Fourniture d'un système d'abattement
Le CEA/LETI souhaite faire l’acquisition d’un système de traitement des effluents gazeux et liquides pour un équipement mono-réacteur de dépôt RP et atmosphérique pour l’épitaxie de matériaux de type Si, SiGe, 300 mm.
Ce système doit être:
— compatible avec les contraintes du site dans lequel il sera implanté (sous-sol),
— communicant avec l’équipement principal qui se trouvera en salle blanche.
En outre, des systèmes de pompage seront nécessaires à son bon fonctionnement.
Ceux-ci devront avoir les mêmes contraintes que le système d’abattement.
Ce système sera installé dans les locaux techniques connexes aux salles blanches microélectroniques du CEA/LETI où il sera utilisé 7 jours sur 7 et 24 heures sur 24.
Date limite
Le délai de réception des offres était de 2018-03-07.
L'appel d'offres a été publié le 2018-01-31.
Fournisseurs
Les fournisseurs suivants sont mentionnés dans les décisions d'attribution ou dans d'autres documents relatifs aux marchés publics :
Qui ?
Qu'est-ce que c'est ?
Où ?
Historique des marchés publics
| Date |
Document |
| 2018-01-31
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Avis de marché
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| 2018-04-11
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Avis d'attribution de marché
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