Fourniture d’un réacteur de dépôt de films de tantale et nitrure de tantale (Ta-TaN) par pulvérisation PVD pour une plate-forme Endura 300 mm

CEA/Grenoble

Le CEA-LETI recherche un réacteur de dépôt de films de tantale et nitrure de tantale (Ta-TaN) par pulvérisation PVD, à installer sur une de ses plates-formes Applied Endura 300 mm. Le réacteur devra être connecté à un des ports libres du système Applied Endura et traiter des plaques de 300 mm de diamètre. L’équipement devra être entièrement automatique.
Il sera installé dans les salles blanches microélectroniques du CEA-LETI où il sera utilisé 7 j sur 7 et 24 h sur 24.

Date limite
Le délai de réception des offres était de 2018-04-20. L'appel d'offres a été publié le 2018-03-21.

Fournisseurs
Les fournisseurs suivants sont mentionnés dans les décisions d'attribution ou dans d'autres documents relatifs aux marchés publics :
Qui ?

Qu'est-ce que c'est ?

Où ?

Historique des marchés publics
Date Document
2018-03-21 Avis de marché
2019-01-22 Avis d'attribution de marché
Avis de marché (2018-03-21)
Objet
Champ d'application du marché
Titre: Machines et appareils microélectroniques
Numéro de référence: AOO-180178-CMF
Brève description:
“Le CEA-LETI recherche un réacteur de dépôt de films de tantale et nitrure de tantale (Ta-TaN) par pulvérisation PVD, à installer sur une de ses...”    Afficher plus
Métadonnées de l'avis
Langue originale: français 🗣️
Type de document: Avis de marché
Nature du marché: Fournitures
Réglementation: Union européenne, avec participation des pays de l'AMP
Vocabulaire commun pour les marchés publics (CPV)
Code: Machines et appareils microélectroniques 📦
Lieu d'exécution
Région NUTS: Isère 🏙️

Procédure
Type de procédure: Procédure ouverte
Type de soumission: Soumission pour tous les lots
Critères d'attribution
Offre la plus économique

Pouvoir adjudicateur
Identité
Pays: France 🇫🇷
Type de pouvoir adjudicateur: Organisme de droit public
Nom du pouvoir adjudicateur: CEA/Grenoble
Adresse postale: 17 rue des Martyrs
Code postal: 38054
Commune postale: Grenoble Cedex 9
Contact
Adresse Internet: http://www.cea.fr 🌏
Courrier électronique: claire.moreau-flachat@cea.fr 📧
Téléphone: +33 438789943 📞
Fax: +33 438785060 📠
URL des documents: https://www.marches-publics.gouv.fr 🌏
URL pour la participation: https://www.marches-publics.gouv.fr 🌏

Référence
Dates
Date d'envoi: 2018-03-21 📅
Date limite de soumission: 2018-04-20 📅
Date de publication: 2018-03-23 📅
Identifiants
Numéro d'avis: 2018/S 058-127816
Numéro JO-S: 58
Informations complémentaires

“Les entreprises nouvellement créées sont autorisées à présenter leur candidature. Si elles ne sont pas en mesure de produire certains des documents demandés...”    Afficher plus
Source: OJS 2018/S 058-127816 (2018-03-21)
Avis d'attribution de marché (2019-01-22)
Objet
Champ d'application du marché
Brève description:
“Le CEA-LETI recherche un réacteur de dépôt de films de Tantale et Nitrure de Tantale (Ta-TaN) par pulvérisation PVD, à installer sur une de ses plate-formes...”    Afficher plus
Valeur totale du marché: 1 EUR 💰
Métadonnées de l'avis
Type de document: Avis d'attribution de marché

Procédure
Type de soumission: Sans objet

Référence
Dates
Date d'envoi: 2019-01-22 📅
Date de publication: 2019-01-25 📅
Identifiants
Numéro d'avis: 2019/S 018-037997
Se réfère à l'avis: 2018/S 058-127816
Numéro JO-S: 18
Informations complémentaires

“Il a été indiqué 1.00 à la rubrique «montant» uniquement parce que le champ est bloquant pour la publication de l'avis d'attribution et que le CEA ne peut...”    Afficher plus
Source: OJS 2019/S 018-037997 (2019-01-22)