Equipement de dépôt ALD batch 200 mm

CEA/Grenoble

Le CEA-LETI souhaite acquérir un équipement de dépôt en couches minces dans le cadre de ses activités de recherche et développement en microélectronique et photonique. La mise au point de ces couches nécessite un équipement de type cluster possédant au moins une chambre de dépôt dédiée aux oxydes, et une autre dédiée aux sulfures et nitrures. Ces couches minces seront réalisées par des techniques de dépôt de type ALD (Atomic layer deposition).
Cet équipement doit être capable de traiter des substrats de silicium jusqu’à 200 mm de diamètre par lots de 25 plaques ou plus (équipement de type batch) et être compatible avec une salle blanche de qualité microélectronique.

Date limite
Le délai de réception des offres était de 2019-06-27. L'appel d'offres a été publié le 2019-05-21.

Qui ?

Qu'est-ce que c'est ?

Où ?

Historique des marchés publics
Date Document
2019-05-21 Avis de marché
2019-07-10 Avis d'attribution de marché
Avis de marché (2019-05-21)
Pouvoir adjudicateur
Nom et adresse
Nom: CEA/Grenoble
Adresse postale: 17 rue des Martyrs
Commune postale: Grenoble Cedex 9
Code postal: 38054
Pays: France 🇫🇷
Personne de contact: Madame Estelle Bastien
Téléphone: +33 438780525 📞
Courrier électronique: estelle.bastien@cea.fr 📧
Fax: +33 438785060 📠
Région: Isère 🏙️
URL: www.cea.fr 🌏
Adresse du profil d'acheteur: https://www.marches-publics.gouv.fr 🌏
Communication
URL des documents: https://www.marches-publics.gouv.fr 🌏
URL de participation: https://www.marches-publics.gouv.fr 🌏

Objet
Champ d'application du marché
Titre: Equipement de dépôt ALD batch 200 mm
Produits/services: Machines et appareils microélectroniques 📦
Brève description:
“Le CEA-LETI souhaite acquérir un équipement de dépôt en couches minces dans le cadre de ses activités de recherche et développement en microélectronique et...”    Afficher plus

1️⃣
Lieu d'exécution: Isère 🏙️
Description du marché:
“Le CEA-LETI souhaite acquérir un équipement de dépôt en couches minces dans le cadre de ses activités de recherche et développement en microélectronique et...”    Afficher plus
Critères d'attribution
Le prix n'est pas le seul critère d'attribution et tous les critères ne sont énoncés que dans les documents de passation de marchés
Durée de l'accord
Date de début: 2019-09-02 📅
Informations sur les variantes
Les variantes sont acceptées

Informations juridiques, économiques, financières et techniques
Conditions de participation
Liste et brève description des conditions:
“Le candidat fournit à l'appui de sa candidature: — le formulaire DC1 (lettre de candidature et habilitation du mandataire par ses cotraitants) ou une lettre...”    Afficher plus
Situation économique et financière
Critères de sélection énoncés dans les documents de passation de marchés
Capacité technique et professionnelle
Critères de sélection énoncés dans les documents de passation de marchés

Procédure
Type de procédure
Procédure ouverte
Informations administratives
Délai de réception des offres ou des demandes de participation: 2019-06-27 12:00 📅
Langues dans lesquelles les offres ou les demandes de participation peuvent être présentées: anglais 🗣️
Langues dans lesquelles les offres ou les demandes de participation peuvent être présentées: français 🗣️
Le délai ci-dessous est exprimé en nombre de mois.
Délai minimum pendant lequel le soumissionnaire doit maintenir l'offre: 6
Conditions d'ouverture des offres: 2019-06-27 12:00 📅

Informations complémentaires
Informations sur les flux de travail électroniques
La facturation électronique sera acceptée
Informations complémentaires

“Les entreprises nouvellement créées sont autorisées à présenter leur candidature. Si elles ne sont pas en mesure de produire certains des documents demandés...”    Afficher plus
Organe de révision
Nom: Tribunal administratif de Grenoble
Adresse postale: 2 place de Verdun
Commune postale: Grenoble
Code postal: 38000
Pays: France 🇫🇷
Téléphone: +33 476429000 📞
Courrier électronique: ta-grenoble@juradm.fr 📧
Fax: +33 476422269 📠
URL: http://grenoble.tribunal-administratif.fr/ 🌏
Procédure d'examen
Informations précises sur le(s) délai(s) des procédures d'examen:
“Le référé précontractuel peut être introduit depuis le début de la procédure de passation jusqu’à la signature du marché. Le référé contractuel peut être...”    Afficher plus
Service auprès duquel des informations sur la procédure de recours peuvent être obtenues
Nom: Greffe du tribunal administratif de Grenoble
Adresse postale: 2 place de Verdun
Commune postale: Grenoble
Code postal: 38000
Pays: France 🇫🇷
Téléphone: +33 476429000 📞
Courrier électronique: ta-grenoble@juradm.fr 📧
Fax: +33 476422269 📠
URL: http://grenoble.tribunal-administratif.fr/ 🌏
Source: OJS 2019/S 099-238973 (2019-05-21)
Avis d'attribution de marché (2019-07-10)
Objet
Champ d'application du marché
Titre: Équipement de dépôt ALD batch 200 mm
Brève description:
“Le CEA-LETI souhaite acquérir un équipement de dépôt en couches minces dans le cadre de ses activités de recherche et développement en microélectronique et...”    Afficher plus
Description
Description du marché:
“Le CEA-LETI souhaite acquérir un équipement de dépôt en couches minces dans le cadre de ses activités de recherche et développement en microélectronique et...”    Afficher plus
Critères d'attribution
Critère de qualité (nom): Qualité technique de l'offre
Critère de qualité (pondération): 45
Critère de qualité (nom): Délais
Critère de qualité (pondération): 5
Critère de coût (nom): Prix de l'équipement
Critère de coût (pondération): 50

Procédure
Informations administratives
Publication précédente concernant cette procédure: 2019/S 099-238973

Attribution du marché

1️⃣
Titre: Équipement de dépôt ALD batch 200 mm
Informations sur les non-lauréats
Aucune offre ou demande de participation n'a été reçue ou toutes ont été rejetées

Informations complémentaires
Informations complémentaires

“Les entreprises nouvellement créées sont autorisées à présenter leur candidature. Si elles ne sont pas en mesure de produire certains des documents demandés...”    Afficher plus
Procédure d'examen
Informations précises sur le(s) délai(s) des procédures d'examen:
“Le référé précontractuel peut être introduit depuis le début de la procédure de passation jusqu'à la signature du marché. Le référé contractuel peut être...”    Afficher plus
Service auprès duquel des informations sur la procédure de recours peuvent être obtenues
Nom: Greffe tribunal administratif de Grenoble
Source: OJS 2019/S 134-329269 (2019-07-10)