Fourniture d’un équipement de dépôt de couche minces par couche atomique de type «ALD» (Atomic Layer Deposition)

CEA/Grenoble

Le CEA-LETI souhaite acquérir un équipement de dépôt pour ses activités de recherche et développement en optique et photonique sur les semiconducteurs II-VI et III-V. La mise au point de ces couches nécessite un équipement multi-matériaux (ZnS, Al2O3, SiOx, SiN). Ces films seront réalisés par des techniques de dépôt de type ALD (Atomic Layer Deposition).
Cet équipement doit être capable de traiter des substrats de silicium ou des substrats II-VI et III-V jusqu'à 200 mm de diamètre. Ce bâti doit permettre de réaliser un plasma de préparation de surface et de fonctionner en mode PEALD (Plasma Assisted Atomic Layer Deposition). Il doit être compatible avec une salle blanche de qualité micro-électronique.

Date limite
Le délai de réception des offres était de 2019-04-26. L'appel d'offres a été publié le 2019-03-27.

Fournisseurs
Les fournisseurs suivants sont mentionnés dans les décisions d'attribution ou dans d'autres documents relatifs aux marchés publics :
Qui ?

Qu'est-ce que c'est ?

Où ?

Historique des marchés publics
Date Document
2019-03-27 Avis de marché
2020-01-13 Avis d'attribution de marché
Avis de marché (2019-03-27)
Pouvoir adjudicateur
Nom et adresse
Nom: CEA/Grenoble
Adresse postale: 17 rue des Martyrs
Commune postale: Grenoble Cedex 9
Code postal: 38054
Pays: France 🇫🇷
Personne de contact: Mme Claire Moreau-Flachat
Téléphone: +33 438789943 📞
Courrier électronique: claire.moreau-flachat@cea.fr 📧
Fax: +33 438785060 📠
Région: Isère 🏙️
URL: www.cea.fr 🌏
Adresse du profil d'acheteur: https://www.marches-publics.gouv.fr 🌏
Communication
URL des documents: https://www.marches-publics.gouv.fr 🌏
URL de participation: https://www.marches-publics.gouv.fr 🌏

Objet
Champ d'application du marché
Titre:
“Fourniture d’un équipement de dépôt de couche minces par couche atomique de type «ALD» (Atomic Layer Deposition) AOO-190057-CMF”
Produits/services: Machines et appareils microélectroniques et microsystèmes 📦
Brève description:
“Le CEA-LETI souhaite acquérir un équipement de dépôt pour ses activités de recherche et développement en optique et photonique sur les semiconducteurs II-VI...”    Afficher plus

1️⃣
Lieu d'exécution: Isère 🏙️
Site principal ou lieu d'exécution: CEA/Grenoble. Conditions d'accès réglementées.
Description du marché:
“Le CEA-LETI souhaite acquérir un équipement de dépôt pour ses activités de recherche et développement en optique et photonique sur les semiconducteurs II-VI...”    Afficher plus
Critères d'attribution
Le prix n'est pas le seul critère d'attribution et tous les critères ne sont énoncés que dans les documents de passation de marchés
Durée du contrat, de l'accord-cadre ou du système d'acquisition dynamique
Le délai ci-dessous est exprimé en nombre de mois.
Description
Durée de l'accord: 12
Informations sur les variantes
Les variantes sont acceptées

Informations juridiques, économiques, financières et techniques
Conditions de participation
Liste et brève description des conditions:
“Le candidat fournira à l’appui de sa candidature: — le formulaire DC1 (Lettre de candidature et habilitation du mandataire par ses cotraitants) ou...”    Afficher plus
Situation économique et financière
Critères de sélection énoncés dans les documents de passation de marchés
Capacité technique et professionnelle
Critères de sélection énoncés dans les documents de passation de marchés

Procédure
Type de procédure
Procédure ouverte
Informations administratives
Délai de réception des offres ou des demandes de participation: 2019-04-26 16:00 📅
Langues dans lesquelles les offres ou les demandes de participation peuvent être présentées: anglais 🗣️
Langues dans lesquelles les offres ou les demandes de participation peuvent être présentées: français 🗣️
Le délai ci-dessous est exprimé en nombre de mois.
Délai minimum pendant lequel le soumissionnaire doit maintenir l'offre: 4
Conditions d'ouverture des offres: 2019-04-29 14:00 📅

Informations complémentaires
Informations complémentaires

“Les entreprises nouvellement créées sont autorisées à présenter leur candidature. Si elles ne sont pas en mesure de produire certains des documents demandés...”    Afficher plus
Organe de révision
Nom: Tribunal administratif de Grenoble
Adresse postale: 2 place de Verdun
Commune postale: Grenoble
Code postal: 38000
Pays: France 🇫🇷
Téléphone: +33 476429000 📞
Courrier électronique: ta-grenoble@juradm.fr 📧
Fax: +33 476422269 📠
URL: http://grenoble.tribunal-administratif.fr/ 🌏
Service auprès duquel des informations sur la procédure de recours peuvent être obtenues
Nom: Tribunal administratif de Grenoble
Adresse postale: 2 place de Verdun
Commune postale: Grenoble
Code postal: 38000
Pays: France 🇫🇷
Téléphone: +33 476429000 📞
Courrier électronique: ta-grenoble@juradm.fr 📧
Fax: +33 476422269 📠
URL: http://grenoble.tribunal-administratif.fr/ 🌏
Source: OJS 2019/S 064-148632 (2019-03-27)
Avis d'attribution de marché (2020-01-13)
Pouvoir adjudicateur
Nom et adresse
Nom: CEA Grenoble

Objet
Champ d'application du marché
Brève description:
“Le CEA-LETI souhaite acquérir un équipement de dépôt pour ses activités de recherche et développement en optique et photonique sur les semi-conducteurs...”    Afficher plus
Valeur totale du marché (hors TVA): EUR 1 💰
Description
Site principal ou lieu d'exécution: CEA Grenoble. Conditions d'accès réglementées.
Description du marché:
“Le CEA-LETI souhaite acquérir un équipement de dépôt pour ses activités de recherche et développement en optique et photonique sur les semi-conducteurs...”    Afficher plus
Critères d'attribution
Critère de qualité (nom): Qualité technique de l'offre
Critère de qualité (pondération): 45
Critère de qualité (nom): Délais
Critère de qualité (pondération): 5
Prix (pondération): 50
Description
Informations complémentaires:
“Il a été indiqué 1,00 à la rubrique «montant» uniquement parce que le champ est bloquant pour la publication de l'avis d'attribution et que le CEA ne peut...”    Afficher plus

Procédure
Informations administratives
Publication précédente concernant cette procédure: 2019/S 064-148632

Attribution du marché

1️⃣
Numéro de contrat: 4000850167 / P7T38
Titre:
“Fourniture d’un équipement de dépôt de couche minces par couche atomique de type «ALD» (Atomic Layer Deposition)”
Date de conclusion du contrat: 2019-08-22 📅
Informations sur les appels d'offres
Nombre d'offres reçues: 2
Nombre d'offres reçues de PME: 2
Nombre d'offres reçues de soumissionnaires d'autres États membres de l'UE: 1
Nombre d'offres reçues par voie électronique: 2
Nom et adresse du contractant
Nom: Microtest
Commune postale: Uchaux
Pays: France 🇫🇷
Région: Vaucluse 🏙️
Le contractant est une PME
Information sur la valeur du contrat/lot (hors TVA)
Valeur totale du contrat/lot: EUR 1 💰

Informations complémentaires
Informations complémentaires

“Modalités de consultation du marché: un exemplaire du marché est disponible auprès du CEA dont les coordonnées sont précisées à la section I) du présent...”    Afficher plus
Source: OJS 2020/S 009-016562 (2020-01-13)