Le CEA Leti souhaite faire l’acquisition d’un équipement de mesure d’épaisseurs pour plaques silicium de diamètre 300 mm capable en option de traiter des plaques de 200 mm de diamètre.
Cet équipement devra permettre des mesures spectroscopique en réflectivité et en ellipsométrie, afin de déterminer les propriétés optique ainsi que les épaisseurs de couches minces variées (oxydes et nitrures de silicium, matériaux high-k, SiGe, SOI, etc.) et d’empilements de couches. Il devra pouvoir mesurer des plaques comportant ou non des motifs.
L’équipement sera installé dans la salle blanche micro-électronique du CEA-Leti et sera utilisé 24 h/24.
Date limite
Le délai de réception des offres était de 2020-04-08.
L'appel d'offres a été publié le 2020-03-12.
Fournisseurs
Les fournisseurs suivants sont mentionnés dans les décisions d'attribution ou dans d'autres documents relatifs aux marchés publics :
Objet Champ d'application du marché
Titre: Ellipsomètre/reflecto-mètre spectroscopique automatique
B20-02001-CG
Produits/services: Machines et appareils microélectroniques📦
Brève description:
“Le CEA Leti souhaite faire l’acquisition d’un équipement de mesure d’épaisseurs pour plaques silicium de diamètre 300 mm capable en option de traiter des...”
Brève description
Le CEA Leti souhaite faire l’acquisition d’un équipement de mesure d’épaisseurs pour plaques silicium de diamètre 300 mm capable en option de traiter des plaques de 200 mm de diamètre.
Cet équipement devra permettre des mesures spectroscopique en réflectivité et en ellipsométrie, afin de déterminer les propriétés optique ainsi que les épaisseurs de couches minces variées (oxydes et nitrures de silicium, matériaux high-k, SiGe, SOI, etc.) et d’empilements de couches. Il devra pouvoir mesurer des plaques comportant ou non des motifs.
L’équipement sera installé dans la salle blanche micro-électronique du CEA-Leti et sera utilisé 24 h/24.
1️⃣
Lieu d'exécution: Isère🏙️
Site principal ou lieu d'exécution: CEA Grenoble — Conditions d'accès réglementées.
Description du marché:
“Le CEA Leti souhaite faire l’acquisition d’un équipement de mesure d’épaisseurs pour plaques silicium de diamètre 300 mm capable en option de traiter des...”
Description du marché
Le CEA Leti souhaite faire l’acquisition d’un équipement de mesure d’épaisseurs pour plaques silicium de diamètre 300 mm capable en option de traiter des plaques de 200 mm de diamètre.
Cet équipement devra permettre des mesures spectroscopique en réflectivité et en ellipsométrie, afin de déterminer les propriétés optique ainsi que les épaisseurs de couches minces variées (oxydes et nitrures de silicium, matériaux high-k, SiGe, SOI, etc.) et d’empilements de couches. Il devra pouvoir mesurer des plaques comportant ou non des motifs.
L’équipement sera installé dans la salle blanche micro-électronique du CEA-Leti et sera utilisé 24 h/24.
Afficher plus Critères d'attribution
Le prix n'est pas le seul critère d'attribution et tous les critères ne sont énoncés que dans les documents de passation de marchés
Durée du contrat, de l'accord-cadre ou du système d'acquisition dynamique
Le délai ci-dessous est exprimé en nombre de mois.
Description
Durée de l'accord: 12
Informations sur les variantes
Les variantes sont acceptées ✅ Description
Informations complémentaires:
“Cet avis fait suite à un premier avis en date du 6.3.2020 référencé 2020-032791 dont la publication a été refusée.”
Informations juridiques, économiques, financières et techniques Conditions de participation
Liste et brève description des conditions:
“Le candidat fournira à l’appui de sa candidature:
— le formulaire DC1 (lettre de candidature et habilitation du mandataire par ses cotraitants) ou...”
Liste et brève description des conditions
Le candidat fournira à l’appui de sa candidature:
— le formulaire DC1 (lettre de candidature et habilitation du mandataire par ses cotraitants) ou équivalent;
— le formulaire DC2 (déclaration du candidat individuel ou du membre du groupement) ou équivalent.
Ces formulaires sont disponibles sur le site internet suivant:
http://www.economie.gouv.fr/daj/formulaires-declaration-du-candidat
— lorsqu’il appartient à un groupe, une attestation certifiant de son autonomie commerciale et de sa situation de concurrence vis à vis des autres entreprises du groupe.
Les opérateurs économiques ont l’obligation de déposer leurs candidatures et offres par voie électronique sur PLACE, sauf dans les cas prévus par l’article R. 2132-12 du CCP.
Le candidat peut présenter sa candidature sous la forme d’un Document unique de marché européen (DUME), en lieu et place des documents mentionnés à l’article R. 2143-3 du code de la commande publique, téléchargeable à l’adresse suivante: https://ec.europa.eu/tools/espd/filter?lang=fr
Afficher plus Situation économique et financière
Critères de sélection énoncés dans les documents de passation de marchés
Procédure Type de procédure
Procédure ouverte
Informations administratives
Délai de réception des offres ou des demandes de participation: 2020-04-08
15:00 📅
Langues dans lesquelles les offres ou les demandes de participation peuvent être présentées: français 🗣️
Le délai ci-dessous est exprimé en nombre de mois.
Délai minimum pendant lequel le soumissionnaire doit maintenir l'offre: 4
Conditions d'ouverture des offres: 2020-04-08
15:00 📅
Conditions d'ouverture des offres (lieu): Grenoble.
“Modalités d’obtention du dossier de consultation: pour obtenir le dossier de consultation des entreprises, le candidat devra le télécharger via la...”
Modalités d’obtention du dossier de consultation: pour obtenir le dossier de consultation des entreprises, le candidat devra le télécharger via la plate-forme de dématérialisation des procédures de passation des marchés du CEA accessible sur l’internet suivante: https://www.marches-publics.gouv.fr
Modalités de transmission des candidatures et des offres: les modalités de dépôt des candidatures et des offres sont précisées dans le règlement de consultation.
Afficher plus Organe de révision
Nom: Tribunal administratif de Grenoble
Adresse postale: 2 place Verdun
Commune postale: Grenoble
Code postal: 38000
Pays: France 🇫🇷
Téléphone: +33 476429000📞
Courrier électronique: greffe.ta-grenoble@juradm.fr📧
Fax: +33 476422269 📠
URL: http://grenoble.tribunal-administratif.fr/🌏 Procédure d'examen
Informations précises sur le(s) délai(s) des procédures d'examen:
“Le référé précontractuel peut être introduit depuis le début de la procédure de passation jusqu’à la signature du marché.
Le référé contractuel peut être...”
Informations précises sur le(s) délai(s) des procédures d'examen
Le référé précontractuel peut être introduit depuis le début de la procédure de passation jusqu’à la signature du marché.
Le référé contractuel peut être introduit dans les conditions des articles L. 551-13 et suivants du code de justice administrative.
Le recours en contestation de la validité du marché par un tiers peut être intenté dans un délai de deux mois à compter des mesures de publicité appropriées.
Afficher plus Service auprès duquel des informations sur la procédure de recours peuvent être obtenues
Nom: Tribunal administratif de Grenoble
Adresse postale: 2 place de Verdun
Commune postale: Grenoble
Code postal: 38000
Pays: France 🇫🇷
Téléphone: +33 476429000📞
Courrier électronique: greffe.ta-grenoble@juradm.fr📧
Fax: +33 476422269 📠
URL: http://grenoble.tribunal-administratif.fr/🌏
Source: OJS 2020/S 053-125639 (2020-03-12)
Informations complémentaires (2020-03-19) Pouvoir adjudicateur Nom et adresse
Nom: CEA Grenoble
Objet Champ d'application du marché
Titre: Ellipsomètre/réflectomètre spectroscopique automatique
B20-02001-CG
Brève description:
“Le CEA LETI souhaite faire l’acquisition d’un équipement de mesure d’épaisseurs pour plaques silicium de diamètre 300 mm capable en option de traiter des...”
Brève description
Le CEA LETI souhaite faire l’acquisition d’un équipement de mesure d’épaisseurs pour plaques silicium de diamètre 300 mm capable en option de traiter des plaques de 200 mm de diamètre.
Cet équipement devra permettre des mesures spectroscopique en réflectivité et en ellipsométrie, afin de déterminer les propriétés optique ainsi que les épaisseurs de couches minces variées (oxydes et nitrures de silicium, matériaux high-k, SIGE, SOI, etc.) et d’empilements de couches. Il devra pouvoir mesurer des plaques comportant ou non des motifs.
L’équipement sera installé dans la salle blanche micro-électronique du CEA-LETI et sera utilisé 24 h/24.
Informations complémentaires Référence de l'avis original
Numéro de l'avis au JO S: 2020/S 053-125639
Changements Texte à corriger dans l'avis original
Numéro de section: IV.2.2)
Emplacement du texte à modifier: Date limite de réception des offres ou des demandes de participation
Ancienne valeur
Date: 2020-04-08 📅
L'heure: 15:00
Nouvelle valeur
Date: 2020-04-22 📅
L'heure: 16:00
Texte à corriger dans l'avis original
Numéro de section: IV.2.7)
Emplacement du texte à modifier: Modalités d’ouverture des offres
Ancienne valeur
Date: 2020-04-08 📅
L'heure: 15:00
Nouvelle valeur
Date: 2020-04-22 📅
L'heure: 16:00
Source: OJS 2020/S 059-141327 (2020-03-19)
Avis d'attribution de marché (2020-10-15) Objet Champ d'application du marché
Titre: Ellipsomètre / Réflectomètre spectroscopique automatique
B20-02001-CG
Brève description:
“Le CEA-LETI souhaite faire l’acquisition d’un équipement de mesure d’épaisseurs pour plaques silicium de diamètre 300 mm capable en option de traiter des...”
Brève description
Le CEA-LETI souhaite faire l’acquisition d’un équipement de mesure d’épaisseurs pour plaques silicium de diamètre 300 mm capable en option de traiter des plaques de 200 mm de diamètre.
Cet équipement devra permettre des mesures spectroscopique en réflectivité et en ellipsométrie, afin de déterminer les propriétés optique ainsi que les épaisseurs de couches minces variées (oxydes et nitrures de silicium, matériaux high-k, SIGE, SOI, etc.) et d’empilements de couches. Il devra pouvoir mesurer des plaques comportant ou non des motifs.
L’équipement sera installé dans la salle blanche micro-électronique du CEA-LETI et sera utilisé 24h/24.
Afficher plus
Valeur totale du marché (hors TVA): EUR 1 💰
Description
Site principal ou lieu d'exécution: CEA/Grenoble — conditions d'accès réglementées.
Description du marché:
“Le CEA-LETI souhaite faire l’acquisition d’un équipement de mesure d’épaisseurs pour plaques silicium de diamètre 300 mm capable en option de traiter des...”
Description du marché
Le CEA-LETI souhaite faire l’acquisition d’un équipement de mesure d’épaisseurs pour plaques silicium de diamètre 300 mm capable en option de traiter des plaques de 200 mm de diamètre.
Cet équipement devra permettre des mesures spectroscopique en réflectivité et en ellipsométrie, afin de déterminer les propriétés optique ainsi que les épaisseurs de couches minces variées (oxydes et nitrures de silicium, matériaux high-k, SIGE, SOI, etc.) et d’empilements de couches. Il devra pouvoir mesurer des plaques comportant ou non des motifs.
L’équipement sera installé dans la salle blanche micro-électronique du CEA-LETI et sera utilisé 24h/24.
Afficher plus Critères d'attribution
Critère de qualité (nom): Performances mesures ellipsométrie spectroscopique
Critère de qualité (pondération): 12
Critère de qualité (nom): Performances mesures reflectometrie spectroscopique
Critère de qualité (nom): Configuration équipement et automatisation
Critère de qualité (pondération): 11
Critère de qualité (nom): Mesures itératives
Critère de qualité (pondération): 5
Critère de qualité (nom): Accès aux données brutes y compris fonctions instrumentales détaillées
Critère de qualité (nom): Délais
Prix (pondération): 50
Procédure Informations administratives
Publication précédente concernant cette procédure: 2020/S 053-125639
Attribution du marché
1️⃣
Numéro de contrat: B20-02001-CG
Titre: Ellipsomètre/Réflectomètre spectroscopique automatique
Date de conclusion du contrat: 2020-10-15 📅
Informations sur les appels d'offres
Nombre d'offres reçues: 2
Nombre d'offres reçues de PME: 0
Nombre d'offres reçues de soumissionnaires d'autres États membres de l'UE: 0
Nombre d'offres reçues de soumissionnaires d'États non membres de l'UE: 2
Nombre d'offres reçues par voie électronique: 2
Nom et adresse du contractant
Nom: Onto Innovation INC DBA Nanometrics INC
Commune postale: Milpitas
Pays: États-Unis 🇺🇸
Région: us 🏙️
Le contractant est une PME
Information sur la valeur du contrat/lot (hors TVA)
Valeur totale estimée du contrat/lot: EUR 1 💰
Valeur totale du contrat/lot: EUR 1 💰
“Modalités d’obtention du dossier de consultation:
— pour obtenir le dossier de consultation des entreprises, le candidat devra le télécharger via la...”
Modalités d’obtention du dossier de consultation:
— pour obtenir le dossier de consultation des entreprises, le candidat devra le télécharger via la plateforme de dématérialisation des procédures de passation des marchés du CEA accessible sur l’URL suivante: https://www.marches-publics.gouv.fr
Modalités de transmission des candidatures et des offres:
— les modalités de dépôt des candidatures et des offres sont précisées dans le règlement de consultation.
Afficher plus Procédure d'examen
Informations précises sur le(s) délai(s) des procédures d'examen:
“— Le référé précontractuel peut être introduit depuis le début de la procédure de passation jusqu’à la signature du marché,
— Le référé contractuel peut...”
Informations précises sur le(s) délai(s) des procédures d'examen
— Le référé précontractuel peut être introduit depuis le début de la procédure de passation jusqu’à la signature du marché,
— Le référé contractuel peut être introduit dans les conditions des articles L. 551-13 et suivants du code de justice administrative,
— Le recours en contestation de la validité du marché par un tiers peut être intenté dans un délai de deux mois à compter des mesures de publicité appropriées.
Afficher plus
Source: OJS 2020/S 204-495863 (2020-10-15)