatifs aux marchés publics :
Qui ?

Qu'est-ce que c'est ?

Où ?

Historique des marchés publics
Date Document
2020-03-12 Avis de marché
2020-03-19 Informations complémentaires
2020-10-15 Avis d'attribution de marché
Avis de marché (2020-03-12)
Pouvoir adjudicateur
Nom et adresse
Nom: CEA/Grenoble
Adresse postale: 17 rue des Martyrs
Commune postale: Grenoble Cedex 9
Code postal: 38054
Pays: France 🇫🇷
Personne de contact: Mme Charlotte Guerry
Téléphone: +33 438781938 📞
Courrier électronique: charlotte.guerry@cea.fr 📧
Région: Isère 🏙️
URL: www.cea.fr 🌏
Adresse du profil d'acheteur: https://www.marches-publics.gouv.fr 🌏
Communication
URL des documents: https://www.marches-publics.gouv.fr 🌏

Objet
Champ d'application du marché
Titre: Ellipsomètre/reflecto-mètre spectroscopique automatique B20-02001-CG
Produits/services: Machines et appareils microélectroniques 📦
Brève description:
“Le CEA Leti souhaite faire l’acquisition d’un équipement de mesure d’épaisseurs pour plaques silicium de diamètre 300 mm capable en option de traiter des...”    Afficher plus

1️⃣
Lieu d'exécution: Isère 🏙️
Site principal ou lieu d'exécution: CEA Grenoble — Conditions d'accès réglementées.
Description du marché:
“Le CEA Leti souhaite faire l’acquisition d’un équipement de mesure d’épaisseurs pour plaques silicium de diamètre 300 mm capable en option de traiter des...”    Afficher plus
Critères d'attribution
Le prix n'est pas le seul critère d'attribution et tous les critères ne sont énoncés que dans les documents de passation de marchés
Durée du contrat, de l'accord-cadre ou du système d'acquisition dynamique
Le délai ci-dessous est exprimé en nombre de mois.
Description
Durée de l'accord: 12
Informations sur les variantes
Les variantes sont acceptées
Description
Informations complémentaires:
“Cet avis fait suite à un premier avis en date du 6.3.2020 référencé 2020-032791 dont la publication a été refusée.”

Informations juridiques, économiques, financières et techniques
Conditions de participation
Liste et brève description des conditions:
“Le candidat fournira à l’appui de sa candidature: — le formulaire DC1 (lettre de candidature et habilitation du mandataire par ses cotraitants) ou...”    Afficher plus
Situation économique et financière
Critères de sélection énoncés dans les documents de passation de marchés

Procédure
Type de procédure
Procédure ouverte
Informations administratives
Délai de réception des offres ou des demandes de participation: 2020-04-08 15:00 📅
Langues dans lesquelles les offres ou les demandes de participation peuvent être présentées: français 🗣️
Le délai ci-dessous est exprimé en nombre de mois.
Délai minimum pendant lequel le soumissionnaire doit maintenir l'offre: 4
Conditions d'ouverture des offres: 2020-04-08 15:00 📅
Conditions d'ouverture des offres (lieu): Grenoble.

Informations complémentaires
Informations complémentaires

“Modalités d’obtention du dossier de consultation: pour obtenir le dossier de consultation des entreprises, le candidat devra le télécharger via la...”    Afficher plus
Organe de révision
Nom: Tribunal administratif de Grenoble
Adresse postale: 2 place Verdun
Commune postale: Grenoble
Code postal: 38000
Pays: France 🇫🇷
Téléphone: +33 476429000 📞
Courrier électronique: greffe.ta-grenoble@juradm.fr 📧
Fax: +33 476422269 📠
URL: http://grenoble.tribunal-administratif.fr/ 🌏
Procédure d'examen
Informations précises sur le(s) délai(s) des procédures d'examen:
“Le référé précontractuel peut être introduit depuis le début de la procédure de passation jusqu’à la signature du marché. Le référé contractuel peut être...”    Afficher plus
Service auprès duquel des informations sur la procédure de recours peuvent être obtenues
Nom: Tribunal administratif de Grenoble
Adresse postale: 2 place de Verdun
Commune postale: Grenoble
Code postal: 38000
Pays: France 🇫🇷
Téléphone: +33 476429000 📞
Courrier électronique: greffe.ta-grenoble@juradm.fr 📧
Fax: +33 476422269 📠
URL: http://grenoble.tribunal-administratif.fr/ 🌏
Source: OJS 2020/S 053-125639 (2020-03-12)
Informations complémentaires (2020-03-19)
Pouvoir adjudicateur
Nom et adresse
Nom: CEA Grenoble

Objet
Champ d'application du marché
Titre: Ellipsomètre/réflectomètre spectroscopique automatique B20-02001-CG
Brève description:
“Le CEA LETI souhaite faire l’acquisition d’un équipement de mesure d’épaisseurs pour plaques silicium de diamètre 300 mm capable en option de traiter des...”    Afficher plus

Informations complémentaires
Référence de l'avis original
Numéro de l'avis au JO S: 2020/S 053-125639

Changements
Texte à corriger dans l'avis original
Numéro de section: IV.2.2)
Emplacement du texte à modifier: Date limite de réception des offres ou des demandes de participation
Ancienne valeur
Date: 2020-04-08 📅
L'heure: 15:00
Nouvelle valeur
Date: 2020-04-22 📅
L'heure: 16:00
Texte à corriger dans l'avis original
Numéro de section: IV.2.7)
Emplacement du texte à modifier: Modalités d’ouverture des offres
Ancienne valeur
Date: 2020-04-08 📅
L'heure: 15:00
Nouvelle valeur
Date: 2020-04-22 📅
L'heure: 16:00
Source: OJS 2020/S 059-141327 (2020-03-19)
Avis d'attribution de marché (2020-10-15)
Objet
Champ d'application du marché
Titre: Ellipsomètre / Réflectomètre spectroscopique automatique B20-02001-CG
Brève description:
“Le CEA-LETI souhaite faire l’acquisition d’un équipement de mesure d’épaisseurs pour plaques silicium de diamètre 300 mm capable en option de traiter des...”    Afficher plus
Valeur totale du marché (hors TVA): EUR 1 💰
Description
Site principal ou lieu d'exécution: CEA/Grenoble — conditions d'accès réglementées.
Description du marché:
“Le CEA-LETI souhaite faire l’acquisition d’un équipement de mesure d’épaisseurs pour plaques silicium de diamètre 300 mm capable en option de traiter des...”    Afficher plus
Critères d'attribution
Critère de qualité (nom): Performances mesures ellipsométrie spectroscopique
Critère de qualité (pondération): 12
Critère de qualité (nom): Performances mesures reflectometrie spectroscopique
Critère de qualité (nom): Configuration équipement et automatisation
Critère de qualité (pondération): 11
Critère de qualité (nom): Mesures itératives
Critère de qualité (pondération): 5
Critère de qualité (nom): Accès aux données brutes y compris fonctions instrumentales détaillées
Critère de qualité (nom): Délais
Prix (pondération): 50

Procédure
Informations administratives
Publication précédente concernant cette procédure: 2020/S 053-125639

Attribution du marché

1️⃣
Numéro de contrat: B20-02001-CG
Titre: Ellipsomètre/Réflectomètre spectroscopique automatique
Date de conclusion du contrat: 2020-10-15 📅
Informations sur les appels d'offres
Nombre d'offres reçues: 2
Nombre d'offres reçues de PME: 0
Nombre d'offres reçues de soumissionnaires d'autres États membres de l'UE: 0
Nombre d'offres reçues de soumissionnaires d'États non membres de l'UE: 2
Nombre d'offres reçues par voie électronique: 2
Nom et adresse du contractant
Nom: Onto Innovation INC DBA Nanometrics INC
Commune postale: Milpitas
Pays: États-Unis 🇺🇸
Région: us 🏙️
Le contractant est une PME
Information sur la valeur du contrat/lot (hors TVA)
Valeur totale estimée du contrat/lot: EUR 1 💰
Valeur totale du contrat/lot: EUR 1 💰

Informations complémentaires
Informations complémentaires

“Modalités d’obtention du dossier de consultation: — pour obtenir le dossier de consultation des entreprises, le candidat devra le télécharger via la...”    Afficher plus
Procédure d'examen
Informations précises sur le(s) délai(s) des procédures d'examen:
“— Le référé précontractuel peut être introduit depuis le début de la procédure de passation jusqu’à la signature du marché, — Le référé contractuel peut...”    Afficher plus
Source: OJS 2020/S 204-495863 (2020-10-15)