Le CEA/Grenoble souhaite acquérir une chambre de dépôt par pulvérisation PVD multi-cibles à installer et connecter à une plate-forme de dépôt de type Endura 300.
Cette chambre de co-pulvérisation multi-cibles doit avoir les caractéristiques suivantes:
— au moins 5 cibles,
— chaque cible sera connectée avec un générateur RF ou DC pulsé,
— le système doit permettre la pulvérisation cathodique d'une seule cible ainsi que la pulvérisation simultanée de plusieurs cibles à la fois (jusqu'à 3 cibles simultanées sont requises),
— les procédés réactifs (gaz O2 et N2) doivent être possibles,
— une régulation indépendante du débit et de la pression (c'est-à-dire au moyen d'un robinet-vanne) est obligatoire,
— la chambre doit accepter des substrats de 300 mm d'épaisseur variant de 500 μm à 1,5 mm.
Cet équipement sera installé dans les salles blanches 300 mm du CEA/LETI et sera utilisé 7 jours/7.
Date limite
Le délai de réception des offres était de 2019-04-11.
L'appel d'offres a été publié le 2019-03-12.
Fournisseurs
Les fournisseurs suivants sont mentionnés dans les décisions d'attribution ou dans d'autres documents relatifs aux marchés publics :
Objet Champ d'application du marché
Titre:
“Fourniture d’une chambre de dépôt par pulvérisation PVD multi-cibles pour une plate-forme Endura 300 mm
AOO-190144-CMF”
Produits/services: Machines et appareils microélectroniques📦
Brève description:
“Le CEA/Grenoble souhaite acquérir une chambre de dépôt par pulvérisation PVD multi-cibles à installer et connecter à une plate-forme de dépôt de type Endura...”
Brève description
Le CEA/Grenoble souhaite acquérir une chambre de dépôt par pulvérisation PVD multi-cibles à installer et connecter à une plate-forme de dépôt de type Endura 300.
Cette chambre de co-pulvérisation multi-cibles doit avoir les caractéristiques suivantes:
— au moins 5 cibles,
— chaque cible sera connectée avec un générateur RF ou DC pulsé,
— le système doit permettre la pulvérisation cathodique d'une seule cible ainsi que la pulvérisation simultanée de plusieurs cibles à la fois (jusqu'à 3 cibles simultanées sont requises),
— les procédés réactifs (gaz O2 et N2) doivent être possibles,
— une régulation indépendante du débit et de la pression (c'est-à-dire au moyen d'un robinet-vanne) est obligatoire,
— la chambre doit accepter des substrats de 300 mm d'épaisseur variant de 500 μm à 1,5 mm.
Cet équipement sera installé dans les salles blanches 300 mm du CEA/LETI et sera utilisé 7 jours/7.
1️⃣
Lieu d'exécution: Isère🏙️
Site principal ou lieu d'exécution: CEA/Grenoble —conditions d'accès réglementées.
Description du marché:
“Le CEA/Grenoble souhaite acquérir une chambre de dépôt par pulvérisation PVD multi-cibles à installer et connecter à une plate-forme de dépôt de type Endura...”
Description du marché
Le CEA/Grenoble souhaite acquérir une chambre de dépôt par pulvérisation PVD multi-cibles à installer et connecter à une plate-forme de dépôt de type Endura 300.
Cette chambre de co-pulvérisation multi-cibles doit avoir les caractéristiques suivantes:
— au moins 5 cibles,
— chaque cible sera connectée avec un générateur RF ou DC pulsé,
— le système doit permettre la pulvérisation cathodique d'une seule cible ainsi que la pulvérisation simultanée de plusieurs cibles à la fois (jusqu'à 3 cibles simultanées sont requises),
— les procédés réactifs (gaz O2 et N2) doivent être possibles,
— une régulation indépendante du débit et de la pression (c'est-à-dire au moyen d'un robinet-vanne) est obligatoire,
— la chambre doit accepter des substrats de 300 mm d'épaisseur variant de 500 μm à 1,5 mm.
Cet équipement sera installé dans les salles blanches 300 mm du CEA/LETI et sera utilisé 7 jours/7.
Afficher plus Critères d'attribution
Le prix n'est pas le seul critère d'attribution et tous les critères ne sont énoncés que dans les documents de passation de marchés
Durée du contrat, de l'accord-cadre ou du système d'acquisition dynamique
Le délai ci-dessous est exprimé en nombre de mois.
Description
Durée de l'accord: 12
Informations sur les variantes
Les variantes sont acceptées ✅
Informations juridiques, économiques, financières et techniques Conditions de participation
Liste et brève description des conditions:
“Le candidat fournira à l’appui de sa candidature:
— le formulaire DC1 (lettre de candidature et habilitation du mandataire par ses cotraitants) ou...”
Liste et brève description des conditions
Le candidat fournira à l’appui de sa candidature:
— le formulaire DC1 (lettre de candidature et habilitation du mandataire par ses cotraitants) ou équivalent,
— le formulaire DC2 (déclaration du candidat individuel ou du membre du groupement) ou équivalent.
Ces formulaires sont disponibles sur le site Internet suivant:http://www.economie.gouv.fr/daj/formulaires-declaration-du-candidat
— la copie du ou des jugements prononcés s’il est en redressement judiciaire ou dans une procédure étrangère équivalente,
— lorsqu’il appartient à un groupe, une attestation certifiant de son autonomie commerciale et de sa situation de concurrence vis-à- vis des autres entreprises du groupe.
Les opérateurs économiques ont l’obligation de déposer leurs candidatures et offres par voie électronique sur PLACE, sauf dans les cas prévus par l’article 41-II du décret «marchés publics».
Le candidat peut présenter sa candidature sous la forme d’un Document unique de marché européen (DUME), en lieu et place des documents mentionnés à l’article 48 du décret nº 2016-360 du 25.3.2016 relatif aux marchés publics, téléchargeable à l’adresse suivante: https://ec.europa.eu/tools/espd/filter?lang=fr
Afficher plus Situation économique et financière
Critères de sélection énoncés dans les documents de passation de marchés
Capacité technique et professionnelle
Critères de sélection énoncés dans les documents de passation de marchés
Procédure Type de procédure
Procédure ouverte
Informations administratives
Délai de réception des offres ou des demandes de participation: 2019-04-11
16:00 📅
Langues dans lesquelles les offres ou les demandes de participation peuvent être présentées: anglais 🗣️
Langues dans lesquelles les offres ou les demandes de participation peuvent être présentées: français 🗣️
Le délai ci-dessous est exprimé en nombre de mois.
Délai minimum pendant lequel le soumissionnaire doit maintenir l'offre: 6
Conditions d'ouverture des offres: 2019-04-12
14:00 📅
“Les entreprises nouvellement créées sont autorisées à présenter leur candidature. Si elles ne sont pas en mesure de produire certains des documents demandés...”
Les entreprises nouvellement créées sont autorisées à présenter leur candidature. Si elles ne sont pas en mesure de produire certains des documents demandés dans le présent avis de marché, elles peuvent justifier de leurs capacités financières et professionnelles par d’autres moyens que ceux indiqués dans le présent avis et notamment par la présentation de titres ou de l’expérience professionnelle du ou de leurs responsables.
Le présent avis et/ou les documents de la consultation doivent être retirés sur https://www.marches-publics.gouv.fr
Pour obtenir le dossier de consultation des entreprises, les candidats devront le télécharger via la plate-forme de dématérialisation des procédures de passation des marchés du CEA accessible sur l’internet suivante: https://www.marches-publics.gouv.fr
Pour télécharcher le dossier, les candidats devront préciser la référence suivante:AOO-190144-CMF.
Modalités de transmission des candidatures et des offres:
Les modalités de dépôt des candidatures et des offres sont précisées dans le règlement de consultation.
Critère de validation des candidatures:
Après examen de la conformité administrative du dossier de candidature, le CEA procédera à l'analyse et à la validation des candidatures conformément aux critères de jugement des candidatures suivants:
— capacité professionnelle: aptitude technique, organisation en matière d’assurance qualité, références sur des fournitures similaires,
— capacité financière.
Afficher plus Organe de révision
Nom: Tribunal administratif de Grenoble
Adresse postale: 2 place de Verdun
Commune postale: Grenoble
Code postal: 38000
Pays: France 🇫🇷
Téléphone: +33 476429000📞
Courrier électronique: ta-grenoble@juradm.fr📧
Fax: +33 476422269 📠
URL: http://grenoble.tribunal-administratif.fr/🌏 Service auprès duquel des informations sur la procédure de recours peuvent être obtenues
Nom: Tribunal administratif de Grenoble
Adresse postale: 2 place de Verdun
Commune postale: Grenoble
Code postal: 38000
Pays: France 🇫🇷
Téléphone: +33 476429000📞
Courrier électronique: ta-grenoble@juradm.fr📧
Fax: +33 476422269 📠
URL: http://grenoble.tribunal-administratif.fr/🌏
Source: OJS 2019/S 052-119065 (2019-03-12)
Avis d'attribution de marché (2019-04-15) Objet Champ d'application du marché
Brève description:
“Le CEA/Grenoble souhaite acquérir une chambre de dépôt par pulvérisation PVD multi-cibles à installer et connecter à une plate-forme de dépôt de type Endura...”
Brève description
Le CEA/Grenoble souhaite acquérir une chambre de dépôt par pulvérisation PVD multi-cibles à installer et connecter à une plate-forme de dépôt de type Endura 300.
Cette chambre de co-pulvérisation multi-cibles doit avoir les caractéristiques suivantes:
— au moins 5 cibles,
— chaque cible sera connectée avec un générateur RF ou DC pulsé,
— le système doit permettre la pulvérisation cathodique d'une seule cible ainsi que la pulvérisation simultanée de plusieurs cibles à la fois (jusqu'à 3 cibles simultanées sont requises),
— les procédés réactifs (gaz O2 et N2) doivent être possibles,
— une régulation indépendante du débit et de la pression (c'est-à-dire au moyen d'un robinet-vanne) est obligatoire,
— la chambre doit accepter des substrats de 300 mm d'épaisseur variant de 500 μm à 1,5 mm.
Cet équipement sera installé dans les salles blanche 300 mm du CEA/LETI et sera utilisé 7 jours/7.
Afficher plus Description
Site principal ou lieu d'exécution: CEA/Grenoble.
Conditions d'accès réglementées.
Description du marché:
“Le CEA/Grenoble souhaite acquérir une chambre de dépôt par pulvérisation PVD multi-cibles à installer et connecter à une plate-forme de dépôt de type Endura...”
Description du marché
Le CEA/Grenoble souhaite acquérir une chambre de dépôt par pulvérisation PVD multi-cibles à installer et connecter à une plate-forme de dépôt de type Endura 300.
Cette chambre de co-pulvérisation multi-cibles doit avoir les caractéristiques suivantes:
— au moins 5 cibles,
— chaque cible sera connectée avec un générateur RF ou DC pulsé,
— le système doit permettre la pulvérisation cathodique d'une seule cible ainsi que la pulvérisation simultanée de plusieurs cibles à la fois (jusqu'à 3 cibles simultanées sont requises),
— les procédés réactifs (gaz O2 et N2) doivent être possibles,
— une régulation indépendante du débit et de la pression (c'est-à-dire au moyen d'un robinet-vanne) est obligatoire,
— la chambre doit accepter des substrats de 300 mm d'épaisseur variant de 500 μm à 1,5 mm.
Cet équipement sera installé dans les salles blanche 300 mm du CEA/LETI et sera utilisé 7 jours/7.
Afficher plus Critères d'attribution
Critère de qualité (nom): Qualité technique de l'offre
Critère de qualité (pondération): 45
Critère de qualité (nom): Délais
Critère de qualité (pondération): 5
Prix (pondération): 50
Procédure Informations administratives
Publication précédente concernant cette procédure: 2019/S 052-119065
Attribution du marché
1️⃣
Titre:
“Fourniture d’une chambre de dépôt par pulvérisation PVD multi-cibles pour une plate-forme Endura 300 mm” Informations sur les non-lauréats
Aucune offre ou demande de participation n'a été reçue ou toutes ont été rejetées
“Les entreprises nouvellement créées sont autorisées à présenter leur candidature. Si elles ne sont pas en mesure de produire certains des documents demandés...”
Les entreprises nouvellement créées sont autorisées à présenter leur candidature. Si elles ne sont pas en mesure de produire certains des documents demandés dans le présent avis de marché, elles peuvent justifier de leurs capacités financières et professionnelles par d’autres moyens que ceux indiqués dans le présent avis et notamment par la présentation de titres ou de l’expérience professionnelle du ou de leurs responsables.
Le présent avis et/ou les documents de la consultation doivent être retirés sur https://www.marches-publics.gouv.fr.
Pour obtenir le dossier de consultation des entreprises, les candidats devront le télécharger via la plateforme de dématérialisation des procédures de passation des marchés du CEA accessible sur l’URL suivante: https://www.marches-publics.gouv.fr
Pour télécharcher le dossier, les candidats devront préciser la référence suivante:AOO-190144-CMF.
Modalités de transmission des candidatures et des offres:
Les modalités de dépôt des candidatures et des offres sont précisées dans le règlement de consultation.
Critère de validation des candidatures:
Après examen de la conformité administrative du dossier de candidature, le CEA procédera à l'analyse et à la validation des candidatures conformément aux critères de jugement des candidatures suivants:
— capacité professionnelle: aptitude technique, organisation en matière d’assurance qualité, références sur des fournitures similaires,
— capacité financière.
Afficher plus
Source: OJS 2019/S 077-183000 (2019-04-15)
Avis d'attribution de marché (2019-10-09) Objet Champ d'application du marché
Titre:
“Fourniture d’une chambre de dépôt par pulvérisation PVD multi-cibles pour une plate-forme Endura 300 mm
PN-190244-CMF”
Valeur totale du marché (hors TVA): EUR 1 💰
Description
Informations complémentaires:
“— la procédure avec négociation PN-190244-CMF fait suite à l'appel d'offres ouvert référencé PN-190144-CMF déclaré infructueux,
— il a été indiqué 1.00 à la...”
Informations complémentaires
— la procédure avec négociation PN-190244-CMF fait suite à l'appel d'offres ouvert référencé PN-190144-CMF déclaré infructueux,
— il a été indiqué 1.00 à la rubrique «montant» uniquement parce que le champ est bloquant pour la publication de l'avis d'attribution et que le CEA ne peut pas indiquer le véritable prix de l'équipement sans violer le secret des affaires.
Attribution du marché
Numéro de contrat: 4000846071/PT730
Titre: Fourniture d’une chambre de dépôt par pulvérisation PVD multi cibles
Date de conclusion du contrat: 2019-07-23 📅
Informations sur les appels d'offres
Nombre d'offres reçues: 1
Nombre d'offres reçues de soumissionnaires d'autres États membres de l'UE: 1
Nombre d'offres reçues par voie électronique: 1
Nom et adresse du contractant
Nom: Applied materials south east Asia
Commune postale: Singapour
Pays: Singapour 🇸🇬
Région: 00 🏙️
Le contractant est une PME
Information sur la valeur du contrat/lot (hors TVA)
Valeur totale du contrat/lot: EUR 1 💰
Source: OJS 2019/S 198-480760 (2019-10-09)