Fourniture d’un équipement d’inspection optique de défauts sur plaques silicium de 300 mm de diamètre
Le CEA LETI recherche pour ses travaux en nanoélectronique avancé, un équipement d’inspection optique de défauts sur plaques silicium sans motifs de 300 mm de diamètre. L’équipement devra pouvoir détecter des défauts à la fois sur la face avant des plaques avec une sensibilité de détection de 27 nm et sur la face arrière des plaques avec une sensibilité de 40 nm. il devra également être capable de détecter des Slip line.
L’équipement sera entièrement automatique. Il sera installé dans les salles blanches du CEA LETI à Grenoble pour une utilisation 24 h/24.
Date limite
Le délai de réception des offres était de 2018-03-30.
L'appel d'offres a été publié le 2018-02-26.
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Historique des marchés publics
| Date |
Document |
| 2018-02-26
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Avis de marché
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| 2018-04-03
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Avis d'attribution de marché
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