Le CEA/LETI souhaite faire l’acquisition d’une plateforme d’analyse de défectivité pour monitorer son cluster de lithographie en immersion à 193 nanomètres.
La plate-forme devra comprendre un module optique d’inspection des défauts et un module d’analyse/revue des défauts par microscopie électronique à balayage, les 2 modules devant communiquer directement.
La plate-forme devra être entièrement automatique et pouvoir traiter des plaques de 300 mm de diamètre pour le module d’inspection et des plaques de 200 et 300 mm pour le module de revue.
Il devra être compatible avec une salle blanche de qualité micro-électronique. Il sera installé sur la plateforme silicium du CEA/LETI où il sera utilisé 7 jours 7 et 24 heures sur 24.
Date limite
Le délai de réception des offres était de 2019-01-28.
L'appel d'offres a été publié le 2018-12-13.
Objet Champ d'application du marché
Titre: Fourniture d’une plate-forme d’analyse de défectivité
AOO-180726-CMF
Produits/services: Machines et appareils microélectroniques📦
Brève description:
“Le CEA/LETI souhaite faire l’acquisition d’une plateforme d’analyse de défectivité pour monitorer son cluster de lithographie en immersion à 193...”
Brève description
Le CEA/LETI souhaite faire l’acquisition d’une plateforme d’analyse de défectivité pour monitorer son cluster de lithographie en immersion à 193 nanomètres.
La plate-forme devra comprendre un module optique d’inspection des défauts et un module d’analyse/revue des défauts par microscopie électronique à balayage, les 2 modules devant communiquer directement.
La plate-forme devra être entièrement automatique et pouvoir traiter des plaques de 300 mm de diamètre pour le module d’inspection et des plaques de 200 et 300 mm pour le module de revue.
Il devra être compatible avec une salle blanche de qualité micro-électronique. Il sera installé sur la plateforme silicium du CEA/LETI où il sera utilisé 7 jours 7 et 24 heures sur 24.
1️⃣
Lieu d'exécution: Isère🏙️
Site principal ou lieu d'exécution: CEA/Grenoble
Conditions d'accès réglementées.
Description du marché:
“Fourniture d'un (1) équipement, incluant une prestation de support applicatif pour une durée de trois ans.” Critères d'attribution
Le prix n'est pas le seul critère d'attribution et tous les critères ne sont énoncés que dans les documents de passation de marchés
Durée du contrat, de l'accord-cadre ou du système d'acquisition dynamique
Le délai ci-dessous est exprimé en nombre de mois.
Description
Durée de l'accord: 36
Informations sur les variantes
Les variantes sont acceptées ✅
Informations juridiques, économiques, financières et techniques Conditions de participation
Liste et brève description des conditions:
“Le candidat fournira à l’appui de sa candidature:
— le formulaire DC1 (Lettre de candidature et habilitation du mandataire par ses cotraitants) ou...”
Liste et brève description des conditions
Le candidat fournira à l’appui de sa candidature:
— le formulaire DC1 (Lettre de candidature et habilitation du mandataire par ses cotraitants) ou équivalent,
— le formulaire DC2 (Déclaration du candidat individuel ou du membre du groupement) ou équivalent.
Ces formulaires sont disponibles sur le site Internet suivant:
http://www.economie.gouv.fr/daj/formulaires-declaration-du-candidat
— la copie du ou des jugements prononcés s’il est en redressement judiciaire ou dans une procédure étrangère équivalente,
— lorsqu'il appartient à un groupe, une attestation certifiant de son autonomie commerciale et de sa situation de concurrence vis à vis des autres entreprises du groupe.
Les opérateurs économiques ont l’obligation de déposer leurs candidatures et offres par voie électronique sur PLACE, sauf dans les cas prévus par l’article 41-II du décret «marchés publics».
Le candidat peut présenter sa candidature sous la forme d’un Document unique de marché européen (DUME), en lieu et place des documents mentionnés à l’article 48 du décret n 2016-360 du 25.3.2016 relatif aux marchés publics, téléchargeable à l’adresse suivante: https://ec.europa.eu/tools/espd/filter?lang=fr
Afficher plus Situation économique et financière
Critères de sélection énoncés dans les documents de passation de marchés
Capacité technique et professionnelle
Critères de sélection énoncés dans les documents de passation de marchés
Procédure Type de procédure
Procédure ouverte
Informations administratives
Délai de réception des offres ou des demandes de participation: 2019-01-28
16:00 📅
Langues dans lesquelles les offres ou les demandes de participation peuvent être présentées: anglais 🗣️
Langues dans lesquelles les offres ou les demandes de participation peuvent être présentées: français 🗣️
Le délai ci-dessous est exprimé en nombre de mois.
Délai minimum pendant lequel le soumissionnaire doit maintenir l'offre: 6
Conditions d'ouverture des offres: 2019-01-29
10:00 📅
“Les entreprises nouvellement créées sont autorisées à présenter leur candidature. Si elles ne sont pas en mesure de produire certains des documents demandés...”
Les entreprises nouvellement créées sont autorisées à présenter leur candidature. Si elles ne sont pas en mesure de produire certains des documents demandés dans le présent avis de marché, elles peuvent justifier de leurs capacités financières et professionnelles par d’autres moyens que ceux indiqués dans le présent avis et notamment par la présentation de titres ou de l’expérience professionnelle du ou de leurs responsables.
Le présent avis et/ou les documents de la consultation peuvent être retirés sur https://www.marches-publics.gouv.fr
Modalités d’obtention du dossier de consultation:
Pour obtenir le dossier de consultation des entreprises, le candidat devra le télécharger via la plate-forme de dématérialisation des procédures de passation des marchés du CEA accessible sur l’URL suivante: https://www.marches-publics.gouv.fr
Les téléchargements de dossiers de consultation devront préciser la référence suivante:AOO-180726-CMF
Seule la transmission du cahier des charges est conditionnée à la remise préalable de l'accord de confidentialité paraphé et signé par le soumissionnaire. Cet accord de confidentialité est annexé au règlement de consultation inclus dans le dossier de consultation.
Modalités de transmission des candidatures et des offres:
Les modalités de dépôt des candidatures et des offres sont précisées dans le règlement de consultation.
Après examen de la conformité administrative du dossier de candidature, le CEA procédera à l'analyse et à la validation des candidatures conformément aux critères de jugement des candidatures suivants:
— capacité professionnelle: aptitude technique, organisation en matière d’assurance qualité, références sur des des fournitures similaires,
— capacité financière.
Afficher plus Organe de révision
Nom: Tribunal administratif de Grenoble
Adresse postale: 2 place de Verdun
Commune postale: Grenoble
Code postal: 38000
Pays: France 🇫🇷
Téléphone: +33 476429000📞
Courrier électronique: ta-grenoble@juradm.fr📧
Fax: +33 476422269 📠
URL: http://grenoble.tribunal-administratif.fr/🌏 Service auprès duquel des informations sur la procédure de recours peuvent être obtenues
Nom: Tribunal administratif de Grenoble
Adresse postale: 2 place de Verdun
Commune postale: Grenoble
Code postal: 38000
Pays: France 🇫🇷
Téléphone: +33 476429000📞
Courrier électronique: ta-grenoble@juradm.fr📧
Fax: +33 476422269 📠
URL: http://grenoble.tribunal-administratif.fr/🌏
Source: OJS 2018/S 243-554559 (2018-12-13)
Avis d'attribution de marché (2019-02-11) Objet Champ d'application du marché
Brève description:
“Le CEA/LETI souhaite faire l’acquisition d’une plate-forme d’analyse de défectivité pour monitorer son cluster de lithographie en immersion à 193...”
Brève description
Le CEA/LETI souhaite faire l’acquisition d’une plate-forme d’analyse de défectivité pour monitorer son cluster de lithographie en immersion à 193 nanomètres.
La plate-forme devra comprendre un module optique d’inspection des défauts et un module d’analyse/revue des défauts par microscopie électronique à balayage, les 2 modules devant communiquer directement.
La plate-forme devra être entièrement automatique et pouvoir traiter des plaques de 300 mm de diamètre pour le module d’inspection et des plaques de 200 et 300 mm pour le module de revue.
Il devra être compatible avec une salle blanche de qualité micro-électronique. Il sera installé sur la plate-forme silicium du CEA/LETI où il sera utilisé 7 jours sur 7 et 24 heures sur 24.
Afficher plus Description
Site principal ou lieu d'exécution: CEA/Grenoble.
Conditions d'accès réglementées.
Description du marché:
“Fourniture d'un équipement, incluant une prestation de support applicatif pour une durée de 3 ans.” Critères d'attribution
Critère de qualité (nom): Qualité technique de l'offre
Critère de qualité (pondération): 45
Critère de qualité (nom): Délais
Critère de qualité (pondération): 5
Prix (pondération): 50
Procédure Informations administratives
Publication précédente concernant cette procédure: 2018/S 243-554559
Attribution du marché
1️⃣
Titre: Fourniture d’une plate-forme d’analyse de défectivité
Informations sur les non-lauréats
Aucune offre ou demande de participation n'a été reçue ou toutes ont été rejetées
Source: OJS 2019/S 033-073961 (2019-02-11)